Studia przypadków

Odkryj, w jaki sposób technologia lasera naprowadzanego wodą firmy VeTek zapewnia jednolite otwory przelotowe o średnicy Φ0,15 mm w podłożach SiC o grubości 2 mm bez stożka, przy minimalnym HAZ i wysokiej wydajności w zastosowaniach półprzewodnikowych.

Najtrudniejszym problemem technicznym w przypadku pustych kołków podnoszących w urządzeniach półprzewodnikowych nie jest zewnętrzna powłoka powierzchniowa, ale uzyskanie stabilnej i jednolitej powłoki CVD na wewnętrznej ścianie pustej konstrukcji. Od kontroli jednorodności powłoki ścian wewnętrznych po zapewnienie czystości otworu wewnętrznego – każdy etap procesu wpływa bezpośrednio na wydajność płytek. W tym artykule przeanalizowano podstawowe wyzwania związane z powlekaniem wewnętrznych ścianek pustych sworzni podnoszących oraz kluczowe ścieżki techniczne.