Podser powłoki TAC

VEEK SEMICONDUCTOR TAC POWATED WASKTORA ITAC powlekanepierścieńPracuj razem w reaktorze wzrostu węgla krzemowego krzemowego:

● Odporność na wysoką temperaturę:Powłoka TACpodatnik ma doskonałą oporność w wysokiej temperaturze, zdolną do wytrzymania ekstremalnych temperatur do 1500 ° C wReaktor LPE. Zapewnia to, że sprzęt i komponenty nie odkształcają się ani nie zostaną uszkodzone podczas długoterminowej pracy.

● Stabilność chemiczna: Podatnik powłoki TAC działa wyjątkowo dobrze w żonwialnym środowisku wzrostu węglików krzemionowych, skutecznie chroniąc składniki reaktora przed zawrotnym atakiem chemicznym, tym samym przedłużając ich żywotność.

● Stabilność termiczna: Podatnik powłoki TAC ma dobrą stabilność termiczną, utrzymując morfologię powierzchniową i chropowatość, aby zapewnić jednolitość pola temperaturowego w reaktorze, co jest korzystne dla wysokiej jakości wzrostu warstw epitaksyjnych węgla krzemu.

● Antykaminacja: Wydajność powierzchniowa gładka TAC i doskonała TPD (desorpcja programowa w temperaturze) może zminimalizować akumulację i adsorpcję cząstek i zanieczyszczeń wewnątrz reaktora, zapobiegając zanieczyszczeniu warstw epitaxialnych.

Podsumowując, powlekane TAC wrażliwe i pierścień odgrywają krytyczną rolę ochronną w reaktorze wzrostu węgla krzemowego, zapewniając długoterminowe stabilne działanie sprzętu oraz wysokiej jakości wzrost warstw epitaksjalnych.