Azotek silikonowy

1. Doskonała stabilność chemiczna

Ceramika azotku krzemu ma doskonałą stabilność chemiczną i może wytrzymać różnorodne silne kwasy, alkalis i gazy korozyjne. W procesie produkcji półprzewodników często musi radzić sobie z korozyjnymi chemikaliami, ceramika azotku krzemu może zapewnić długoterminową gwarancję stabilnej wydajności.

2. Doskonałe właściwości mechaniczne

Ceramika azotku krzemu ma wysoką twardość, doskonałą wytrzymałość na ściskanie i odporność na zużycie, zdolne do wytrzymywania naprężeń mechanicznych i zużycia powierzchni, a nie łatwej do deformacji lub pęknięcia. Ta właściwość mechaniczna sprawia, że ​​jest bardzo odpowiednia jako materiał do części strukturalnych i procesowych w urządzeniach półprzewodnikowych.

3. Stabilność w wysokiej temperaturze

Ceramika azotku krzemu może utrzymać stabilność w środowiskach o wysokiej temperaturze, nie łatwą do zmiękczania lub stopienia, i może wytrzymać przetwarzanie i obsługę wysokiej temperatury w procesie produkcji półprzewodników. Umożliwia to stosowanie go do produkcji kluczowych elementów sprzętu procesowego o wysokiej temperaturze, takich jak chwytaki, komponenty komory reakcji i tak dalej.

4. Doskonałe właściwości izolacyjne

Właściwości izolacyjne mają kluczowe znaczenie w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Ceramika azotku krzemu ma dobre właściwości izolacyjne, które mogą skutecznie izolować i chronić komponenty obwodu przed przeciekiem prądu lub zakłóceń elektromagnetycznych, pomagając poprawić stabilność i niezawodność urządzenia.

5. Przewodnictwo cieplne i przewodność cieplna

Ceramika azotku krzemu ma wysoką przewodność cieplną, może skutecznie prowadzić i rozproszyć ciepło wytwarzane przez urządzenie, pomagając utrzymać stabilność temperatury urządzenia w procesie operacyjnym. Ma to kluczowe znaczenie dla wysokiej wydajności urządzeń półprzewodnikowych.

1. Elektrostatyczne uszkodzenia i komponenty komory trawienia

Ceramika azotku krzemu jest często stosowana jako materiały do ​​elektrostatycznych chucków i komponentów komory trawienia w produkcji półprzewodników ze względu na ich doskonałą stabilność chemiczną i oporność na wysoką temperaturę. Elektrostatyczne uchwyty są używane do ustalenia i stabilizacji waflów lub substratów, podczas gdy komponenty komory trawienia są używane do wytrzymywania gazów korozyjnych i środowisk o wysokiej temperaturze.

2. Płyty dystrybucji gazu i odbłyśniki

Ceramika azotku krzemu jest również stosowana do produkcji sprzętu półprzewodnikowego w płytkach dystrybucyjnych gazu i reflektorach. Płytki dystrybucji gazu są wykorzystywane do jednolitego rozkładu gazów reaktywnych lub ochronnych w komorę reakcji, podczas gdy odbłyśniki są wykorzystywane do optymalizacji rozkładu i odbicia światła w komorze reakcyjnej w celu poprawy wydajności reakcji i jednolitości.

3. Posiadacze i komponenty termiczne

Ceramika azotku krzemu jest często stosowana jako posiadacze i elementy zarządzania termicznego w sprzęcie do produkcji półprzewodników. Komponenty te muszą mieć dobrą wytrzymałość mechaniczną, odporność na zużycie i przewodność cieplną, aby zapewnić stabilną obsługę sprzętu i dokładność przetwarzania urządzeń.

4. Chemiczne polerowanie mechaniczne (CMP)

Ceramika azotku krzemu jest szeroko stosowana jako materiał podkładki w procesie chemicznego mechanicznego polerowania (CMP). Ma doskonałą płaskość i odporność na zużycie i może zapewnić stabilne wsparcie podczas procesu polerowania, aby zapewnić płaskość i precyzję powierzchni opłat półprzewodników.