Ceramika z węglika krzemu

VeTek Semiconductor to Twój innowacyjny partner w dziedzinie obróbki półprzewodników. Dzięki naszemu szerokiemu asortymentowi kombinacji materiałów z węglika krzemu klasy półprzewodnikowej, możliwościom produkcji komponentów i usługom inżynierii zastosowań, możemy pomóc Ci pokonać znaczące wyzwania. Inżynierska techniczna ceramika z węglika krzemu jest szeroko stosowana w przemyśle półprzewodników ze względu na ich wyjątkową wydajność materiałową. Ultraczysta ceramika z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest często stosowana w całym cyklu produkcji i przetwarzania półprzewodników.

DYFUZJA I PRZETWARZANIE LPCVD

VeTek Semiconductor dostarcza komponenty ceramiczne zaprojektowane specjalnie pod kątem wymagań związanych z dyfuzją wsadową i LPCVD, w tym:

• Przegrody i uchwyty
• Wtryskiwacze
• Wkładki i rury procesowe
• Łopatki wspornikowe z węglika krzemu
• Łódki i cokoły waflowe

Wiosło wspornikowe SiC Rury procesowe SiC Rura procesowa z węglika krzemu Pionowa łódź waflowa SiC Pozioma łódź waflowa SiC Pozioma łódka waflowa SiC Łódź waflowa SiC LPCVD Łódź z poziomą płytą SiC Ceramiczny pierścień uszczelniający SiC

KOMPONENTY PROCESU WYTRAWANIA

Zminimalizuj zanieczyszczenie i nieplanowaną konserwację dzięki komponentom o wysokiej czystości zaprojektowanym z myślą o rygorystycznych warunkach trawienia plazmowego, w tym:

Pierścienie ostrości

Dysze

Tarcze

Słuchawki prysznicowe

Okna / Pokrywy

Inne niestandardowe komponenty

SZYBKA OBRÓBKA TERMICZNA I KOMPONENTY PROCESU EPITAKSYJNEGO

VeTek Semiconductor dostarcza zaawansowane komponenty materiałowe dostosowane do zastosowań w zakresie wysokotemperaturowej obróbki cieplnej w przemyśle półprzewodników. Zastosowania te obejmują procesy RTP, Epi, dyfuzję, utlenianie i wyżarzanie. Nasza ceramika techniczna jest zaprojektowana tak, aby wytrzymać szoki termiczne, zapewniając niezawodną i stałą wydajność. Dzięki komponentom VeTek Semiconductor producenci półprzewodników mogą osiągnąć wydajną i wysokiej jakości obróbkę cieplną, przyczyniając się do ogólnego sukcesu produkcji półprzewodników.

• Dyfuzory

• Izolatory

• Susceptory

• Inne niestandardowe komponenty termiczne

Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu
Nieruchomość	Typowa wartość
Temperatura pracy (°C)	1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące)
Zawartość SiC/SiC	> 99,96%
Zawartość Si / Wolnego Si	< 0,1%
Gęstość nasypowa	2,60-2,70 g/cm3
Pozorna porowatość	< 16%
Siła ściskania	> 600 MPa
Wytrzymałość na zginanie na zimno	80-90 MPa (20°C)
Wytrzymałość na zginanie na gorąco	90-100 MPa (1400°C)
Rozszerzalność cieplna w @1500°C	4,70 10-6/°C
Przewodność cieplna @1200°C	23 W/m·K
Moduł sprężystości	240 GPa
Odporność na szok termiczny	Niezwykle dobre

Surowiec SiC 7N o wysokiej czystości CVD

Jakość wyjściowego materiału źródłowego jest głównym czynnikiem ograniczającym wydajność płytek w produkcji monokryształów SiC. Wysokiej czystości CVD SiC 7N firmy VETEK to polikrystaliczna alternatywa o dużej gęstości dla tradycyjnych proszków, specjalnie zaprojektowana do fizycznego transportu pary (PVT). Stosując masową formę CVD, eliminujemy typowe defekty wzrostu i znacznie poprawiamy przepustowość pieca. Czekamy na Twoje zapytanie.

Próżniowy piec do prasowania na gorąco z węglika krzemu

Technologia wiązania nasion SiC jest jednym z kluczowych procesów wpływających na wzrost kryształów. Firma VETEK opracowała specjalistyczny piec próżniowy do prasowania na gorąco do łączenia nasion w oparciu o charakterystykę tego procesu. Piec może skutecznie redukować różne defekty powstające podczas procesu wiązania nasion, poprawiając w ten sposób wydajność i ostateczną jakość wlewka kryształu.

Łódź z kasetą silikonową

Silicon Cassette Boat firmy Veteksemicon to precyzyjnie zaprojektowany nośnik płytek opracowany specjalnie do zastosowań w wysokotemperaturowych piecach półprzewodnikowych, w tym do utleniania, dyfuzji, wbijania i wyżarzania. Wykonany z krzemu o ultrawysokiej czystości i wykończony zgodnie z zaawansowanymi standardami kontroli zanieczyszczeń, zapewnia termicznie stabilną, chemicznie obojętną platformę, która ściśle odpowiada właściwościom samych płytek krzemowych. To ustawienie minimalizuje naprężenia termiczne, zmniejsza poślizg i powstawanie defektów oraz zapewnia wyjątkowo równomierny rozkład ciepła w całej partii

Łopatka wspornikowa z węglika krzemu do obróbki płytek

Łopatka wspornikowa z węglika krzemu firmy Veteksemicon została zaprojektowana z myślą o zaawansowanym przetwarzaniu płytek w produkcji półprzewodników. Wykonany z wysokiej czystości SiC, zapewnia wyjątkową stabilność termiczną, doskonałą wytrzymałość mechaniczną i doskonałą odporność na wysokie temperatury i środowiska korozyjne. Cechy te zapewniają precyzyjną obsługę płytek, dłuższą żywotność i niezawodne działanie w procesach takich jak MOCVD, epitaksja i dyfuzja. Zapraszamy do konsultacji.

Ramię robota z węglika silikonowego

Nasze robotyczne ramię z węglika krzemu (SIC) zostało zaprojektowane do wysokowydajnych obsługi płytek w zaawansowanej produkcji półprzewodników. To robotyczne ramię, wykonane z węglików krzemowych o dużej czystości, oferuje wyjątkową odporność na wysokie temperatury, korozję w osoczu i atak chemiczny, zapewniając niezawodne działanie w wymagających środowiskach w pokoju czystym. Wyjątkowa wytrzymałość mechaniczna i stabilność wymiarowa umożliwiają precyzyjne obchodzenie się z waflami przy jednoczesnym minimalizowaniu ryzyka zanieczyszczenia, co czyni go idealnym wyborem dla MOCVD, epitaksji, implantacji jonów i innych krytycznych zastosowań obsługi opłat. Z zadowoleniem przyjmujemy Twoje zapytania.

Łódź waflowa krzemowa sic

Łodzie waflowe Vetesemicon SIC są szeroko stosowane w krytycznych procesach w wysokiej temperaturze w produkcji półprzewodników, służąc jako niezawodne nośniki utleniania, dyfuzji i wyżarzania dla procesów zintegrowanych na bazie krzemu. Excel wyróżniają się również w sektorze półprzewodników trzeciej generacji, idealnie nadającej się do wymagających procesów, takich jak wzrost epitaksjalny (EPI) i chemiczne osadzanie pary z metalowo-organizacji (MOCVD) dla urządzeń SIC i GAN Power. Wspierają również wytwarzanie wysokiej temperatury wysokowydajnych ogniw słonecznych w branży fotowoltaicznej. Czekamy na dalsze konsultacje.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
+86-15988690905
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, hrabstwo Wuyi, miasto Jinhua, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu