Kod QR

Produkty
Skontaktuj się z nami
Telefon
Faks
+86-579-87223657
E-mail
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny
Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem porowatej ceramiki SIC dla przemysłu półprzewodnikowego. Minął ISO9001, półprzewodnik Vetek ma dobrą kontrolę nad jakością. Vetek Semiconductor zawsze był zaangażowany w bycie innowatorem i liderem w porowatym przemyśle ceramicznym SIC.
Porowata płyta ceramiczna SIC
Porowata ceramika SIC to materiał ceramiczny, który jest wystrzeliwany w wysokich temperaturach i mają w środku dużą liczbę połączonych lub zamkniętych porów. Jest również znany jako mikroporowaty kubek ssący próżniowy, o rozmiarach porów od 2 do 100um.
Porowata ceramika SIC była szeroko stosowana w metalurgii, przemyśle chemicznym, ochronie środowiska, biologii, półprzewodnika i innych dziedzinach. Porowatą ceramikę SIC można przygotować metodą pieniaka, metodą żelu zolowego, metodą odlewania taśmy, metodą spiekania stałego i metody pirolizy impregnacji.
Przygotowanie porowatej ceramiki sic metodą spiekania
Właściwości porowatej ceramiki węgla krzemu wytwarzane przez różne metody w funkcji porowatości
porowate ceramiki ssać kubki ssące w produkcji półprzewodników
Porowata ceramika SIC Veteka Semiconductor odgrywa rolę zacisku i przenoszenia płytek w produkcji półprzewodnikowej. Są gęste i jednolite, o dużej wytrzymałości, dobre w przepuszczalności powietrza i jednolite w adsorpcji.
Skutecznie rozwiązują wiele trudnych problemów, takich jak wgłębienie płytki i rozkład elektrostatyczny chipów, i pomagają w osiągnięciu przetwarzania wyjątkowo wysokiej jakości płytek.
Schemat roboczy porowatej ceramiki sic:
Zasada pracy porowatej ceramiki SIC: Wafel krzemu jest ustalany przez zasadę adsorpcji próżniowej. Podczas przetwarzania małe otwory na porowatej ceramice SIC są wykorzystywane do wydobywania powietrza między waflem krzemowym a powierzchnią ceramiczną, tak że wafel krzemowy i powierzchnia ceramiczna znajdowały się pod niskim ciśnieniem, naprawiając wafel krzemowy.
Po przetworzeniu woda w osoczu wypływa z otworów, aby zapobiec przyleganiu wafla krzemowego na powierzchnię ceramiczną, a jednocześnie oczyszczane wafel krzemowy i powierzchnię ceramiczną.
Mikrostruktura porowatej ceramiki SIC
Podkreśl zalety i funkcje:
● Odporność na wysoką temperaturę
● Odporność na zużycie
● Odporność chemiczna
● Wysoka wytrzymałość mechaniczna
● Łatwy do regeneracji
● Doskonała odporność na wstrząsy termiczne
przedmiot
jednostka
Porowata ceramika sic
Średnica porów
jeden
10 ~ 30
Gęstość
G / CM3
1,2 ~ 1,3
Surface RougHness
jeden
2,5 ~ 3
Wartość absorpcji powietrza
KPA
-45
Siła zginania
MPA
30 Stała dielektryczna
1MHz
33 Przewodność cieplna
W/(m · k)
60 ~ 70
Istnieje kilka wysokich wymagań dotyczących porowatej ceramiki SIC:
1. Silna adsorpcja próżniowa
2. płaskość jest bardzo ważna, w przeciwnym razie będą się problemy podczas pracy
3. Brak deformacji i braku zanieczyszczeń metali
Dlatego wartość absorpcji powietrza porowatej ceramiki SIC Vetek Semiconductor osiąga -45 kPa. Jednocześnie są one hartowane na 1200 ℃ przez 1,5 godziny przed opuszczeniem fabryki w celu usunięcia zanieczyszczeń i są pakowane w torby próżniowe.
Porowata ceramika SIC jest szeroko stosowana w technologii przetwarzania, transferu i innych linkach. Dokonali wielkich osiągnięć w łączeniu, krojenia, montażu, polerowaniu i innych linkach.
Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.
Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.
Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.
Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny
Copyright © 2024 VETek Semiconductor Technology Co., Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |