Produkty
TAC powlekany Chuck
  • TAC powlekany ChuckTAC powlekany Chuck

TAC powlekany Chuck

Dzięki odporności na wysoką temperaturę, bezwładności chemicznej i doskonałej wydajności, powlekane szyksy Vetek Semiconductor są zaprojektowane do pieców półprzewodników. Uważamy, że nasze produkty mogą przynieść zaawansowane technologie i wysokiej jakości rozwiązania produktów.

VETEK Semiconductor jest profesjonalnym liderem China powlekanym China TAC, TAC powlekanym TAC Rube, TAC powlekany TAC, producenta tacki grafitowej pokrytych TAC o wysokiej jakości i rozsądnej cenie. Witamy, aby skontaktować się z nami.

Chucks powlekany TAC Vetek Semiconductor jest integralną częścią wysokowydajnych komponentów w produkcji półprzewodnikowej. Zależy od następujących kluczowych cech:


Wysoka integralność próżni: Powlekany TAC Chuck utrzymuje wysoki poziom integralności próżniowej w całym cyklu przetwarzania, skutecznie zmniejszając Outgassing i Zanieczyszczenie, zapewniając czystość i jakość materiałów półprzewodników.

Wysoka temperatura i odporność chemiczna: Powlekane TAC są wyjątkowo termicznie i chemicznie odporne, zdolne do pracy w temperaturach do 2200 ° C i odporności na gazy korozyjne, takie jak wodór, amoniak i para krzemowa.

Wydłużona żywotność sprzętu: Ze względu na doskonałą odporność na zużycie i wstrząs termiczny, powlekany TAC Chuck może znacznie wydłużyć żywotność sprzętu i zmniejszyć potrzebę konserwacji.

Poprawa wydajności produkcji: Poprzez zmniejszenie zanieczyszczenia i poprawa czystości materiału, Chuck pokryty TAC pomaga poprawić wydajność produkcji i jakość produktu oraz obniżyć koszty produkcji.


Ponadto Chuck z powłoką TAC wykazuje doskonałą wszechstronność i jest w stanie pomieścić szeroki zakres rozmiarów podłoża półprzewodnikowego i geometrii. Jego konfigurowalna konstrukcja umożliwia bezproblemowe zintegrowanie Chucks z TAC z istniejącymi systemami pieców półprzewodnikowych, znacznie skracając przestoje i maksymalizując wydajność. Ta elastyczność nie tylko poprawia kompatybilność sprzętu, ale także zapewnia ciągłość i wydajność procesu produkcyjnego, zapewniając producentom półprzewodników niezawodne i wydajne rozwiązania.

Zalety wydajności i zdolności adaptacyjnych VETEK Semiconductor's Coating Chucks czynią je niezbędnym i krytycznym elementem w produkcji półprzewodnikowej.

Parametr produktu powlekanego TAC Chucka:

Fizyczne właściwości powłoki TAC
Gęstość powłoki TAC
14.3 (g/cm³)
Specyficzna emisyjność
0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej 6.3*10-6/K
TAC Twardość (HK)
2000 HK
Opór
1 × 10-5Ohm*cm
Stabilność termiczna
<2500 ℃
Zmiany wielkości grafitu
-10 ~ -20um
Grubość powłoki
≥20um typowa wartość (35um ± 10um)


Sklepy produkcyjne:

VeTek Semiconductor Production Shop


Przegląd sieci przemysłu Epitaksy Chip Chip:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Gorące Tagi: TAC powlekany Chuck
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Używamy plików cookie, aby zapewnić lepszą jakość przeglądania, analizować ruch w witrynie i personalizować zawartość. Korzystając z tej witryny, wyrażasz zgodę na używanie przez nas plików cookie.Polityka prywatności