Płyta obrotowa powłoki TAC

Płyta obrotowa VETEK Semiconductor TAC ma skład o wysokiej czystości, zawartość zanieczyszczenia mniejsza niż 5ppm oraz gęstą i jednolitą strukturę, która jest szeroko stosowana w systemach LPE EPI, systemach AIXTRON, systemach Nuflare, systemach Tel CVD, Veeco Systems, systemach TSI.

● Doskonałe właściwości mechaniczne:

Powłoki twardości do 2300HV, z doskonałą odpornością na zużycie.

Przyczepność między powłoką a podłożem jest silna i nie jest łatwo spaść lub obierać.

Powłoka może nadal utrzymywać dobrą stabilność strukturalną w wysokiej temperaturze.

●  Doskonała odporność na korozję:

Sam materiał TAC ma doskonałą stabilność chemiczną i odporność na korozję.

Powłoki Vetek Semiconductor działają dobrze w różnych agresywnych środowiskach gazowych.

Może skutecznie chronić wewnętrzne elementy sprzętu przed uszkodzeniem korozji.

● Wykończenie wysokiej powierzchni:

Vetek Semiconductor wykorzystuje precyzyjny proces powlekania do wytworzenia pożądanego wykończenia.

Niska chropowatość powierzchni pomaga zmniejszyć akumulację i osadzanie cząstek.

● Spójność powlekania jest dobra:

Vetek Semiconductor ma system kontroli jakości dźwięku, aby zapewnić spójną wydajność między partiami.

Grubość powłoki jest równomiernie rozłożona i nie ma oczywistych wad lokalnych.

● Doskonała praktyczna wydajność aplikacji:

Powłoka TAC Veteka Semiconductor jest szeroko stosowana u wielu znanych producentów sprzętu epitaksjalnego w kraju i za granicą.

Parametr fizyczny produktu płyty obrotowej powlekanej TAC:

Powłoka z węglikiem tantalu na mikroskopijnym przekroju