Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Produkty

Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.


Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.


Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:


Excellent properties of TaC coating graphite


Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.


Kluczowe funkcje:

 ●Stabilność temperatury

 ●Bardzo wysoka czystość

 ●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odporność na zapasy termiczne

 ●Silna przyczepność do grafitu

 ●Konformalne pokrycie powłoką

 ● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)


Aplikacje:

 ●Nośnik opłatków

 ● Indukcyjny wspornik grzejny

 ● Rezystancyjny element grzejny

 ●Dysk satelitarny

 ●Głowica prysznicowa

 ●Pierścień prowadzący

 ●Odbiornik LED Epi

 ●Dysza wtryskowa

 ●Pierścień maskujący

 ● Osłona termiczna


Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość 14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność 0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej 6,3 10-6/K
Twardość (HK) 2000 HK
Opór 1×10-5Om*cm
Stabilność termiczna <2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu -10~-20um
Grubość powłoki Typowa wartość ≥20um (35um±10um)


Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating


Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element Procent atomowy
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Przeciętny
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ich 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Pierścień pokryty TAC do wzrostu PVT SIC pojedynczego kryształu

Pierścień pokryty TAC do wzrostu PVT SIC pojedynczego kryształu

Jako jeden z wiodących dostawców produktów powlekania TAC w Chinach, Vetek Semiconductor jest w stanie zapewnić klientom dostosowane części wysokiej jakości powlekania TAC. Pierścień powlekany TAC do wzrostu PVT SIC pojedynczy kryształ jest jednym z najwybitniejszych i dojrzałych produktów Vetek Semiconductor. Odgrywa ważną rolę we wzroście PVT procesu kryształów SIC i może pomóc klientom w rozwoju wysokiej jakości kryształów SIC. Czekamy na Twoje zapytanie.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
CVD TAC powlekany trzypetalowy pierścień prowadzący

CVD TAC powlekany trzypetalowy pierścień prowadzący

Vetek Semiconductor doświadczył wielu lat rozwoju technologicznego i opanował wiodącą technologię procesową powłoki CVD TAC. Trzy-petalowy pierścień przewodnika powlekanego CVD TAC jest jednym z najbardziej dojrzałych produktów powlekania CVD TAC VETEK Semiconductor i jest ważnym elementem przygotowywania kryształów SIC metodą PVT. Za pomocą półprzewodnika Veteka uważam, że twoja produkcja kryształów SIC będzie gładsza i bardziej wydajna.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Pierścień powlekania z węglikiem tantalu

Pierścień powlekania z węglikiem tantalu

Pierścień powlekania z półprzewodnikiem Vetek Tantalum Carbid jest niezbędnym elementem w przemyśle półprzewodników, szczególnie w wytrawieniu płytek SIC. Jego połączenie podstawy grafitowej i powłoki TAC zapewnia doskonałą wydajność w środowiskach wysokiej temperatury i chemicznie. Dzięki jego zwiększonej stabilności termicznej, odporności na korozję i wytrzymałości mechanicznej pierścień pokryty węglika tantalu pomaga producentom półprzewodników osiągnąć precyzję, niezawodność i wysokiej jakości wyniki w procesach produkcyjnych.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Pierścień powłoki TAC

Pierścień powłoki TAC

Pierścień powłoki TAC jest komponentem o wysokiej wydajności zaprojektowanej do stosowania w procesach półprzewodników, pierścień powłoki półprzewodnikowej Vetek TAC ma wysoką stabilność termiczną, odporność na korozję chemiczną i doskonałą wytrzymałość mechaniczną i jest specjalnie wykorzystywany do trzymania i obsługi płytek SIC podczas procesu trawienia, gdzie precyzyjna kontrola i trwałość są niezbędne do osiągnięcia wysokiej jakości waflów. Z niecierpliwością czekamy na dalsze konsultacje.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
TAC Coating Crucible

TAC Coating Crucible

Jako profesjonalny dostawca i producent tygla TAC w Chinach, powłoka TAC Półprzewodnika Veteka TAC odgrywa niezastąpioną rolę w procesie pojedynczego kryształowego wzrostu półprzewodników o doskonałej przewodności cieplnej, wyjątkowej stabilności chemicznej i zwiększonej odporności na korozję. Witaj swoje dalsze zapytania.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Pierścień prowadzący pokryty węglikiem tantalu

Pierścień prowadzący pokryty węglikiem tantalu

Jako wiodący w Chinach dostawca i producent pierścieni prowadzących z powłoką TaC, pierścień prowadzący pokryty węglikiem tantalu VeTek Semiconductor jest ważnym elementem stosowanym do prowadzenia i optymalizacji przepływu gazów reaktywnych w metodzie PVT (Physical Vapor Transport). Promuje równomierne osadzanie się monokryształów SiC w strefie wzrostu poprzez regulację rozkładu i prędkości przepływu gazu. VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą pierścieni prowadzących z powłoką TaC w Chinach, a nawet na świecie. Z niecierpliwością czekamy na Twoje konsultacje.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
Zalecenia dotyczące wiadomości
Eksprawne zastosowanie technologii drukowania 3D w branży półprzewodników
Eksprawne zastosowanie technologii drukowania 3D w branży półprzewodnikówZobacz więcej >>
Od procesu produkcji elektrostatycznych kubków ssących po producentów produkcji masowej
Od procesu produkcji elektrostatycznych kubków ssących po producentów produkcji masowejZobacz więcej >>
Materiał epitaxii węgla krzemu
Materiał epitaxii węgla krzemuZobacz więcej >>
Zakasać! Dwóch głównych producentów ma zamiar rozpocząć masową produkcję 8-calowego węglika krzemu
Zakasać! Dwóch głównych producentów ma zamiar rozpocząć masową produkcję 8-calowego węglika krzemuZobacz więcej >>
Co to jest Carbide Tantalum (TAC)？
Co to jest Carbide Tantalum (TAC)？Zobacz więcej >>
Na czym polega proces epitaksji półprzewodnikowej?
Na czym polega proces epitaksji półprzewodnikowej?Zobacz więcej >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept