Grafitowa głowica prysznicowa powlekana CVD SIC

Vetesemicon CVD SIC powlekana grafitowa głowica prysznicowa, jej precyzyjna powierzchnia zapewnia jednolity rozkład gazu, co ma kluczowe znaczenie dla osiągnięcia spójnego osadzania się folii na waflach. .Powłoka sicNie tylko zwiększa odporność na zużycie i oporność na utlenianie, ale także przedłuża żywotność usług w trudnych warunkach procesowych.

Powszechnie stosowany w wytwarzaniu opłat półprzewodników, epitaksji i osadzeniu cienkiego filmu, grafitowa głowica prysznicowa powlekana CVD SIC jest idealnym wyborem dla producentów szukających niezawodnych, wysokiej i długotrwałej komponentów procesowych, które spełniają wymagania nowej generacji półprzewodnikowej produkcji półprzewodnikowej.

Vetesemi CVD Krzemowa kararz prysznicowy jest wytwarzany z chemicznej pary osadzonej przez silikonę o wysokiej czystości i jest zoptymalizowany pod kątem procesów CVD i MOCVD w półprzewodnikach, LED i zaawansowanych przemysłach elektronicznych. Jego wyjątkowa stabilność termiczna, odporność na korozję i jednolity rozkład gazu zapewniają długoterminowe stabilne działanie w środowiskach o wysokiej temperaturze, wysoce korozyjnej, znacznie poprawiając powtarzalność i wydajność procesu.

VETEKESEMICON CVD SIC powlekany grafitowy prysznic główny zalety

● Bardzo wysoka czystość i gęstość

Grafitowa głowica prysznicowa powlekana CVD jest wytwarzana przy użyciu procesu CVD o dużej czystości, zapewniając czystość materialną ≥99,9995%, eliminując wszelkie zanieczyszczenia metaliczne. Jego nieporowata struktura skutecznie zapobiega przenikaniu gazu i zrzucaniu cząstek, co czyni ją idealną do epitaksji półprzewodnikowej i zaawansowanych procesów opakowań wymagających wyjątkowo wysokiej czystości. W porównaniu z tradycyjnymi komponentami SIC lub grafitowymi, nasz produkt utrzymuje stabilną wydajność nawet po długotrwałej pracy w wysokiej temperaturze, zmniejszając częstotliwość utrzymania i koszty produkcji.

● Doskonała stabilność termiczna

W procesach CVD i MOCVD o wysokiej temperaturze konwencjonalne materiały są podatne na odkształcenie lub pękanie z powodu naprężenia termicznego. CVD SIC Shower Head wytrzymuje temperatury do 1600 ° C i ma wyjątkowo niski współczynnik ekspansji cieplnej, zapewniając stabilność strukturalną podczas szybkiego wzrostu i zmniejszenia temperatury. Jego jednolita przewodność cieplna dodatkowo optymalizuje rozkład temperatury w komorze reakcyjnej, minimalizując różnice szybkości osadzania między krawędzią płytki i środkiem oraz poprawiając jednolitość folii.

● Korozja przeciwplasowa

Podczas procesów trawienia lub osadzania się, wysoce korozyjne gazy (takie jak CF₄, Cl₂i HBr) szybko erodują konwencjonalne składniki kwarcowe lub grafitowe. Materiał CVD SIC wykazuje wyjątkową odporność na korozję w środowiskach plazmowych, z długością 3-5 razy większej niż w przypadku materiałów konwencjonalnych. Rzeczywiste testy klientów wykazały, że nawet po 2000 godzinach ciągłego działania zmienność wielkości porów pozostaje w granicach ± ​​1%, zapewniając długoterminowy stabilny rozkład przepływu gazu.

● Długie życie i niskie koszty konserwacji

Podczas gdy tradycyjne komponenty grafitowe wymagają częstej wymiany, głowica prysznicowa CVD z powlekaniem SIC utrzymuje stabilną wydajność nawet w trudnych środowiskach. Zmniejsza to ogólne koszty o ponad 40%. Ponadto wysoka wytrzymałość mechaniczna materiału zapobiega przypadkowym uszkodzeniu podczas obsługi lub instalacji.

● Poparcie weryfikacji łańcucha ekologicznego

Vetesemicon CVD Silicon Carbide Showerhead 'Ekologiczna weryfikacja łańcucha ekologicznego obejmuje surowce do produkcji, przekazała międzynarodową standardową certyfikat i ma szereg opatentowanych technologii, aby zapewnić jego niezawodność i zrównoważony rozwój w półprzewodnikach i nowych dziedzinach energetycznych.

Parametry techniczne

Projekt	Parametr
Tworzywo	CVD SIC (dostępne opcje powlekania)
Zakres średnicy	100 mm-450 mm (dostosowywanie)
Tolerancja grubości	± 0,05 mm
Chropowatość powierzchni	≤0,2 μm
Odpowiedni proces	CVD/MOCVD/PECVD/Etching/Epitaxy

Główne pola aplikacji

Kierunek aplikacji	Typowy scenariusz
Produkcja półprzewodników	Epitaksja krzemowa, urządzenia GAN/GAAS
Elektronika mocy	SIC Epitaksial Production
PROWADZONY	MOCVD Sapphire Subposion
Sprzęt naukowy	Udoskonalone system osadzania się cienkiego warstwy

Poparcie weryfikacji łańcucha ekologicznego

Vetesemicon CVD Silicon Carbide Showerhead 'Ekologiczna weryfikacja łańcucha ekologicznego obejmuje surowce do produkcji, przekazała międzynarodową standardową certyfikat i ma szereg opatentowanych technologii, aby zapewnić jego niezawodność i zrównoważony rozwój w półprzewodnikach i nowych dziedzinach energetycznych.

Aby uzyskać szczegółowe specyfikacje techniczne, białe dokumenty lub ustalenia dotyczące testowania próbek, proszęSkontaktuj się z naszym zespołem wsparcia technicznegoAby zbadać, w jaki sposób VeteSemicon może zwiększyć wydajność procesu.