Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.

Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.

Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:

Excellent properties of TaC coating graphite

Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.

Kluczowe funkcje:

●Stabilność temperatury

●Bardzo wysoka czystość

●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

●Odporność na zapasy termiczne

●Silna przyczepność do grafitu

●Konformalne pokrycie powłoką

● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)

Aplikacje:

●Nośnik opłatków

● Indukcyjny wspornik grzejny

● Rezystancyjny element grzejny

●Dysk satelitarny

●Głowica prysznicowa

●Pierścień prowadzący

●Odbiornik LED Epi

●Dysza wtryskowa

●Pierścień maskujący

● Osłona termiczna

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość	14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność	0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6,3 10^-6/K
Twardość (HK)	2000 HK
Opór	1×10^-5Om*cm
Stabilność termiczna	<2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu	-10~-20um
Grubość powłoki	Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element	Procent atomowy
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Przeciętny
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ich	47.90	42.59	47.63	46.04

Uchwyt z powłoką TaC Dysk planetarny z powłoką TaC
Płyta pokryta TaC Płytka obrotowa z powłoką TaC Odbiornik powłoki TaC Powłoka CVD TaC Pierścień z powłoką CVD TaC Płyta z powłoką TaC

View as

Susceptor rotacji powłoki TaC

Jako profesjonalny producent, innowator i lider produktów TaC Coating Rotation Susceptor w Chinach. Susceptor rotacyjny powłoki VeTek Semiconductor TaC jest zwykle instalowany w urządzeniach do chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) i epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) w celu podparcia i obracania płytek w celu zapewnienia równomiernego osadzania materiału i wydajnej reakcji. Jest kluczowym elementem w przetwarzaniu półprzewodników. Zapraszamy do dalszych konsultacji.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Tygiel z powłoką CVD TaC

VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i liderem produktów tygli z powłoką CVD TaC w Chinach. Tygiel z powłoką CVD TaC oparty jest na powłoce z węgla tantalowego (TaC). Powłoka węgla tantalowego jest równomiernie pokryta powierzchnią tygla w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), aby zwiększyć jej odporność na ciepło i korozję. Jest to narzędzie materiałowe specjalnie stosowane w ekstremalnych warunkach wysokiej temperatury. Zapraszamy do dalszych konsultacji.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

CVD TAC Coating Teperrier

Jako profesjonalny producent produktów i fabryka opłatek do przewoźnika CVD TAC w Chinach, Vetek Semiconductor CVD Lakier opłatek opłatek jest narzędziem do przenoszenia opłat specjalnie zaprojektowanych do środowisk wysokiej temperatury i korozyjnych w produkcji półprzewodnikowej. a nośnik opłatek do powłoki CVD TAC ma wysoką wytrzymałość mechaniczną, doskonałą odporność na korozję i stabilność termiczną, zapewniając niezbędną gwarancję produkcji wysokiej jakości urządzeń półprzewodników. Twoje dalsze zapytania są mile widziane.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Grzeźnik powłoki TAC

Grzałka powłoki półprzewodnikowej VETEK ma wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia (około 3880 ° C). Wysoka temperatura topnienia umożliwia działanie w wyjątkowo wysokich temperaturach, szczególnie w przypadku wzrostu azotków galu (GAN) w procesie chemicznego osadzania pary organicznej (MOCVD). Vetek Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie klientom niestandardowych rozwiązań produktów. Z niecierpliwością czekamy na wiadomość od Ciebie.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Powłoka CVD TAC

VeTek Semiconductor jest wiodącym chińskim producentem powłok CVD TAC. Od wielu lat koncentrujemy się na różnych produktach do powlekania CVD TAC, takich jak pokrywa z powłoką CVD TaC, pierścień do powlekania CVD TaC. Firma VeTek Semiconductor zapewnia usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb oraz zadowalające ceny produktów i oczekuje na dalsze konsultacje.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

TAC powlekany Chuck

Dzięki odporności na wysoką temperaturę, bezwładności chemicznej i doskonałej wydajności, powlekane szyksy Vetek Semiconductor są zaprojektowane do pieców półprzewodników. Uważamy, że nasze produkty mogą przynieść zaawansowane technologie i wysokiej jakości rozwiązania produktów.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Powłoka z węglika tantalu

Kluczowe funkcje:

Aplikacje:

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Dane EDX powłoki TaC：

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Susceptor rotacji powłoki TaC

Tygiel z powłoką CVD TaC

CVD TAC Coating Teperrier

Grzeźnik powłoki TAC

Powłoka CVD TAC

TAC powlekany Chuck

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres