Produkty

Powłoka z węglika krzemu

Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.


Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.


W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.


Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.


Części reaktora, które możemy wykonać:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Powłoka z węglika krzemu ma kilka unikalnych zalet:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parametr powłoki z węglika krzemu VeTek Semiconductor

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC
Nieruchomość Typowa wartość
Struktura kryształu Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111).
Gęstość powłoki SiC 3,21 g/cm3
Powłoka SiC Twardość Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g)
ROZMIAR ZIARNA 2 ~ 10 µm
Czystość chemiczna 99,99995%
Pojemność cieplna 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacji 2700 ℃
Wytrzymałość na zginanie 415 MPa RT 4-punktowy
Moduł Younga Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃
Przewodność cieplna 300W·m-1·K-1
Rozszerzalność cieplna (CTE) 4,5×10-6K-1

STRUKTURA KRYSTALICZNA FILMU CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
MOCVD Wafla epitaksjalna

MOCVD Wafla epitaksjalna

VETEK Semiconductor od dawna zaangażuje się w półprzewodnikowy rozwój epitaksjalny i ma bogate doświadczenie i umiejętności procesowe w produktach podatnych na waflach MOCVD. Dzisiaj Vetek Semiconductor stał się wiodącym chińskim producentem i dostawcą podatności na epitaksjalne podatnik MOCVD, a podatniki, które zapewnia, podatne podatniki, które zapewniały, odgrywały ważną rolę w produkcji wafli epitaksjalnych Gan i innych produktów.
Pinttyczny pierścień powlekany piec

Pinttyczny pierścień powlekany piec

Piec pionowy Pierścień pokryty SiC jest elementem zaprojektowanym specjalnie do pieca pionowego. VeTek Semiconductor może zrobić dla Ciebie wszystko, co najlepsze, zarówno pod względem materiałów, jak i procesów produkcyjnych. Jako wiodący producent i dostawca pierścieni powlekanych SiC do pieców pionowych w Chinach, firma VeTek Semiconductor ma pewność, że możemy zapewnić Państwu najlepsze produkty i usługi.
Gan Epitaksial Undertaker

Gan Epitaksial Undertaker

Jako wiodący dostawca i producent podatników na epitaksjalny GAN w Chinach, EETEK Semiconductor Gan Epitaksyjne podatność jest podatnikiem o wysokim precyzji zaprojektowanym do procesu wzrostu epitaxialnego GAN, stosowanego do obsługi sprzętu epitaksjalnego, takiego jak CVD i MOCVD. W produkcji urządzeń GAN (takich jak urządzenia elektroniczne energetyczne, urządzenia RF, diody LED itp.) Gan Epitaksyjna podatnik przenosi podłoże i osiąga wysokiej jakości osadzanie cienkich warstw GAN w środowisku wysokiej temperatury. Witaj swoje dalsze zapytanie.
SIC powlekany przewoźnik opłatek

SIC powlekany przewoźnik opłatek

Jako wiodący dostawca opłat i producent opaski SIC w Chinach, nosiciel opłat powleczony SIC Vetek SIC jest wykonany z wysokiej jakości grafitu i powłoki SIC CVD, która ma super stabilność i może działać przez długi czas w większości reaktorów epitaxialnych. VETEK Semiconductor ma wiodące w branży możliwości przetwarzania i może spełniać różne dostosowane wymagania klientów dla przewoźników opłat powlekanych SIC. Vetek Semiconductor oczekuje na nawiązanie długoterminowych relacji współpracujących z tobą i wzroście razem.
Grzałka MOCVD z powłoką SiC

Grzałka MOCVD z powłoką SiC

Vetek Semiconductor wytwarza grzejnik MOCVD powlekania SIC, który jest kluczowym składnikiem procesu MOCVD. Na podstawie podłoża grafitowego o wysokiej czystości powierzchnia jest pokryta powłoką SIC o dużej czystości, aby zapewnić doskonałą stabilność w wysokiej temperaturze i odporność na korozję. Dzięki wysokiej jakości i wysoce dostosowanym usługom produktu Vetek Semiconductor SIC Coating Graphit MOCVD grzejnik MOCVD jest idealnym wyborem, aby zapewnić stabilność procesu MOCVD i jakość osadzania cienkiego filmu. Vetek Semiconductor nie może się doczekać, aby zostać twoim partnerem.
Silikonowa wędziona epi węgla

Silikonowa wędziona epi węgla

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą powłok SiC w Chinach. Susceptor Epi pokryty węglikiem krzemu firmy VeTek Semiconductor charakteryzuje się najwyższym w branży poziomem jakości, nadaje się do wielu typów epitaksjalnych pieców wzrostowych i zapewnia wysoce spersonalizowane usługi produktowe. VeTek Semiconductor nie może się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika krzemu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept