Powłoka TAC Chuck

Vetek Semiconductor's Coating Chuck jest idealnym rozwiązaniem do osiągnięcia wyjątkowych wyników w procesie SIC EPI. Dzięki powładzie węgla tantalu, oporności w wysokiej temperaturze i bezwładności chemicznej nasz produkt upoważnia cię do wytwarzania wysokiej jakości kryształów z precyzją i niezawodnością.

Węglenie Tac Tantalum to materiał powszechnie używany do pokrycia powierzchni wewnętrznych części sprzętu epitaksjalnego. Ma następujące cechy:

● Doskonała opór w wysokiej temperaturze: Powłoka z węglikiem tantalu może wytrzymać temperatury do 2200 ° C, co czyni je idealnymi do zastosowań w środowiskach o wysokiej temperaturze, takich jak epitaksjalne komory reakcyjne.

● Wysoka twardość: Twardość węglików tantalusowych osiąga około 2000 hk, co jest znacznie trudniejsze niż powszechnie stosowane ze stali nierdzewnej lub stopu aluminium, który może skutecznie zapobiec zużyciu powierzchni.

● Silna stabilność chemiczna: Powłoka z węglikiem Tantalus działa dobrze w środowiskach chemicznie korozyjnych i może znacznie przedłużyć żywotność obsługi elementów sprzętu epitaksjalnego.

● Dobra przewodność elektryczna: Powierzchnia powłoki ma dobrą przewodność elektryczną, która sprzyja uwalnianiu elektrostatycznym i przewodnictwu cieplnym.

Właściwości te sprawiają, że powłoka z węglika Tac tantalu jest idealnym materiałem do produkcji krytycznych części, takich jak tuleje wewnętrzne, ściany komory reakcji i elementy grzewcze do sprzętu epitaksjalnego. Przy pokryciu tych komponentów TAC można poprawić ogólną wydajność i żywotność urządzenia epitaksjalnego.

W przypadku epitaksji z węglików krzemionowych część powlekania TAC może również odgrywać ważną rolę. Powłoka powierzchniowa jest gładki i gęsty, co sprzyja tworzeniu wysokiej jakości krzemowych filmów z węglika. Jednocześnie doskonała przewodność cieplna TAC może pomóc poprawić jednolitość rozkładu temperatury wewnątrz urządzenia, poprawiając w ten sposób dokładność kontroli temperatury procesu epitaksjalnego, a ostatecznie osiągając wyższą jakośćEpitaksyjny węglika krzemuWzrost warstwy.

VETEK SEMICONDUCTOR PRODUKTY SKLEPS: