Materiały i projekt

Wybór dopasowanej kombinacji podłoża i powłoki jest kluczem do zapobiegania przedwczesnym awariom komponentów, zmniejszania zanieczyszczenia cząstkami i maksymalizacji wydajności płytek. Zapewniamy dostosowane do indywidualnych potrzeb rozwiązania w zakresie materiałów i konstrukcji w oparciu o specyficzne okno procesowe klienta (temperatura robocza, skład chemiczny gazów reaktywnych, szybkości rampy).

Nasze podstawowe możliwości projektowe:

• Rygorystyczne dopasowanie naprężenia CTE:W przypadku szybkich cykli termicznych (>100°C/min) precyzyjnie dopasowujemy krzywe temperatury WRC dla podłoży grafitowych o wysokiej czystości i powłok CVD, zasadniczo zmniejszając ryzyko rozwarstwiania się powłok i mikropęknięć.
• Wybór powłoki dostosowany do scenariusza procesu:Powłoka CVD SiC do epitaksji Si/SiC (Epi), MOCVD i środowisk trawienia plazmowego; Powłoka CVD TaC do zastosowań w wyższych temperaturach i warunkach silnie korozyjnych (np. wzrost monokrystalicznego PVT SiC).
• Kontrolowana rezystywność i optymalizacja przewodności cieplnej:Precyzyjna kontrola oporności objętościowej i przewodności cieplnej podłoża i powłoki w celu spełnienia określonych wymagań elektrycznych i pola cieplnego uchwytów elektrostatycznych RF, ESC lub stref grzewczych.
• Kontrola źródła zanieczyszczeń i redukcja CoO:Warstwy osadzania CVD o wysokiej czystości gęsto uszczelniają porowaty grafit, znacznie zmniejszając wydzielanie cząstek, dyfuzję ultraśladowych zanieczyszczeń metalicznych i ryzyko odgazowania w wysokiej temperaturze.

Porównanie typowych powłok (przewodnik w skrócie)

Prawdziwy przypadek i korzyści dla klienta (doświadczenie):

Wiodący producent epitaksji SiC (Epi):W oryginalnym elemencie zastosowano niedopasowaną powłokę CVD TaC, co skutkowało nadmiernymi naprężeniami międzyfazowymi i częstymi mikropęknięciami w wysokiej temperaturze. Ponownie przeprowadziliśmy symulacje termodynamiczne i przeszliśmy na aSpecjalne podłoże grafitowe o wysokiej czystości dopasowane do CTE + warstwa buforowa + powłoka CVD SiCrozwiązanie. Wynik: średni czas życia komponentów wzrósł z 200 godzin do 850 godzin; roczna częstotliwość wymiany narzędzia spadła z 40 do 9 razy; Oszczędności w kosztach obsługi i konserwacji kompleksowego sprzętu przekroczyły 650 000 RMB rocznie.

Raport z analizy czystości GDMS dla powłok TaC i SiC

Często zadawane pytania

Rozpocznij swoją ekskluzywną usługę już teraz