Porowaty pierścień grafitowy pokryty węglikiem tantalu (TaC).

Cechy produktu

• Podstawowe wyposażenie:Przeznaczony do pieców wzrostowych monokrystalicznych SiC, które działają w technologii PVT.
• Podstawowa aplikacja:Nadaje się do systemów pola termicznego w hodowli kryształów półprzewodników SiC trzeciej generacji.
• Stabilność w wysokiej temperaturze:Powłoka TaC zachowuje integralność strukturalną w bardzo wysokich temperaturach, wspierając wydłużoną pracę w wymagających środowiskach termicznych.
• Ochrona przed korozją:Gęsta warstwa CVD TaC chroni podłoże grafitowe przed parami krzemu, gazami zawierającymi węgiel i innymi substancjami korozyjnymi napotykanymi podczas wzrostu SiC.
• Wydajność pola cieplnego:Porowata podstawa grafitowa pomaga w dystrybucji ciepła i transporcie pary, co pomaga utrzymać stabilne warunki wzrostu.
• Niskie zanieczyszczenie:Materiały wyjściowe o wysokiej czystości i gęsta powłoka ograniczają uwalnianie zanieczyszczeń i uwalnianie cząstek, poprawiając jakość kryształów.
• Wydłużona żywotność:Warstwa TaC poprawia odporność na utlenianie, twardość powierzchni i ogólną trwałość w podwyższonych temperaturach.
• Przyczepność powłoki:Proces CVD zapewnia silne wiązanie pomiędzy warstwą TaC i podłożem grafitowym.
• Opcje niestandardowe:Wymiary, szczegóły konstrukcyjne i specyfikacje powłok można dostosować, aby dopasować je do różnych wymagań pieca wzrostowego SiC.

Dane techniczne

Aplikacje

Porowaty pierścień grafitowy pokryty TaC firmy VETEK jest stosowany głównie w:

• Wzrost monokryształów SiC metodą PVT
• Produkcja półprzewodników trzeciej generacji
• Produkcja podłoża SiC
• Systemy pola termicznego w piecach do wzrostu kryształów
• Obróbka półprzewodników w wysokiej temperaturze
• Zaawansowane komponenty z grafitową strefą gorącą

Często zadawane pytania

1. Co to jest porowaty pierścień grafitowy pokryty TaC?

Jest składnikiem pola termicznego w piecach do wzrostu kryształów SiC. Łączy w sobie porowatą strukturę grafitową z powłoką CVD TaC, aby zapewnić zarządzanie temperaturą i ochronę przed korozją wysokotemperaturową.

2. Dlaczego warto stosować powłokę TaC do wzrostu kryształów SiC?

TaC zapewnia stabilność w wysokich temperaturach i odporność chemiczną. Chroni grafit przed atakiem oparów krzemu i pomaga utrzymać czyste, stabilne środowisko wzrostu.

3. Co oferuje porowata struktura grafitu?

Porowata konstrukcja wspomaga dystrybucję ciepła i transport gazu w piecu, co przyczynia się do stabilnych warunków wzrostu kryształów SiC.

4. Czy firma VETEK może produkować niestandardowe pierścienie grafitowe pokryte TaC?

Tak. VETEK oferuje personalizację w oparciu o rysunki klienta, projekty pieców i potrzeby procesowe, w tym wymiary, konfigurację podłoża i parametry powłoki.