Powłoka z węglika krzemu

WAKATOR CVD SIC Vetesemicon w podatności CVD jest najnowocześniejszym rozwiązaniem dla półprzewodnikowych procesów epitaksjalnych, oferującego ultra-wysoką czystość (≤100ppb, certyfikowane ICP-E10) i wyjątkowa stabilność termiczna/chemiczna dla opornego na zanieczyszczenia GAN, SIC i na bazie siliconu. Zaprojektowany z precyzyjną technologią CVD obsługuje płytki 6 ”/8”/12 ”, zapewnia minimalne naprężenie termiczne i wytrzymuje ekstremalne temperatury do 1600 ° C.

Nasza powlekana SIC podatność planetarna jest podstawowym elementem w procesie wysokiej temperatury produkcji półprzewodników. Jego konstrukcja łączy podłoże grafitowe z powłoką węgla krzemu, aby osiągnąć kompleksową optymalizację wydajności zarządzania termicznego, stabilności chemicznej i wytrzymałości mechanicznej.

Nasz pokryty SiC pierścień uszczelniający epitaxy jest wysokowydajnym składnikiem uszczelniającym opartym na kompozytach grafitowych lub węglowych węglowych pokrytych węglem krzemowym o wysokiej czystości (SIC) przez chemiczne osadzanie pary (CVD), który łączy stabilność termiczną grafitu z ekstremalną odpornością na środowisko SIC, i jest przeznaczona do półprzewodnikowego wyposażenia (E.G. Wzmacnia MOCV).

Singer-sing-grafit w podszewce Vetesemicon EPI jest zaprojektowany do wysokowydajnego węgliku krzemu (SIC), azotku galu (GAN) i innego procesu epitaksyjnego półprzewodnika trzeciej generacji i jest podstawowym elementem wysokiej precyzyjnej arkusza epitaksyjnego w masowej produkcji.

Ważnym elementem zastosowanym w procesie wytrawiania płytki jest pierścień ogniskowania trawienia w osoczu, którego funkcją jest utrzymanie opłatek do utrzymania gęstości w osoczu i zapobieganie zanieczyszczeniu boków waflowych.

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą SIC powlekanych E-Chucks w Chinach. SIC powlekany E-chuck jest specjalnie zaprojektowany do procesu trawienia waflowego GAN, z doskonałą wydajnością i długą żywotnością usług, aby zapewnić wszechstronne wsparcie dla produkcji półprzewodników. Nasza silna zdolność do przetwarzania pozwala nam zapewnić Ci sesję ceramiczną, którą chcesz. Nie mogę się doczekać Twojego zapytania.