Powłoka z węglika krzemu

Grafitowa głowica prysznicowa powlekana CVD SIC z VeteSemicon jest komponentem o wysokiej wydajności specjalnie zaprojektowanej do procesów półprzewodników chemicznych odkładania pary (CVD). Wyprodukowana z grafitu o wysokiej czystości i chroniona z chemicznym osadzaniem się pary (CVD) krzemową powłoką (SIC), ta głowica prysznicowa zapewnia wyjątkową trwałość, stabilność termiczną i odporność na żrące gazy procesowe. Czekamy na dalsze konsultacje.

Uchwyt waflowy krzemowej z węglikiem według VeteSemicon jest zaprojektowany pod kątem precyzji i wydajności w zaawansowanych procesach półprzewodnikowych, takich jak MOCVD, LPCVD i wyżarzanie wysokiej temperatury. Dzięki jednolitej powładzie CVD SIC ten uchwyt wafla zapewnia wyjątkową przewodność cieplną, bezwładność chemiczną i wytrzymałość mechaniczną-niezbędną do bez zanieczyszczenia, o wysokiej wydajności przetwarzania wafla.

Pierścienie SIC Vetesemicon o wysokiej czystości, specjalnie zaprojektowane do sprzętu do trawienia półprzewodników, mają wyjątkowy odporność na korozję i stabilność termiczną, znacznie zwiększając wydajność wafla

Jako wiodący chiński producent i dostawca produktów powlekania z węglika krzemu, nośnik opłat powleczony przez Veteksemicon do trawienia odgrywa niezastąpioną rolę w procesie trawienia z doskonałą stabilnością wysokiej temperatury, wyjątkową opornością na korozję i wysoką przewodnością cieplną.

WAKATOR CVD SIC Vetesemicon w podatności CVD jest najnowocześniejszym rozwiązaniem dla półprzewodnikowych procesów epitaksjalnych, oferującego ultra-wysoką czystość (≤100ppb, certyfikowane ICP-E10) i wyjątkowa stabilność termiczna/chemiczna dla opornego na zanieczyszczenia GAN, SIC i na bazie siliconu. Zaprojektowany z precyzyjną technologią CVD obsługuje płytki 6 ”/8”/12 ”, zapewnia minimalne naprężenie termiczne i wytrzymuje ekstremalne temperatury do 1600 ° C.

Nasza powlekana SIC podatność planetarna jest podstawowym elementem w procesie wysokiej temperatury produkcji półprzewodników. Jego konstrukcja łączy podłoże grafitowe z powłoką węgla krzemu, aby osiągnąć kompleksową optymalizację wydajności zarządzania termicznego, stabilności chemicznej i wytrzymałości mechanicznej.