Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.

Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.

Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:

Excellent properties of TaC coating graphite

Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.

Kluczowe funkcje:

●Stabilność temperatury

●Bardzo wysoka czystość

●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

●Odporność na zapasy termiczne

●Silna przyczepność do grafitu

●Konformalne pokrycie powłoką

● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)

Aplikacje:

●Nośnik opłatków

● Indukcyjny wspornik grzejny

● Rezystancyjny element grzejny

●Dysk satelitarny

●Głowica prysznicowa

●Pierścień prowadzący

●Odbiornik LED Epi

●Dysza wtryskowa

●Pierścień maskujący

● Osłona termiczna

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość	14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność	0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6,3 10^-6/K
Twardość (HK)	2000 HK
Opór	1×10^-5Om*cm
Stabilność termiczna	<2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu	-10~-20um
Grubość powłoki	Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element	Procent atomowy
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Przeciętny
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ich	47.90	42.59	47.63	46.04

Uchwyt z powłoką TaC Dysk planetarny z powłoką TaC
Płyta pokryta TaC Płytka obrotowa z powłoką TaC Odbiornik powłoki TaC Powłoka CVD TaC Pierścień z powłoką CVD TaC Płyta z powłoką TaC

View as

Pierścień powlekany z węglikiem tantalu

Jako profesjonalny innowator i lider produktów pierścieniowych powlekanych węglika Tantalum w Chinach, pierścień powlekany węglika z półprzewodnikiem VETEK odgrywa niezastąpioną rolę we wzroście kryształów SIC z doskonałą opornością na wysoką temperaturę, odpornością na zużycie i doskonałą przewodnością cieplną. Witamy w dalszych konsultacjach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Porowaty węglik tantalu

Vetek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i liderem porowatych produktów węglików do tantalu w Chinach. Porowaty węglik tantalu jest zwykle wytwarzany metodą chemicznego osadzania pary (CVD), zapewniając precyzyjną kontrolę wielkości i dystrybucji porów i jest narzędziem materialnym poświęconym ekstremalnym środowiskom w wysokiej temperaturze. Witamy w dalszych konsultacjach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień przewodnika powłoki TAC

Pierścień prowadzący powłokę TaC firmy VeTek Semiconductor powstaje poprzez nałożenie powłoki węglika tantalu na części grafitowe przy użyciu wysoce zaawansowanej techniki zwanej chemicznym osadzaniem z fazy gazowej (CVD). Metoda ta jest dobrze ugruntowana i oferuje wyjątkowe właściwości powłokowe. Dzięki zastosowaniu pierścienia prowadzącego powłoki TaC można znacznie wydłużyć żywotność elementów grafitowych, ograniczyć przemieszczanie się zanieczyszczeń grafitowych i niezawodnie utrzymać jakość monokryształów SiC i AIN. Zapraszamy do zapytania nas.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień z węglików do tantalu

Jako zaawansowany producent i producent produktów z węglika Tantalum w Chinach, półprzewodnikowy pierścień z węglikiem Tantalu Vetek ma wyjątkowo wysoką twardość, odporność na zużycie, oporność w wysokiej temperaturze i stabilność chemiczną i jest szeroko stosowany w dziedzinie produkcji półprzewodników. Zwłaszcza w CVD, PVD, procesie implantacji jonów, procesie trawienia oraz przetwarzaniu i transportu płytek jest niezbędnym produktem do przetwarzania i produkcji półprzewodników. Czekamy na dalsze konsultacje.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Wsparcie powłoki z węglika tantalu

Jako profesjonalny producent i fabryka powłok z węglika tantalu w Chinach, VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating Support jest zwykle stosowany do powlekania powierzchni elementów konstrukcyjnych lub elementów nośnych w sprzęcie półprzewodnikowym, szczególnie do ochrony powierzchni kluczowych elementów sprzętu w procesach produkcji półprzewodników, takich jak CVD i PVD. Zapraszamy do dalszych konsultacji.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień przewodnika z węglikiem do węglików

VETEK Semiconductor jest profesjonalnym producentem i liderem produktów do przewodników z węglika Tantalum w Chinach. Nasz pierścień przewodnika z węglika Tantalum (TAC) to wysokowydajny składnik pierścienia wykonany z węgliku tantalu, który jest powszechnie stosowany w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników, szczególnie w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysoce korozyjnej, takich jak CVD, PVD, trawienie i dyfuzja. Vetek Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie zaawansowanych rozwiązań technologicznych i produktów dla branży półprzewodnikowej i z zadowoleniem przyjmuje dalsze zapytania.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Powłoka z węglika tantalu

Kluczowe funkcje:

Aplikacje:

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Dane EDX powłoki TaC：

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Pierścień powlekany z węglikiem tantalu

Porowaty węglik tantalu

Pierścień przewodnika powłoki TAC

Pierścień z węglików do tantalu

Wsparcie powłoki z węglika tantalu

Pierścień przewodnika z węglikiem do węglików

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres