Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.

Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.

Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:

Excellent properties of TaC coating graphite

Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.

Kluczowe funkcje:

●Stabilność temperatury

●Bardzo wysoka czystość

●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

●Odporność na zapasy termiczne

●Silna przyczepność do grafitu

●Konformalne pokrycie powłoką

● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)

Aplikacje:

●Nośnik opłatków

● Indukcyjny wspornik grzejny

● Rezystancyjny element grzejny

●Dysk satelitarny

●Głowica prysznicowa

●Pierścień prowadzący

●Odbiornik LED Epi

●Dysza wtryskowa

●Pierścień maskujący

● Osłona termiczna

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość	14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność	0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6,3 10^-6/K
Twardość (HK)	2000 HK
Opór	1×10^-5Om*cm
Stabilność termiczna	<2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu	-10~-20um
Grubość powłoki	Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element	Procent atomowy
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Przeciętny
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ich	47.90	42.59	47.63	46.04

Uchwyt z powłoką TaC Dysk planetarny z powłoką TaC
Płyta pokryta TaC Płytka obrotowa z powłoką TaC Odbiornik powłoki TaC Powłoka CVD TaC Pierścień z powłoką CVD TaC Płyta z powłoką TaC

View as

Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu

Porowaty grafit powlekany węglikiem tantalu jest produktem niezbędnym w procesie przetwarzania półprzewodników, zwłaszcza w procesie wzrostu kryształów SIC. Dzięki ciągłym inwestycjom w badania i rozwój oraz ulepszeniom technologii, jakość produktu z porowatego grafitu powlekanego TaC firmy VeTek Semiconductor zdobyła wysokie uznanie klientów w Europie i Ameryce. Zapraszamy do dalszych konsultacji.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

CVD TAC Coating Planetary SiC Epitaksial Wathertor

CVD TAC Coating Planetary SiC Epitaksial Epitaksial jest jednym z podstawowych składników reaktora planetarnego MOCVD. Poprzez powłokę CVD TAC Planetarne SIC Epitaksial, duże orbity dysku i małe dysk obracają się, a model poziomego przepływu jest rozszerzony na maszyny wielokrotnie, tak że ma zarówno wysokiej jakości zarządzanie jednolitością długości fali epitaxialnej, jak i optymalizację wadli i optymalizację wad -Chip Maszyny i zalety kosztów produkcji maszyn wielokrotnie. Jeśli chcesz także zrobić planetarny piec Mocvd, taki jak Aixtron, przyjdź do nas!

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień pokryty TAC

Jako wiodący producent i dostawca produktów Ring powlekanych TAC w Chinach, Vetek Semiconductor koncentruje się na badaniach i rozwoju i produkcji różnych produktów powlekania TAC. Jako główni klienci produktów powlekania TAC, producenci europejski i amerykańscy uzasadnili nasze produkty do powlekania. Witamy w dalszych konsultacjach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Gan Epitaxy Undertaker

VETEK Semiconductor to chińska firma, która jest światowej klasy producentem i dostawcą podatności na Epitaksy Gan. Od dawna pracujemy w przemyśle półprzewodników, takim jak krzemowe powłoki z węglikami i podatność na epitaxy Gan. Możemy zapewnić Ci doskonałe produkty i korzystne ceny. Vetek Semiconductor nie może się doczekać, aby zostać twoim długoterminowym partnerem.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Zakryte wafel TAC

VETEK Semiconductor TAC Waspektor waflowy jest tacą grafitową pokrytą węglika tantalusowym do wzrostu epitaksjalnego węglika krzemu w celu poprawy jakości i wydajności płytki. VETEK jest wybierany ze względu na zaawansowaną technologię powlekania i trwałe rozwiązania, aby zapewnić doskonałe wyniki epitaksji SIC i przedłużone życie podatkowe, powitać dalsze zapytania.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścienie przewodników powłokowych TAC

Jako wiodący producent pierścieni przewodników powlekania TAC w Chinach, pierścienie przewodników powlekanych półprzewodnikami Vetek TAC są ważnymi elementami w sprzęcie MOCVD, zapewniając dokładne i stabilne dostarczanie gazu podczas wzrostu epitaksjalnego i są niezbędnym materiałem w półprzewodnikowym wzroście epitaxialnego. Witamy, aby skonsultować się z nami.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Powłoka z węglika tantalu

Kluczowe funkcje:

Aplikacje:

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Dane EDX powłoki TaC：

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu

CVD TAC Coating Planetary SiC Epitaksial Wathertor

Pierścień pokryty TAC

Gan Epitaxy Undertaker

Zakryte wafel TAC

Pierścienie przewodników powłokowych TAC

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres