Produkty
Porowata płyta ceramiczna SIC
  • Porowata płyta ceramiczna SICPorowata płyta ceramiczna SIC
  • Porowata płyta ceramiczna SICPorowata płyta ceramiczna SIC
  • Porowata płyta ceramiczna SICPorowata płyta ceramiczna SIC

Porowata płyta ceramiczna SIC

Nasze porowate płytki ceramiczne Sic to porowate materiały ceramiczne wykonane z węgliku krzemu jako główny składnik i przetwarzane przez specjalne procesy. Są to niezbędne materiały w produkcji półprzewodnikowej, chemicznej osadzaniu pary (CVD) i innych procesach.

Porowata płytka ceramiczna Sic to porowata struktura ceramiczna wykonana zKrzemowy węglikjako główny komponent i połączony ze specjalnym procesem spiekania. Jego porowatość jest regulowana (zwykle 30%-70%), rozkład wielkości porów jest jednolity, ma doskonałą oporność w wysokiej temperaturze, stabilność chemiczną i doskonałą przepuszczalność gazu i jest szeroko stosowany w produkcji półprzewodników, chemicznej osadzaniu pary (CVD), filtracji gazu w wysokiej temperaturze i innych pól.


Aby uzyskać więcej informacji na temat porowatej płyty ceramicznej SIC, sprawdź ten blog.


Porowata płyta ceramiczna SICDoskonałe właściwości fizyczne


● Ekstremalna oporność w wysokiej temperaturze:


Temat topnienia ceramiki SIC wynosi nawet 2700 ° C i nadal może utrzymywać stabilność strukturalną powyżej 1600 ° C, znacznie przekraczając tradycyjną ceramikę tlenku glinu (około 2000 ° C), szczególnie odpowiedni dla procesów wysokiej temperatury półprzewodników.


● Doskonała wydajność zarządzania termicznego:


✔ Wysoka przewodność cieplna: Przewodność cieplna gęstego SIC wynosi około 120 W/(M · K). Chociaż porowata struktura nieznacznie zmniejsza przewodność cieplną, jest nadal znacznie lepsza niż większość ceramiki i wspiera skuteczne rozpraszanie ciepła.

✔ Niski współczynnik rozszerzania cieplnego (4,0 × 10⁻⁶/° C): prawie brak odkształcenia w wysokiej temperaturze, unikając niewydolności urządzenia spowodowanego naprężeniem termicznym.


● Doskonała stabilność chemiczna


Odporność na korozję kwasu i alkalii (szczególnie wybitną w środowisku HF), odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odpowiednia dla trudnych środowisk, takich jak trawienie i czyszczenie.


● Znakomite właściwości mechaniczne


✔ Wysoka twardość (twardość MOHS 9.2, druga tylko do diamentu), silna odporność na zużycie.

Siła gięcia może osiągnąć 300-400 MPa, a konstrukcja struktury porów uwzględnia zarówno lekką, jak i mechaniczną wytrzymałość.


● Funkcjonalizowana porowata struktura


✔ Wysoka powierzchnia właściwa: zwiększyć wydajność dyfuzji gazu, odpowiednia jako płyta rozkładu gazu reakcyjnego.

✔ Porowatość kontrolowana: optymalizuj penetrację płynu i wydajność filtracji, takie jak jednolite tworzenie folii w procesie CVD.


Specyficzna rola w produkcji półprzewodników


● Wsparcie procesu o wysokiej temperaturze i izolacja cieplna


Jako płyta podpalkowa jest stosowana w sprzęcie o wysokiej temperaturze (> 1200 ° C), takich jak piece dyfuzyjne i piece wyżarzające, aby uniknąć zanieczyszczenia metalu.


Porowata struktura ma zarówno funkcje izolacji, jak i wsparcia, zmniejszając utratę ciepła.


● Jednolity rozkład gazu i kontrola reakcji


W sprzęcie do osadzania pary chemicznej (CVD), jako płytce dystrybucji gazu, pory są wykorzystywane do jednolitego transportu gazów reaktywnych (takich jak Sih₄, NH₃) w celu poprawy jednolitości osadzania cienkiego warstwy.


W suchym trawaniu porowata struktura optymalizuje rozkład w osoczu i poprawia dokładność trawienia.


● Elektrostatyczne elementy rdzeniowe (ESC)


Porowate SIC jest stosowane jako elektrostatyczne podłoże Chucka, który osiąga adsorpcję próżniową przez mikropory, dokładnie naprawia wafel i jest odporny na bombardowanie w osoczu i ma długą żywotność.


● Komponenty odporne na korozję


Używany do podszewki wnęki na urządzenia do trawienia i czyszczenia mokrego, odpowiada korozji przez silne kwasy (takie jak H₂so₄, Hno₃) i mocne alkalis (takie jak KOH).


● Kontrola jednolitości pola termicznego


W pojedynczych kryształowych piecach wzrostu krzemu (takich jak metoda Czochralskiego), jako tarcza cieplna lub podparcie, jego wysoka stabilność termiczna jest stosowana do utrzymania jednolitych pola termicznego i zmniejszenia wad kratowych.


● Filtracja i oczyszczenie


Porowata struktura może przechwytywać zanieczyszczenia cząstek stałych i jest stosowana w systemach dostarczania gazu/cieczy w ultra kure w celu zapewnienia czystości procesu.


Zalety w stosunku do tradycyjnych materiałów


Charakterystyka
Porowata płyta ceramiczna SIC
Alumina ceramiczna
Grafit
Maksymalna temperatura robocza
1600 ° C.
1500 ° C.
3000 ° C (ale łatwy do utleniania)
Przewodność cieplna
Wysoki (wciąż doskonały w stanie porowatym)
Niski (~ 30 W/(m · k))
Wysoka (anizotropia)
Odporność na wstrząsy termiczne
Doskonały (niski współczynnik ekspansji)
Słaby Przeciętny
Odporność na erozję osocza
Doskonały
Przeciętny
Biedne (łatwe do upielenia)
Czystość
Brak zanieczyszczenia metalu
Może zawierać śladowe zanieczyszczenia metalu
Łatwe do uwalniania cząstek

Gorące Tagi: Porowata płyta ceramiczna SIC
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept