Stały węglik krzemu

VeTek Semiconductor Stały węglik krzemu jest ważnym składnikiem ceramicznym w sprzęcie do trawienia plazmowego. Stały węglik krzemu (Węglik krzemu CVD) obejmują części sprzętu do trawieniapierścienie ostrości, głowica prysznicowa gazowa, taca, pierścienie krawędziowe itp. Ze względu na niską reaktywność i przewodność stałego węglika krzemu (węglik krzemu CVD) na gazy trawiące zawierające chlor i fluor, jest to idealny materiał na pierścienie ogniskujące i inne urządzenia do trawienia plazmowego komponenty.

Na przykład pierścień ogniskujący jest ważną częścią umieszczoną na zewnątrz płytki i mającą z nią bezpośredni kontakt, poprzez przyłożenie napięcia do pierścienia w celu skupienia plazmy przechodzącej przez pierścień, skupiając w ten sposób plazmę na płytce, aby poprawić jednorodność przetwarzanie. Tradycyjny pierścień ostrości wykonany jest z krzemu lubkwarc, przewodzący krzem jako powszechny materiał pierścienia ogniskującego, jest prawie zbliżony do przewodności płytek krzemowych, ale niedoborem jest słaba odporność na trawienie w plazmie zawierającej fluor, materiały części maszyn do trawienia często używane przez pewien okres czasu, wystąpią poważne zjawisko korozji, poważnie zmniejszając wydajność produkcji.

Sstary pierścień ostrości SiCZasada działania：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porównanie pierścienia ogniskującego na bazie Si i pierścienia ogniskującego CVD SiC:

Porównanie pierścienia ostrości na bazie Si i pierścienia ostrości CVD SiC
Przedmiot	I	CVD SiC
Gęstość (g/cm³)	2.33	3.21
Szczelina wzbroniona (eV)	1.12	2.3
Przewodność cieplna (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Moduł sprężystości (GPa)	150	440
Twardość (GPa)	11.4	24.5
Odporność na zużycie i korozję	Słaby	Doskonały

VeTek Semiconductor oferuje zaawansowane części z pełnego węglika krzemu (węglik krzemu CVD), takie jak pierścienie ostrości SiC do sprzętu półprzewodnikowego. Nasze pierścienie ogniskujące z węglika krzemu przewyższają tradycyjny krzem pod względem wytrzymałości mechanicznej, odporności chemicznej, przewodności cieplnej, trwałości w wysokich temperaturach i odporności na trawienie jonowe.

Kluczowe cechy naszych pierścieni ogniskujących SiC obejmują:

Wysoka gęstość w celu zmniejszenia szybkości trawienia.

Doskonała izolacja z dużą przerwą wzbronioną.

Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.

Doskonała odporność na uderzenia mechaniczne i elastyczność.

Wysoka twardość, odporność na zużycie i odporność na korozję.

Wyprodukowano przy użyciuchemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD)technik, nasze pierścienie ogniskujące SiC spełniają rosnące wymagania procesów trawienia w produkcji półprzewodników. Zostały zaprojektowane tak, aby wytrzymać wyższą moc i energię plazmy, szczególnie wplazma sprzężona pojemnościowo (CCP)systemy.

Pierścienie ostrości SiC firmy VeTek Semiconductor zapewniają wyjątkową wydajność i niezawodność w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Wybierz nasze komponenty SiC, aby uzyskać najwyższą jakość i wydajność.

View as

Surowiec o wysokiej czystości CVD SIC

Surowiec o wysokiej czystości CVD przygotowany przez CVD jest najlepszym materiałem źródłowym do wzrostu kryształu węgla krzemu przez fizyczny transport pary. Gęstość surowca o wysokiej czystości CVD SIC dostarczana przez półprzewodnik VETEK jest wyższy niż w przypadku małych cząstek utworzonych przez spontaniczne spalanie gazów zawierających SI i C, i nie wymaga dedykowanego pieca spiekania i ma prawie stałą szybkość odparowania. Może wyhodować wyjątkowo wysokiej jakości pojedyncze kryształy SIC. Czekamy na Twoje zapytanie.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Solid Sic Teperrier

Solidny nosiciel opłatek stałego SIC VETEK SIC jest zaprojektowany do środowisk odpornych na wysokiej temperatury i korozji w procesach epitaksjalnych półprzewodnikowych i jest odpowiedni dla wszystkich rodzajów procesów produkcyjnych wafel o wysokich wymaganiach czystości. VETEK Semiconductor jest wiodącym dostawcą opłat opłatek w Chinach i z niecierpliwością oczekuje, że zostanie swoim długoterminowym partnerem w branży półprzewodnikowej.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Solid Sic SIC w kształcie dysku

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem sprzętu półprzewodnikowego w Chinach oraz profesjonalnym producentem i dostawcą solidnego pod prysznicem w kształcie dysku. Nasza głowica prysznicowa kształtu dysku jest szeroko stosowana w produkcji osadzania cienkiego warstwy, takiej jak proces CVD w celu zapewnienia jednolitego rozkładu gazu reakcyjnego i jest jednym z podstawowych składników pieca CVD.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

SIC SEALING PART

Jako zaawansowany producent produktów i fabryka części uszczelniającej SIC w Chinach. Część uszczelniająca EETEK SEMICONDUCTO SIC to wysokowydajny komponent uszczelniający szeroko stosowany w przetwarzaniu półprzewodnikowym oraz w innych ekstremalnych procesach wysokiej temperatury i wysokiego ciśnienia. Witamy w dalszych konsultacjach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Głowa prysznicowa z węglików silikonowych

Głowica prysznicowa z węglików krzemowych ma doskonałą tolerancję w wysokiej temperaturze, stabilność chemiczną, przewodność cieplną i dobrą wydajność dystrybucji gazu, które mogą osiągnąć jednolity rozkład gazu i poprawić jakość filmu. Dlatego zwykle stosuje się go w procesach o wysokiej temperaturze, takich jak chemiczne osadzanie pary (CVD) lub fizyczne procesy osadzania pary (PVD). Witamy wobec nas dalszych konsultacji, Vetek Semiconductor.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień uszczelki z węglikiem silikonowym

Jako profesjonalny producent produktów i fabryki z pieczęciami z węglików krzemionowych w Chinach, półprzewodnikowy pierścień z węglikiem krzemowego Vetek jest szeroko stosowany w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników ze względu na doskonałą odporność na ciepło, odporność na korozję, wytrzymałość mechaniczną i przewodność cieplną. Jest on szczególnie odpowiedni do procesów obejmujących gazy o wysokiej temperaturze i reaktywne, takie jak CVD, PVD i trawienie w osoczu, i jest kluczowym wyborem materiału w procesie produkcji półprzewodników. Twoje dalsze zapytania są mile widziane.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Stały węglik krzemu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Stały węglik krzemu

Kluczowe cechy naszych pierścieni ogniskujących SiC obejmują:

Surowiec o wysokiej czystości CVD SIC

Solid Sic Teperrier

Solid Sic SIC w kształcie dysku

SIC SEALING PART

Głowa prysznicowa z węglików silikonowych

Pierścień uszczelki z węglikiem silikonowym

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres