Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC

Reaktor planetarny Aixtron jest jednym z najbardziej zaawansowanychsprzęt MOCVD. Stał się szablonem do nauki dla wielu producentów reaktorów. Oparty na zasadzie poziomego reaktora z przepływem laminarnym, zapewnia wyraźne przejście pomiędzy różnymi materiałami i ma niezrównaną kontrolę nad szybkością osadzania w obszarze pojedynczej warstwy atomowej, osadzając się na obracającej się płytce w określonych warunkach. 

Najbardziej krytycznym z nich jest mechanizm wielokrotnego obrotu: reaktor przyjmuje wielokrotne obroty epitaksjalnego susceptora planetarnego SiC z powłoką CVD TaC. Ten obrót umożliwia równomierne wystawienie płytki na działanie gazu reakcyjnego podczas reakcji, zapewniając w ten sposób, że materiał osadzony na waflu ma doskonałą jednorodność pod względem grubości warstwy, składu i domieszkowania.

Ceramika TaC to materiał o wysokiej wydajności, wysokiej temperaturze topnienia (3880°C), doskonałej przewodności cieplnej, przewodności elektrycznej, wysokiej twardości i innych doskonałych właściwościach, z których najważniejsza to odporność na korozję i utlenianie. W epitaksjalnych warunkach wzrostu materiałów półprzewodnikowych SiC i azotków grupy III TaC ma doskonałą obojętność chemiczną. Dlatego epitaksjalny susceptor planetarny SiC z powłoką CVD TaC przygotowany metodą CVD ma oczywiste zalety wWzrost epitaksjalny SiCproces.

Obraz SEM przekroju grafitu pokrytego TaC

●  Odporność na wysoką temperaturę: Temperatura wzrostu epitaksjalnego SiC wynosi aż 1500 ℃ - 1700 ℃ lub nawet więcej. Temperatura topnienia TaC wynosi aż około 4000 ℃. poPowłoka TaCnakłada się na powierzchnię grafitu,części grafitowemoże utrzymać dobrą stabilność w wysokich temperaturach, wytrzymać warunki wysokiej temperatury wzrostu epitaksjalnego SiC i zapewnić płynny postęp procesu wzrostu epitaksjalnego.

●  Większa odporność na korozję: Powłoka TaC ma dobrą stabilność chemiczną, skutecznie izoluje te gazy chemiczne od kontaktu z grafitem, zapobiega korozji grafitu i wydłuża żywotność części grafitowych.

●  Lepsza przewodność cieplna: Powłoka TaC może poprawić przewodność cieplną grafitu, dzięki czemu ciepło może być bardziej równomiernie rozprowadzane na powierzchni części grafitowych, zapewniając stabilne środowisko temperaturowe dla wzrostu epitaksjalnego SiC. Pomaga to poprawić równomierność wzrostu warstwy epitaksjalnej SiC.

●  Zmniejsz zanieczyszczenie: Powłoka TaC nie reaguje z SiC i może służyć jako skuteczna bariera zapobiegająca dyfuzji elementów zanieczyszczeń z części grafitowych do warstwy epitaksjalnej SiC, poprawiając w ten sposób czystość i wydajność płytki epitaksjalnej SiC.

Firma VeTek Semiconductor jest w stanie i dobrze wytwarza epitaksjalny susceptor planetarny SiC z powłoką CVD TaC i może zapewnić klientom produkty wysoce spersonalizowane. czekamy na Twoje zapytanie.

Właściwości fizycznePowłoka z węglika tantalu 

Zakłady produkcyjne VeTek Semiconductor