Co to jest Carbide Tantalum (TAC)？

Tantalum Carbide (TAC)jest binarnym związkiem tantalu (TA) i węgla (C), z wzorem chemicznym zwykle wyrażanym jako TACₓ (gdzie X wynosi od 0,4 do 1). Jest klasyfikowany jako opornik ceramiczny o doskonałej twardości, stabilności w wysokiej temperaturze i przewodności metali.

1. Struktura węglika Tantalum

1.1 Skład chemiczny i struktura krystaliczna

Karen tantalu jest binarnym związkiem ceramicznym złożonym z tantalu (TA) i węgla (C).

Jego strukturą krystaliczną jest sześcienne (FCC) skoncentrowane na twarzy, co zapewnia doskonałą twardość i stabilność.

1.2 WŁAŚCIWOŚCI

Silne wiązanie kowalencyjne sprawia, że ​​węglik tantalu jest niezwykle twardy i odporny na deformację.

TAC ma wyjątkowo niski współczynnik dyfuzji i pozostaje stabilny nawet w wysokich temperaturach.

Powłoka z węglika tantalu (TAC) na mikroskopijnym przekroju

2. Fizyczne właściwości węgliku tantalu

2.1 Ultra-wysoka temperatura topnienia

Z temperaturą topnienia 3880 ° C, węgiel tantalu ma jedną z najwyższych temperatur topnienia dowolnego znanego materiału, co powoduje doskonałą stabilność w ekstremalnych temperaturach.

2.2 Doskonała twardość

Przy twardości MOHS około 9-10 jest blisko diamentu i dlatego jest szeroko stosowany w powłokach odpornych na zużycie.

2.3 Dobra przewodność elektryczna

W przeciwieństwie do większości materiałów ceramicznych, TAC ma wysoką metalową przewodność elektryczną, co czyni ją cenną dla zastosowań w niektórych urządzeniach elektronicznych.

2.4 Odporność na korozję i utlenianie

TAC jest wyjątkowo odporny na korozję kwasu i utrzymuje swoją integralność strukturalną w trudnych środowiskach przez długi czas.

Jednak TAC może utleniać się do pentoksydu tantalu (Ta₂o₅) w powietrzu powyżej 1500 ° C. 

3. Wspólne gotowe produkty do węglików

3.1 Części powlekane węglika z tantalu

● CVD Tantalum Carbide Co pokryta podatnik: Stosowane w epitaksji półprzewodnikowej i przetwarzaniu wysokiej temperatury.

● Części grafit: Stosowany w piecach o wysokiej temperaturze i komorach przetwarzania wafla. Przykłady obejmują porowaty grafit powlekany z węglika tantalu, który znacznie poprawia wydajność procesu i jakość kryształu poprzez optymalizację przepływu gazu podczas wzrostu kryształu SIC, zmniejszenie naprężenia termicznego, poprawę jednolitości cieplnej, zwiększając oporność na korozję i hamując dyfuzję zanieczyszczenia.

● Tantalu Cain Caked Plate: Płytka obrotowa powlekana TAC Vetesemicon ma skład o wysokiej czystości z zawartością zanieczyszczeń mniejszą niż 5ppm oraz gęstą i jednolitą strukturą, która jest szeroko stosowana w systemie LPE EPI, system AIXtron, system NUFLARE, system CVD, system VEECO, system TSI. Systemy, systemy TSI.

● Grzeźnik pokryty TAC: Połączenie wyjątkowo wysokiej temperatury topnienia powlekania TAC (~ 3880 ° C) pozwala jej działać w bardzo wysokich temperaturach, szczególnie w przypadku warstw epitaksyjnych azotków galu (GAN) w procesie organicznego osadzania pary organicznej (MOCVD).

● Tygle powlekane z węglikiem tantalu: Krucyny powlekane CVD TAC często odgrywają kluczową rolę we wzroście pojedynczych kryształów SIC przez PVT.

3.2 Narzędzia tnące i komponenty odporne na zużycie

● Narzędzia do cięcia węgla z węglikiem Tantalu: Popraw żywotność narzędzi i dokładność obróbki.

● Dysze lotnicze i tarcze cieplne: Zapewnij ochronę w ekstremalnych środowiskach ciepła i korozyjnych.

3,3 Tantalum Carbide Wysoko wydajności produkty ceramiczne

● Systemy ochrony termicznej statku kosmicznego (TPS): dla statków kosmicznych i pojazdów hipersonicznych.

● Powłoki paliwowe nuklearne: Chroń granulki paliw jądrowych przed korozją.

4. Zastosowania węglików do tantalu w produkcji półprzewodników

4.1 Nosiciele powlekane węglika tantalu (podatnik) do procesów epitaksjalnych

Rola: Powłoki z węglika tantalu stosowane do nośników grafitu poprawiają jednolitość termiczną i stabilność chemiczną w procesach odkładania się pary chemicznej (CVD) i organizowanej metalowo-organizacji chemicznej osadzania pary (MOCVD).

Zaleta: zmniejszone zanieczyszczenie procesu i dłuższy żywotność przewoźnika.

4.2 Składniki wytrawienia i osadzania

Pierścienie transferowe i tarcze waflowe: Powłoka z węglikiem tantalu poprawia trwałość komorytów plazmowych.

Zaleta: wytrzymuje agresywne środowiska trawienia i zmniejsza opady zanieczyszczenia.

4.3 Elementy grzewcze w wysokiej temperaturze

Zastosowanie w SIC CVD Wzrost: Elementy grzewcze powlekane z węglikiem tantalu poprawia stabilność i wydajność procesu wytwarzania wafla węgla krzemu (SIC).

4.4 Powłoki ochronne dla sprzętu do produkcji półprzewodników

Dlaczego potrzebujesz powłoki TAC?  Produkcja półprzewodników obejmuje ekstremalne temperatury i gazy korozyjne, a powłoki węglika tantalu skutecznie poprawia stabilność i żywotność sprzętu.

5. Dlaczego warto wybraćSemicon?

VETESEMICON jest wiodącym producentem i dostawcąPowłoka z węglikiem tantaluMateriały do ​​przemysłu półprzewodników w Chinach. Nasze główne produkty obejmują części powlekane węglika CVD, spiekane części powlekane TAC do procesów wzrostu kryształów SIC lub półprzewodnikowych procesów epitaksji. Veteksemicon jest zaangażowany w innowator i lider w branży powlekania węgla Tantalum poprzez ciągłe badania i rozwój i iterację technologii.