Porowaty grafit

Producenci substratu SIC często używają projektu tygla z porowatym cylindrem grafitowym do procesu gorącego pola. Ten projekt zwiększa obszar parowania i objętość ładowania. Opracowano nowy proces w celu rozwiązania wad kryształowych, stabilizacji transferu masy i poprawy jakości kryształów SIC. Uwzględnia metodę utrwalania tacki kryształowej bez nasion do rozszerzalności cieplnej i łagodzenia naprężeń. Jednak ograniczona podaż rynku grafitu tytka i porowaty grafit stanowi wyzwania dla jakości i wydajności SIC pojedynczych kryształów.

Kluczowe cechy porowatego grafitu Półprzewodnika VETEK:

1. Wysoka tolerancja środowiska temperatury - produkt może wytrzymać środowisko 2500 stopni Celsjusza, wykazując doskonałą odporność na ciepło.

2. STRICT Porowsity Control - Vetek Semiconductor utrzymuje ścisłą kontrolę porowatości, zapewniając spójną wydajność.

3. Ultra -wysoka czystość - Zastosowany porowaty materiał grafitowy osiąga wysoki poziom czystości poprzez rygorystyczne procesy oczyszczania.

4. Wykonawcza zdolność wiązania cząstek powierzchniowych - półprzewodnik Vetek ma doskonałą zdolność wiązania cząstek powierzchniowych i odporność na adhezję proszku.

5. GAS Transport, dyfuzja i jednolitość - porowata struktura grafitu ułatwia wydajny transport i dyfuzja gazu, co powoduje poprawę jednolitości gazów i cząstek.

6. Kontrola i stabilność jakości - półprzewodnik Vetek podkreśla wysoką czystość, niską zawartość zanieczyszczeń i stabilność chemiczną w celu zapewnienia jakości wzrostu kryształów.

7. Kontrola i jednolitość temperatury - przewodność cieplna porowatego grafitu umożliwia jednolity rozkład temperatury, zmniejszając naprężenie i defekty podczas wzrostu.

8. Wzruszona dyfuzja rozpuszczona i tempo wzrostu - porowata struktura promuje nawet rozkład substancji rozpuszczonej, zwiększając szybkość wzrostu i jednolitość kryształów.