Susceptor pokryty CVD węglikiem tantalu (TaC).

Kluczowe funkcje

Aplikacje

Typowe zastosowania obejmują:

• Wzrost epitaksjalny SiC

• Epitaksja GaN MOCVD

• Wzrost epitaksjalny AlN

• Produkcja półprzewodników trzeciej generacji

• Elektronika dużej mocy

• Urządzenia RF

• Produkcja MicroLED

• Systemy badawcze i pilotażowe

Kompatybilny sprzęt

Zgodne platformy obejmują:

• Aixtron

• LPE

• Veeko

• AMEC

• NuFlare

• Niestandardowe reaktory CVD i MOCVD

Dostępne również:

• Nośniki wafli

• Susceptory planetarne

• Susceptory beczkowe

• Dyski obrotowe

• Części półksiężyca

• Płyty osłonowe

• Zespoły grafitowe

• Niestandardowe komponenty pola cieplnego

Dane techniczne

Często zadawane pytania

1. Co to jest susceptor pokryty CVD TaC?

Komponent grafitowy o wysokiej czystości chroniony gęstą powłoką CVD TaC, stosowany jako nośnik płytki podczas wzrostu epitaksjalnego.

2. Dlaczego warto używać TaC Coazamiast powłoki SiC?

TaC zapewnia wyższą odporność na temperaturę, doskonałą stabilność chemiczną i dłuższą żywotność.

3.Które procesy półprzewodnikowe wykorzystują TaC-csusceptory owsiane?

Epitaksja SiC, GaN MOCVD, epitaksja AlN i inne procesy wzrostu kryształów w wysokiej temperaturze.

4. Czy firma VETEK może wyprodukować susceptory dostosowane do indywidualnych potrzeb?

Tak. Dostarczamy projekty dostosowane do indywidualnych potrzeb w oparciu o rysunki klienta i wymagania procesowe.

5. Które marki reaktorów są obsługiwane?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare i inne popularne systemy.