TAC Coating Coking Talerz wspornika

Vetek Semiconductor to chińskie producent i dostawca, który produkuje głównie podatniki powlekania CVD TAC, pierścień wlotowy, wafel Chunck, uchwyt pokryty TAC, płyta cokołowa TAC Coating Cokping z wieloletnim doświadczeniem. Mam nadzieję, że zbudujesz z tobą relacje biznesowe.

Ceramika TAC ma temperaturę topnienia do 3880 ℃, wysoką twardość (twardość MOHS 9 ~ 10), duża przewodność cieplna (22 W · m^-1· K⁻¹), duża wytrzymałość na zginanie (340 ~ 400 MPa) i mały współczynnik rozszerzalności cieplnej (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹) i wykazują doskonałą stabilność termochemiczną i doskonałe właściwości fizyczne. Ma dobrą kompatybilność chemiczną i mechaniczną z materiałami kompozytowymi grafitowymi i C/C, więc powłoka TAC jest szeroko stosowana w ochronie cieplnej lotniczej, wzroście pojedynczego kryształu i reaktorach epitaksjalnych, takich jak Aixtron, reaktor LPE EPI w przemyśle półprzewodników. 

Graphit powlekany TAC ma lepszą odporność na korozję chemiczną niż gołe kamienne tusz lub grafit pokryty SIC, może być stabilnie stosowany w wysokiej temperaturze 2200 °, nie reaguje z wieloma metalowymi elementami, jest trzecią generacją półprzewodnika wzrostu pojedynczego kryształu, epitaxy i paszotłowatu sceny najlepiej wydajnej powłoki, może znacząco poprawić proces temperatury i zanieczyszczenia. Wafle. Jest szczególnie odpowiedni do uprawy pojedynczych kryształów GAN lub ALN w sprzęcie MOCVD i SIC pojedynczych kryształów w urządzeniach PVT, a jakość pojedynczego kryształu uprawianego jest oczywiście ulepszona.