Porowate sic

Porowate sic


Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem porowatej ceramiki SIC dla przemysłu półprzewodnikowego. Minął ISO9001, półprzewodnik Vetek ma dobrą kontrolę nad jakością. Vetek Semiconductor zawsze był zaangażowany w bycie innowatorem i liderem w porowatym przemyśle ceramicznym SIC.


Porous SiC Ceramic Disc

Porowata płyta ceramiczna SIC


Porowata ceramika SIC to materiał ceramiczny, który jest wystrzeliwany w wysokich temperaturach i mają w środku dużą liczbę połączonych lub zamkniętych porów. Jest również znany jako mikroporowaty kubek ssący próżniowy, o rozmiarach porów od 2 do 100um.


Porowata ceramika SIC była szeroko stosowana w metalurgii, przemyśle chemicznym, ochronie środowiska, biologii, półprzewodnika i innych dziedzinach. Porowatą ceramikę SIC można przygotować metodą pieniaka, metodą żelu zolowego, metodą odlewania taśmy, metodą spiekania stałego i metody pirolizy impregnacji.


Preparation of porous SiC ceramics by sintering method

Przygotowanie porowatej ceramiki sic metodą spiekania

Compressive strength of Porous SiC ceramicsFlexural strength of Porous SiC ceramicsFracture toughness of Porous SiC ceramicsthermal conductivity ofPorous SiC ceramics

Właściwości porowatej ceramiki węgla krzemu wytwarzane przez różne metody w funkcji porowatości



porous SiC ceramics Suction Cups in Semiconductor Wafer Fabrication

porowate ceramiki ssać kubki ssące w produkcji półprzewodników


Porowata ceramika SIC Veteka Semiconductor odgrywa rolę zacisku i przenoszenia płytek w produkcji półprzewodnikowej. Są gęste i jednolite, o dużej wytrzymałości, dobre w przepuszczalności powietrza i jednolite w adsorpcji.


Skutecznie rozwiązują wiele trudnych problemów, takich jak wgłębienie płytki i rozkład elektrostatyczny chipów, i pomagają w osiągnięciu przetwarzania wyjątkowo wysokiej jakości płytek.

Schemat roboczy porowatej ceramiki sic:

Working diagram of porous SiC ceramics


Zasada pracy porowatej ceramiki SIC: Wafel krzemu jest ustalany przez zasadę adsorpcji próżniowej. Podczas przetwarzania małe otwory na porowatej ceramice SIC są wykorzystywane do wydobywania powietrza między waflem krzemowym a powierzchnią ceramiczną, tak że wafel krzemowy i powierzchnia ceramiczna znajdowały się pod niskim ciśnieniem, naprawiając wafel krzemowy.


Po przetworzeniu woda w osoczu wypływa z otworów, aby zapobiec przyleganiu wafla krzemowego na powierzchnię ceramiczną, a jednocześnie oczyszczane wafel krzemowy i powierzchnię ceramiczną.


Microstructure of the porous SiC ceramics

Mikrostruktura porowatej ceramiki SIC


Podkreśl zalety i funkcje:


● Odporność na wysoką temperaturę

● Odporność na zużycie

● Odporność chemiczna

● Wysoka wytrzymałość mechaniczna

● Łatwy do regeneracji

● Doskonała odporność na wstrząsy termiczne


przedmiot
jednostka
Porowata ceramika sic
Średnica porów
jeden
10 ~ 30
Gęstość
G / CM3
1,2 ~ 1,3
Surface RougHness
jeden
2,5 ~ 3
Wartość absorpcji powietrza
KPA
-45
Siła zginania
MPA
30
Stała dielektryczna
1MHz
33
Przewodność cieplna
W/(m · k)
60 ~ 70

Istnieje kilka wysokich wymagań dotyczących porowatej ceramiki SIC:


1. Silna adsorpcja próżniowa

2. płaskość jest bardzo ważna, w przeciwnym razie będą się problemy podczas pracy

3. Brak deformacji i braku zanieczyszczeń metali


Dlatego wartość absorpcji powietrza porowatej ceramiki SIC Vetek Semiconductor osiąga -45 kPa. Jednocześnie są one hartowane na 1200 ℃ przez 1,5 godziny przed opuszczeniem fabryki w celu usunięcia zanieczyszczeń i są pakowane w torby próżniowe.


Porowata ceramika SIC jest szeroko stosowana w technologii przetwarzania, transferu i innych linkach. Dokonali wielkich osiągnięć w łączeniu, krojenia, montażu, polerowaniu i innych linkach.


View as  
 
Porowaty uchwyt próżniowy SiC

Porowaty uchwyt próżniowy SiC

Porowato -próżniowy chuck Veteka Semiconductor jest zwykle stosowany w kluczowych elementach sprzętu do produkcji półprzewodników, szczególnie jeśli chodzi o procesy CVD i PECVD. Vetek Semiconductor specjalizuje się w produkcji i dostarczaniu porowatej próżniowej próżni o wysokiej wydajności. Witamy w dalszych zapytaniach.
Porowaty ceramiczny uchwyt próżniowy

Porowaty ceramiczny uchwyt próżniowy

Porowaty ceramiczny uchwyt próżniowy firmy Vetek Semiconductor jest wykonany z materiału ceramicznego z węglika krzemu (SiC), który charakteryzuje się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, stabilnością chemiczną i wytrzymałością mechaniczną. Jest niezbędnym elementem rdzenia w procesie półprzewodnikowym. Zapraszamy do dalszych zapytań.
Porowate ceramiczne chuck

Porowate ceramiczne chuck

VETEK Semiconductor oferuje porowaty ceramiczny chuck szeroko stosowany w technologii przetwarzania wafli, transferu i innych linkach, odpowiednich do wiązania, scenariusza, łatki, polerowania i innych linków, przetwarzania laserowego. Nasz porowaty ceramiczny chuck ma ultra-odtłuszczoną adsorpcję próżniową, wysoką płaskość i wysoką czystość zaspokajają potrzeby większości branż półprzewodników. Przygotowanie do badania nas.

Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.


Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.


Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.


Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.


Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Porowate sic wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept