Paddles sic

Ⅰ. Produkt Przegląd użytkowania

Płynce wspornikowe SIC są stosowane głównie w sprzęcie do produkcji półprzewodników jako komponenty wsparcia i transmisji opłatek. Jego podstawową funkcją jest stabilne i dokładne przetwarzanie płytek krzemowych w ekstremalnych warunkach procesowych, takich jak wysoka temperatura i wysoka korozja, zapewniając płynny i wydajny proces produkcji.

Ⅱ

SIC jest zaawansowanym materiałem ceramicznym, którego doskonałe właściwości fizyczne nadają mu niezrównaną przewagę w polu półprzewodnikowym. Poniżej przedstawiono kluczowe parametry fizyczne związane z łopatki SIC wspornik:

● Wysoka czystość: Zastosowanie materiału SIC o dużej czystości może zminimalizować zanieczyszczenie procesów i poprawić wydajność produktu.

● Doskonała opór o wysokiej temperaturze: SIC ma temperaturę topnienia do 2830 ° C, co umożliwia utrzymanie integralności strukturalnej w ekstremalnych środowiskach temperaturowych, takich jak trawienie w osoczu i wyżarzanie w wysokiej temperaturze, a długoterminowa temperatura pracy może osiągnąć ponad 1000 ° C.

● Wysoka twardość i odporność na zużycie: Twardość MOHS wynosi 9-9,5, druga tylko do diamentu, co daje łopatki wspornikowe SIC doskonała odporność na zużycie i utrzymując stabilność wymiarową podczas transmisji opłatek o wysokiej częstotliwości.

● Doskonała przewodność cieplna: Przewodnictwo termiczne ceramiki SIC wynosi nawet 120-250 W/(M · K) (typowa wartość), która może szybko rozproszyć ciepło i uniknąć lokalnego przegrzania, które mogą uszkodzić opłatę.

● Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej (około 4,0 × 10⁻⁶ /k) zapewnia stabilność wymiarową, gdy zmienia się temperatura, unika stresu spowodowanego rozszerzeniem cieplnym i skurczem, a tym samym zmniejsza ryzyko uszkodzenia opłat.

Ⅲ. Scenariusze aplikacji łopatki wspornikowej

Unikalne właściwości łopatek SIC wspornik umożliwiają im odgrywanie kluczowej roli w wielu linkach produkcji półprzewodników:

● Sprzęt do trawienia w osoczu: W komorze trawienia w osoczu łopatki wspornikowe SIC służą jako podpalki, które mogą wytrzymać bombardowanie w osoczu i erozję gazu korozyjnego przy jednoczesnym zachowaniu stabilności wymiarowej, zapewniając dokładność trawienia i rozszerzając żywotność sprzętu.

● Sprzęt do osadzania się cienki (CVD/PVD): W procesie chemicznego odkładania pary (CVD) i fizycznego osadzania pary (PVD) łopatki wspornikowe SIC są używane do obsługi płytek. Ich doskonała odporność w wysokiej temperaturze i przewodność cieplna pomagają równomiernie podgrzewać płytki i zapobiegać zanieczyszczeniu cząstek wygenerowanymi podczas procesu osadzania się cienkiego warstwy.

● System transferu opłatek: W zautomatyzowanym systemie transferu płytek łopatki SIC wspornikowe mogą wytrzymać ruch mechaniczny o wysokiej częstotliwości ze względu na ich wysoką twardość i odporność na zużycie, zapewniając dokładne i szybkie przenoszenie płytek między różnymi komorami procesowymi, zmniejszając ryzyko uszkodzenia i zanieczyszczenia wafla.

● Proces wyżarzania w wysokiej temperaturze: W piecu wyżarzającym w wysokiej temperaturze łopatki wspornikowe SIC mogą wytrzymać środowiska ultra-wysokiej temperatury, zapewnić stabilne wsparcie dla płytek oraz zapewnić jednolitość i skuteczność procesu wyżarzania.

Vetesemicon doskonale zdaje sobie sprawę z rygorystycznych wymagań procesów półprzewodników dla jakości produktu. Dlatego obsługujemy spersonalizowane usługi i możemy zapewnić niestandardowe projektowanie i produkcję wiosłowania wspornikowego SIC zgodnie z konkretnymi wymaganiami dotyczącymi sprzętu i procesu. Będziemy również kontrolować ścisłą kontrolę jakości, aby zapewnić, że każdy produkt przejdzie ścisłe inspekcje jakości, aby zapewnić on najwyższe standardy branżowe.

Co ważniejsze, zespół techniczny VETEK Semiconductor zapewni kompleksowe konsultacje techniczne i rozwiązania produktów. Wybór naszej wiosły wspornikowej oznacza wybór wyższej wydajności produkcji, dłuższą żywotność sprzętu i lepszą wydajność produktu. Czekamy na dalsze konsultacje.