Produkty

Tygle kwarcowe klasy półprzewodnikowej Veteksemicon to kluczowe materiały eksploatacyjne w procesie wzrostu monokryształów Czochralskiego. Naszym głównym celem jest wyjątkowa czystość i doskonała stabilność termiczna. Jesteśmy zobowiązani do dostarczania klientom wysokiej jakości produktów, które charakteryzują się stabilną wydajnością i doskonałą odpornością na krystalizację w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokim ciśnieniu. Zapewnia to jakość prętów kryształowych pochodzących ze źródła, pomagając w produkcji półprzewodnikowych płytek krzemowych osiągnąć wyższą wydajność i lepszą opłacalność.

Pierścień ostrości Veteksemicon został zaprojektowany specjalnie dla wymagających urządzeń do trawienia półprzewodników, szczególnie do zastosowań związanych z trawieniem SiC. Zamontowany wokół uchwytu elektrostatycznego (ESC), w pobliżu płytki, jego podstawową funkcją jest optymalizacja rozkładu pola elektromagnetycznego w komorze reakcyjnej, zapewniając równomierne i skupione działanie plazmy na całej powierzchni płytki. Wysokowydajny pierścień ostrości znacznie poprawia równomierność szybkości trawienia i redukuje efekty krawędziowe, bezpośrednio zwiększając wydajność produktu i wydajność produkcji.

Płyta nośna z węglika krzemu Veteksemicon do trawienia LED, zaprojektowana specjalnie do produkcji chipów LED, jest głównym materiałem eksploatacyjnym w procesie trawienia. Wykonany z precyzyjnie spiekanego węglika krzemu o wysokiej czystości, zapewnia wyjątkową odporność chemiczną i stabilność wymiarową w wysokiej temperaturze, skutecznie przeciwstawiając się korozji powodowanej przez mocne kwasy, zasady i plazmę. Jego niskie właściwości zanieczyszczenia zapewniają wysoką wydajność płytek epitaksjalnych LED, a jego trwałość, znacznie przewyższająca trwałość tradycyjnych materiałów, pomaga klientom obniżyć całkowite koszty operacyjne, co czyni go niezawodnym wyborem w celu poprawy wydajności i spójności procesu trawienia.

Łódka grafitowa Veteksemicon do PECVD jest precyzyjnie wykonana z grafitu o wysokiej czystości i zaprojektowana specjalnie do procesów chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganej plazmą. Wykorzystując naszą głęboką wiedzę na temat półprzewodnikowych materiałów pola cieplnego i możliwości precyzyjnej obróbki, oferujemy łodzie grafitowe o wyjątkowej stabilności termicznej, doskonałej przewodności i długiej żywotności. Łódki te zaprojektowano tak, aby zapewnić bardzo równomierne osadzanie cienkiej warstwy na każdej płytce w wymagającym środowisku procesowym PECVD, poprawiając wydajność i produktywność procesu.

Pierścień grafitowy powlekany CVD TaC firmy Veteksemicon został zaprojektowany tak, aby spełniać ekstremalne wymagania przetwarzania płytek półprzewodnikowych. Wykorzystując technologię chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), gęsta i jednolita powłoka z węglika tantalu (TaC) jest nakładana na podłoża grafitowe o wysokiej czystości, uzyskując wyjątkową twardość, odporność na zużycie i obojętność chemiczną. W produkcji półprzewodników pierścień grafitowy pokryty CVD TaC jest szeroko stosowany w komorach MOCVD, trawienia, dyfuzji i epitaksjalnym, służąc jako kluczowy element konstrukcyjny lub uszczelniający nośniki płytek, susceptory i zespoły ekranujące. Czekamy na dalsze konsultacje.

Porowaty pierścień grafitowy pokryty TaC, produkowany przez firmę VETEK, wykorzystuje lekkie porowate podłoże grafitowe i jest pokryty powłoką z węglika tantalu o wysokiej czystości, charakteryzującą się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, gazy korozyjne i erozję plazmową