SIC powlekana planetarna

Powlekany SIC Planetarne podatnik to operator planetarny powlekanywęglik krzemowy (sic), który jest stosowany głównie w procesach odkładania materiału półprzewodnikowego, takich jak chemiczne osadzanie pary metali (MOCVD), epitaksja wiązki molekularnej (MBE) itp. Jego główną funkcją jest przenoszenie i obracanie wafli, aby zapewnić jednolitość materiału i konsystencję pola termicznego podczas procesu osadzania. Jego główną funkcją jest przenoszenie i obracanie płytek w celu zapewnienia jednorodności materiału i konsystencji pola termicznego podczas osadzania, a powłoka SIC zapewnia nośnikowi doskonałą oporność w wysokiej temperaturze, odporność na korozję i przewodność cieplną dla wysokiej precyzyjnej półprzewodnikowejopłatekprzetwarzanie.

Podstawowe scenariusze zastosowania dla SIC powlekanej wrażarki planetarnej

MOCVD Proces wzrostu epitaxialnego

W procesie MOCVD powlekana SIC wrażliwość planetarna jest wykorzystywana głównie do przenoszenia waflów krzemu (SI), węgliku krzemu (SIC), azotku galu (GAN), arsenku galu (GAAS) i innych materiałów.

● Wymagania funkcjonalne: Precyzyjne pozycjonowanie i zsynchronizowana rotacja waflów w celu zapewnienia jednolitego rozkładu materiałów depozytowych na powierzchni opłat i zwiększenie jednolitości grubości i składu warstwy.

● Korzyść: Powłoki SIC są wysoce odporne na korozję i mogą wytrzymać erozję wysoce reaktywnych prekursorów organicznych metalowych, takich jak trimetylgalium (TMGA) i trimetylindium (TMIN), przedłużając ich żywotność.

Produkcja urządzeń zasilających z węgliki silikonowej (SIC)

SIC powlekane podatnik planetarne jest szeroko stosowane w epitaksjalnym wzroście urządzeń mocy SIC, takich jak MOSFET, IGBT, SBD i inne urządzenia.

● Wymagania funkcjonalne: Zapewnij stabilną platformę wyrównania termicznego w środowiskach o wysokiej temperaturze, aby zapewnić jakość krystalizacji warstwy epitaksjalnej i kontrolę defektów.

● Korzyść: Powłoki SIC są odporne na wysoką temperaturę (> 1600 ° C) i mają współczynnik rozszerzalności cieplnej (4,0 × 10^-6 k^-1) bliski wafli węgla krzemu, co skutecznie zmniejsza stres termiczny i poprawia jakość i stabilność warstwy epitaxialnej.

Głębokie ultrafiolet (DUV) i Ultraviolet LED Epitaksial Manufacturing

Powlekana SIC podatność planetarna jest odpowiednia do epitaksjalnego wzrostu materiałów, takich jak azotek galu (GAN) i aluminiowy azotek galu (algan) i jest szeroko stosowany w produkcji LED i mikro diod LED.

● Wymagania funkcjonalne: Utrzymaj precyzyjną kontrolę temperatury i jednolity rozkład przepływu powietrza, aby zapewnić dokładność długości fali i wydajność urządzenia.

● Korzyść: Wysoka odporność na przewodność cieplną i utlenianie pozwalają na doskonałą stabilność w wysokich temperaturach w długich okresach pracy, pomagając poprawić efektywność świetlistą i spójność układów LED.

Wybierz Vekemicon

Vetesemicon SIC powlekana w podrażnieniu planetarnym wykazał niezastąpione zalety w wysokiej temperaturze, korozyjnym środowisku półprzewodników poprzez unikalne właściwości materiałowe i projekt mechaniczny. A naszymi głównymi produktami podatnikowymi planetarnymi są sesja planetarna powlekana SIC,ALD Planetary Wathceptor, TAC Coating Planetary Sensceptori tak dalej. Jednocześnie VeteSemicon jest zaangażowany w dostarczanie niestandardowych produktów i usług technicznych dla przemysłu półprzewodnikowego. Z niecierpliwością czekamy na bycie twoim długoterminowym partnerem w Chinach.