Pierścień krawędzi sic

W dziedzinie produkcji półprzewodnikowej pierścienie SIC Edge, jako podstawowe elementy sprzętu do przetwarzania płytek, rewolucjonizują krajobraz przemysłowy za pomocą swoich nieruchomości materiałowych. Wartość tego precyzyjnego składnika wykonanego z pojedynczych kryształów z węglików krzemu leży nie tylko w jego zaawansowanej technologii, ale także znaczącej poprawie wydajności i optymalizacji kosztów operacyjnych, które może wnieść producentom ChIP.

Charakterystyka strukturalna pierścienia krawędzi SIC

Pierścienie krawędzi węglików krzemu są kluczowymi elementami eksploatacyjnymi w sprzęcie do trawienia półprzewodników i są wykonane z materiałów węglika krzemionowego o dużej czystości przygotowanym metodą chemicznego osadzania pary (CVD). Średnica jego pierścieniowej struktury wynosi zwykle 200–450 mm, a grubość jest kontrolowana w odległości 5-15 mm, zawierającą następujące cechy:

1. Tolerancja ekstremalna: może wytrzymać środowisko w wysokiej temperaturze 1500 ℃

2. Stabilność w osoczu: stała dielektryczna 9,7, napięcie rozpadu 3MV/cm

3. Dokładność geometryczna: Błąd zaokrąglania ≤0,05 mm, chropowatość powierzchni Ra <0,2 μm

Przełom w procesie produkcyjnym

Nowoczesny proces przygotowania przyjmuje trzyetapową metodę:

1. Formowanie macierzy: Formowanie prasowe izostatyczne zapewnia jednolitą gęstość

2. Spiekanie w wysokiej temperaturze: leczenie zagęszczania w obojętnej atmosferze w 2100 ℃

3. Modyfikacja powierzchni: Nanoskalowe warstwy ochronne powstają poprzez reaktywne trawienie jonów (RIE). Najnowsze badania pokazują, że żywotność serwisowa krawędzi węglików krzemowych domieszkowanych 3% boru wzrasta o 40%, a szybkość zanieczyszczenia opłat jest zmniejszona do poziomu 0,01 ppm

Scenariusze aplikacji

Pokazuje niezastąpienie procesów poniżej 5 nm:

2. Jednopolność trawienia: Może utrzymać odchylenie szybkości trawienia ± 1,5% na krawędzi opłatek

3. Kontrola zanieczyszczenia: Zmniejsza zanieczyszczenie metalu o 92% w porównaniu z tradycyjnymi materiałami kwarcowymi

4. Cykl konserwacji: może działać stale przez 1500 godzin w plazmie CF4/O2

Vetesemicon osiągnął przełom w krajowej produkcji SIC Edge Rings, co może zaoszczędzić wiele wydatków na koszty. Witamy, aby skontaktować się z nami w dowolnym momencie!