Proces trawienia ICP/PSS

Proces trawienia nośnika płytki VeTek Semiconductor ICPPSS (indukcyjnie sprzężona plazma fotorezystu) został specjalnie zaprojektowany, aby spełnić rygorystyczne wymagania procesów trawienia w przemyśle półprzewodników. Dzięki zaawansowanym funkcjom zapewnia optymalną wydajność, wydajność i niezawodność w całym procesie trawienia.

Zalety wsporników procesu trawienia ICP/PSS firmy VeTek Semiconductor:

Zwiększona kompatybilność chemiczna: Nośnik płytki jest skonstruowany przy użyciu materiałów, które wykazują doskonałą kompatybilność chemiczną z chemikaliami procesu trawienia. Zapewnia to kompatybilność z szeroką gamą środków trawiących, środków do usuwania powłok ochronnych i roztworów czyszczących, minimalizując ryzyko reakcji chemicznych lub zanieczyszczenia.

Odporność na wysoką temperaturę: Nośnik płytki został zaprojektowany tak, aby wytrzymywał wysokie temperatury występujące podczas procesu trawienia. Zachowuje integralność strukturalną i wytrzymałość mechaniczną, zapobiegając odkształceniom lub uszkodzeniom nawet w ekstremalnych warunkach termicznych.

Doskonała równomierność trawienia: Nośnik charakteryzuje się precyzyjnie zaprojektowaną konstrukcją, która zapewnia równomierną dystrybucję środków trawiących i gazów na powierzchni płytki. Wynikiem tego są stałe szybkości trawienia i wysokiej jakości, jednolite wzory, niezbędne do uzyskania precyzyjnych i niezawodnych wyników trawienia.

Doskonała stabilność wafla: nośnik zawiera bezpieczny mechanizm przytrzymujący wafel, który zapewnia stabilne pozycjonowanie i zapobiega ruchowi lub poślizgowi wafla podczas procesu trawienia. Gwarantuje to dokładne i powtarzalne wzory trawienia, minimalizując defekty i straty wydajności.

Kompatybilność z pomieszczeniami czystymi: Nośnik płytek został zaprojektowany tak, aby spełniać rygorystyczne standardy pomieszczeń czystych. Charakteryzuje się niskim wytwarzaniem cząstek i doskonałą czystością, zapobiegając zanieczyszczeniu cząsteczkami, które mogłoby zagrozić jakości i wydajności procesu trawienia. Zanieczyszczenie wynosi poniżej 5 ppm.

Solidna i trwała konstrukcja: Bagażnik został zaprojektowany przy użyciu wysokiej jakości materiałów znanych ze swojej trwałości i długiej żywotności. Może wytrzymać wielokrotne użytkowanie i rygorystyczne procesy czyszczenia bez uszczerbku dla jego wydajności i integralności strukturalnej.

Konfigurowalny projekt: Oferujemy konfigurowalne opcje, aby spełnić specyficzne wymagania klienta. Nośnik można dostosować tak, aby pasował do różnych rozmiarów i grubości płytek oraz specyfikacji procesu, zapewniając kompatybilność z różnymi urządzeniami i procesami trawienia.

Poznaj niezawodność i wydajność naszego nośnika płytek z procesem trawienia ICP/PSS, zaprojektowanego w celu optymalizacji procesu trawienia w przemyśle półprzewodników. Jego zwiększona kompatybilność chemiczna, odporność na wysoką temperaturę, doskonała jednorodność trawienia, doskonała stabilność płytek, kompatybilność z pomieszczeniami czystymi, solidna konstrukcja i konfigurowalna konstrukcja sprawiają, że jest to idealny wybór do zastosowań związanych z trawieniem.

Płytka do trawienia PSS Płytka do trawienia ICP Susceptor wytrawiający ICP