Produkty

Zaawansowana ceramika

VeTek Semiconductor oferuje kompleksową gamę ceramiki półprzewodnikowej umożliwiającej ulepszone przetwarzanie. Nasze powłoki z węglika krzemu są znane ze swojej gęstości, odporności na wysoką temperaturę i odporności chemicznej, co czyni je idealnymi do różnych etapów produkcji półprzewodników. Powłoki te są wykorzystywane w przetwarzaniu i wytwarzaniu płytek półprzewodnikowych, zapewniając wydajność i niezawodność.


Ponadto oferujemy inną ceramikę półprzewodnikową:

Kwarc: Kwarc wykazuje doskonałą stabilność w wysokich temperaturach, obojętność chemiczną i przezroczystość optyczną. Znajduje szerokie zastosowanie w produkcji półprzewodników, w tym w fotolitografii, chemicznym osadzaniu z fazy gazowej (CVD) i fizycznym osadzaniu z fazy gazowej (PVD). Podłoża, rurki i okna kwarcowe odgrywają kluczową rolę w procesie produkcji półprzewodników.

Ceramika z tlenku glinu: Ceramika z tlenku glinu oferuje wyjątkowe właściwości izolacyjne, stabilność w wysokich temperaturach i obojętność chemiczną. Są powszechnie stosowane w sprzęcie półprzewodnikowym do elementów takich jak izolatory, uszczelki, opakowania i podłoża. Wysoka izolacja i odporność na wysoką temperaturę ceramiki z tlenku glinu sprawiają, że są one niezbędnymi materiałami w produkcji półprzewodników.

Ceramika z azotku boru: Ceramika z azotku boru wykazuje doskonałą przewodność cieplną, wysoką twardość i obojętność chemiczną. Są szeroko stosowane w środowiskach wysokotemperaturowych w produkcji półprzewodników, takich jak wyżarzanie, obróbka cieplna i pakowanie. Ceramika z azotku boru jest powszechnie stosowana do produkcji armatury, elementów grzejnych, radiatorów i podłoży.

Cyrkon: Tlenek cyrkonu to materiał ceramiczny o wysokiej wytrzymałości, wysokiej twardości i odporności na ciepło. Posiada wyjątkową stabilność chemiczną i dobre właściwości izolacyjne. W produkcji półprzewodników tlenek cyrkonu jest często używany do produkcji elementów izolacyjnych, okien i czujników w środowiskach o wysokiej temperaturze. Ze względu na doskonałą przewodność cieplną i niską stratę dielektryczną tlenek cyrkonu jest również szeroko stosowany w urządzeniach RF i mikrofalowych.

Azotek krzemu: Azotek krzemu to materiał ceramiczny odporny na wysokie temperatury i korozję, charakteryzujący się doskonałą wytrzymałością mechaniczną i przewodnością cieplną. Jest powszechnie stosowany w produkcji półprzewodników do krytycznych komponentów, takich jak hermetyzacja cienkowarstwowa, warstwy izolacyjne, czujniki i przekładki. Azotek krzemu wykazuje wyjątkowe właściwości izolacyjne i stabilność chemiczną, umożliwiając stabilną pracę w wysokich temperaturach i trudnych warunkach. Dodatkowo niska stała dielektryczna i niskie straty dielektryczne sprawiają, że jest to idealny wybór do urządzeń elektronicznych wysokiej częstotliwości i opakowań mikroelektronicznych.

W VeTek Semiconductor dokładamy wszelkich starań, aby dostarczać wysokiej jakości inną ceramikę półprzewodnikową, która spełnia rygorystyczne wymagania branży.


Kluczowe funkcje

● Kompleksowe portfolio materiałów: kwarc, tlenek glinu (Al₂O₃), azotek boru (BN), tlenek cyrkonu (ZrO₂) i azotek krzemu (Si₃N₄).

● Wysoka czystość i niskie zanieczyszczenie, odpowiednie dla środowisk procesowych klasy półprzewodnikowej.

● Doskonała stabilność w wysokich temperaturach, obojętność chemiczna i dostosowane właściwości termiczne/elektryczne dla każdego materiału.

● Możliwość precyzyjnej obróbki łodzi, rur, okien, osłon, izolatorów, osprzętu, czujników i części niestandardowych.

● Sprawdzone zastosowania w urządzeniach CVD/PVD, fotolitografii, dyfuzji, wyżarzaniu, pakowaniu i urządzeniach RF/mikrofalowych.

● Kontrola jakości posiadająca certyfikat ISO9001 i wsparcie w zakresie dostosowywania w celu dopasowania do konkretnego sprzętu i wymagań procesu.


Aplikacje

Aby sprostać różnorodnym potrzebom procesów półprzewodnikowych, VeTek oferuje ukierunkowane inne produkty z zakresu ceramiki półprzewodnikowej. Poniższa tabela klasyfikuje je według głównych materiałów i obszarów zastosowań:

Materiał / Pole Typowe produkty Opis aplikacji
Kwarc Łódki z płytek kwarcowych, nieprzezroczyste kwarcowe osłony/żaluzje, zakryć blaty, tygle, rurki, okna Stabilność w wysokiej temperaturze, obojętność chemiczna i przezroczystość optyczna w fotolitografii, CVD, PVD, dyfuzji, utlenianiu, wyżarzaniu i ochronie komory MOCVD.
Tlenek Glinu (Al₂O₃) Izolatory, uszczelki, elementy opakowań, podłoża Znakomita izolacja, stabilność w wysokich temperaturach i obojętność chemiczna dla elementów sprzętu półprzewodnikowego wymagających izolacji elektrycznej i odporności termicznej.
Azotek Boru (BN) Oprawy, elementy grzejne, radiatory, podłoża Doskonała przewodność cieplna, wysoka twardość i obojętność chemiczna do wyżarzania, obróbki cieplnej i pakowania w wysokotemperaturowych procesach półprzewodników.
Cyrkon (ZrO₂) Elementy izolacji, okna, czujniki Wysoka wytrzymałość, twardość i odporność na ciepło przy dobrej izolacji; stosowane w środowiskach o wysokiej temperaturze i urządzeniach RF/mikrofalowych ze względu na niskie straty dielektryczne.
Azotek krzemu (Si₃N₄) Hermetyzacja cienkowarstwowa, warstwy izolacyjne, czujniki, przekładki Odporność na wysoką temperaturę i korozję przy doskonałej wytrzymałości mechanicznej; idealny do urządzeń wysokiej częstotliwości i opakowań mikroelektronicznych (niska stała dielektryczna/strata).

Bardziej szczegółowe rozwiązania w zakresie dopasowywania procesów można znaleźć w dokumencieKwarc półprzewodnikowypowiązane strony.


Jako profesjonalny producent i dostawca innej ceramiki półprzewodnikowej w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowaną i trwałą inną ceramikę półprzewodnikową wyprodukowaną w Chinach, możeszzostaw nam wiadomość.


View as  
 
Pierścień trawiony kwarcem o wysokiej czystości

Pierścień trawiony kwarcem o wysokiej czystości

Komory do trawienia suchą plazmą opierają się na precyzyjnej kontroli granic wokół płytki, aby utrzymać stabilną gęstość plazmy, przepływ gazu i rozkład pola elektrycznego. Pierścienie wytrawiające VeTek Semiconductor High Purity Quartz Etch Ring to elementy komory półprzewodnikowej wykonane z dehydroksylowanego topionego kwarcu. Definiują strefę procesową na krawędzi płytki, pomagają ograniczyć plazmę, zapewnić płynny przepływ gazu i chronić obrzeża płytki, zapewniając bardziej równomierne tempo trawienia i czystsze profile w przypadku płytek krzemowych, SiC, GaN i szafirowych o średnicy 2–12 cali.
Nośnik wafla kwarcowego o wysokiej czystości

Nośnik wafla kwarcowego o wysokiej czystości

Kwarcowe nośniki płytek o wysokiej czystości firmy VeTek Semiconductor to precyzyjnie zaprojektowane oprawy półprzewodnikowe zapewniające stabilną obsługę płytek w wysokotemperaturowej obróbce termicznej, osadzaniu cienkowarstwowym, procesach mokrych i zastosowaniach próżniowych. Te nośniki waflowe, wykonane z półprzewodnikowego dehydroksylowanego topionego kwarcu (odpowiednik JGS2), zapewniają wyjątkowo wysoką czystość, doskonałą odporność na szok termiczny, obojętność chemiczną, niskie odgazowanie i wysoką płaskość – zapewniając niezawodne, wolne od zanieczyszczeń wsparcie dla 2–12-calowych podłoży krzemowych, SiC, GaN i szafirowych.
Rura pieca kwarcowego do pieca dyfuzyjnego

Rura pieca kwarcowego do pieca dyfuzyjnego

Rury pieca kwarcowego o wysokiej czystości firmy VeTek Semiconductor są głównymi elementami komór procesowych urządzeń do obróbki termicznej półprzewodników. Rury te, wykonane z odhydroksylowanego topionego kwarcu półprzewodnikowego, służą jako uszczelniona wnęka reakcyjna w piecach utleniających, piecach dyfuzyjnych, piecach do wyżarzania i systemach LPCVD. Zapewniają wyjątkową czystość, stabilność termiczną i odporność chemiczną, zapewniając jednolite pola temperaturowe, stabilny przepływ gazu i bardzo niskie zanieczyszczenie podczas przetwarzania płytek 4/6/8/12 cali.
Łódź waflowa kwarcowa o wysokiej czystości do TEL

Łódź waflowa kwarcowa o wysokiej czystości do TEL

Łódka kwarcowa o wysokiej czystości VETEK do sprzętu półprzewodnikowego TEL jest produkowana z materiału kwarcowego klasy półprzewodnikowej i przeznaczona do przenoszenia płytek w procesach wysokotemperaturowych, takich jak dyfuzja, utlenianie, wyżarzanie i CVD. Dzięki doskonałej stabilności termicznej, odporności chemicznej i niskim zanieczyszczeniom zapewnia niezawodne wsparcie płytek w zastosowaniach związanych z produkcją półprzewodników.
Nieprzezroczysta tarcza kwarcowa i przesłona o wysokiej czystości do MOCVD

Nieprzezroczysta tarcza kwarcowa i przesłona o wysokiej czystości do MOCVD

Wysokotemperaturowe i chemicznie reaktywne środowisko MOCVD, ochrona komory reakcyjnej i precyzja kontroli procesu są najważniejsze. Firma VETEK oferuje wysokiej jakości nieprzezroczyste (mlecznobiałe) komponenty kwarcowe, specjalnie zaprojektowane do działania jako „pomieszczenie czyste” i „brama precyzyjna” w sprzęcie półprzewodnikowym. Komponenty te stanowią ekonomiczne, a jednocześnie wydajne rozwiązanie do zarządzania promieniowaniem cieplnym i zapobiegania zanieczyszczeniom.
AMAT Cover Top Quartz 8 cali PCII

AMAT Cover Top Quartz 8 cali PCII

Osłona AMAT Cover Top Quartz 8" PCII (0200-00218) to komponent kwarcowy o wysokiej czystości przeznaczony do komór Applied Materials Endura PVD, zapewniający doskonałą kontrolę zanieczyszczeń, stabilność plazmy i dłuższą żywotność. Zaprojektowany do procesów półprzewodnikowych 200 mm, służy jako krytyczny element ochronny i izolacyjny w górnym obszarze komory, pomagając poprawić wydajność i spójność procesu. Vetek Semiconductor oferuje precyzyjnie wyprodukowane, Części kwarcowe kompatybilne z OEM, zapewniające niezawodne działanie i możliwości dostaw na całym świecie. Czekamy na Twoje zapytanie.
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Zaawansowana ceramika wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
Używamy plików cookie, aby zapewnić lepszą jakość przeglądania, analizować ruch w witrynie i personalizować zawartość. Korzystając z tej witryny, wyrażasz zgodę na używanie przez nas plików cookie.Polityka prywatności
OdrzucićPrzyjąć