Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu

Półprzewodnikowy grafik z półprzewodnikiem VETEK Porowaty grafit powlekany węglika z krzemem stał się kryształem węgla krzemu (SIC) ze względu na jego super wysoką oporność (temperaturę topnienia około 3880 ° C), doskonałą stabilność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i bezwładność chemiczną w środowiskach o wysokiej temperaturze. Niezbędny materiał w procesie wzrostu. W szczególności jego porowata struktura zapewnia wiele zalet technicznych dlaProces wzrostu kryształów. 

Poniżej znajduje się szczegółowa analizaPorowaty grafit powlekany węglika tantalupodstawowa rola:

● Popraw wydajność przepływu gazu i dokładnie kontroluj parametry procesu

Mikroporowata struktura porowatego grafitu może sprzyjać równomiernemu rozkładowi gazów reakcyjnych (takich jak gazowy węglik i azot), optymalizując w ten sposób atmosferę w strefie reakcji. Ta cecha może skutecznie uniknąć problemów z lokalną akumulacją gazu lub turbulencjami, zapewnić równomierne naprężenia kryształów SiC w całym procesie wzrostu, a stopień defektów jest znacznie zmniejszony. Jednocześnie porowata struktura umożliwia również precyzyjną regulację gradientów ciśnienia gazu, dalszą optymalizację szybkości wzrostu kryształów i poprawę konsystencji produktu.

●  Zmniejsz akumulację naprężeń termicznych i popraw integralność kryształów

Podczas operacji w wysokich temperaturach elastyczne właściwości porowatego węglika tantalu (TaC) znacznie zmniejszają koncentrację naprężeń termicznych powodowanych różnicami temperatur. Zdolność ta jest szczególnie ważna przy hodowli kryształów SiC, zmniejszając ryzyko powstawania pęknięć termicznych, poprawiając w ten sposób integralność struktury kryształu i stabilność przetwarzania.

●  Optymalizuj dystrybucję ciepła i poprawiaj efektywność wykorzystania energii

Powłoka z węglikiem tantalu nie tylko zapewnia porowatą grafit wyższą przewodność cieplną, ale jego porowate cechy mogą również równomiernie rozłożyć ciepło, zapewniając wysoce spójny rozkład temperatury w obszarze reakcji. To jednolite zarządzanie termicznie jest podstawowym warunkiem wytwarzania kryształu SIC o dużej czystości. Może również znacznie poprawić wydajność ogrzewania, zmniejszyć zużycie energii i uczynić proces produkcji bardziej ekonomiczny i wydajny.

●  Zwiększ odporność na korozję i przedłużyć żywotność składników

Gazy i produkty uboczne w środowiskach o wysokiej temperaturze (takie jak wodór lub faza parowa węglika krzemu) mogą powodować poważną korozję materiałów. Powłoka TaC zapewnia doskonałą barierę chemiczną dla porowatego grafitu, znacznie zmniejszając szybkość korozji elementu, wydłużając w ten sposób jego żywotność. Ponadto powłoka zapewnia długoterminową stabilność porowatej struktury, zapewniając, że nie ma to wpływu na właściwości transportu gazu.

●  Skutecznie blokuje dyfuzję zanieczyszczeń i zapewnia czystość kryształów

Niepowlekana macierz grafitowa może uwalniać śladowe ilości zanieczyszczeń, a powłoka TAC działa jako bariera izolacyjna, aby zapobiec rozproszeniu tych zanieczyszczeń do kryształu SIC w środowisku o wysokiej temperaturze. Ten efekt ekranowania ma kluczowe znaczenie dla poprawy czystości kryształów i pomocy w spełnieniu rygorystycznych wymagań branży półprzewodnikowej dotyczące wysokiej jakości materiałów SIC.

Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu firmy VeTek semiconductor znacznie poprawia wydajność procesu i jakość kryształów poprzez optymalizację przepływu gazu, zmniejszenie naprężeń termicznych, poprawę jednorodności termicznej, zwiększenie odporności na korozję i hamowanie dyfuzji zanieczyszczeń podczas procesu wzrostu kryształów SiC. Zastosowanie tego materiału nie tylko zapewnia wysoką precyzję i czystość w produkcji, ale także znacznie obniża koszty eksploatacji, co czyni go ważnym filarem nowoczesnej produkcji półprzewodników.

Co ważniejsze, firma VeTeksemi od dawna angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu produkcyjnego półprzewodników oraz wspiera dostosowane do indywidualnych potrzeb usługi w zakresie produktów z porowatego grafitu powlekanego węglikiem tantalu. Z niecierpliwością czekamy na to, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Fizyczne właściwości powłoki z węglikiem tantalu

Porowate graficzne grafiki Vetek półprzewodnik Tantalum Carbid