Porowaty węglik tantalowy: nowa generacja materiałów do wzrostu kryształu SIC

Przy stopniowej masowej produkcji przewodzących substratów SIC wyższe wymagania są stawiane na stabilność i powtarzalność procesu. W szczególności kontrola defektów, niewielkie regulacje lub dryfy w polu termicznym w piecu doprowadzi do zmian kryształu lub wzrostu wad.

Na późniejszym etapie staniemy przed wyzwaniem „rośnięcia szybciej, grubiej i dłużej”. Oprócz doskonalenia teorii i inżynierii potrzebne są jako wsparcie bardziej zaawansowane materiały wykorzystujące pole termiczne. Korzystaj z zaawansowanych materiałów, aby hodować zaawansowane kryształy.

Niewłaściwe użycie materiałów takich jak grafit, grafit porowaty i proszek węglika tantalu w tyglu w polu termicznym doprowadzi do defektów, takich jak zwiększone wtrącenia węgla. Ponadto w niektórych zastosowaniach przepuszczalność porowatego grafitu nie jest wystarczająca i należy otworzyć dodatkowe otwory, aby zwiększyć przepuszczalność. Porowaty grafit o wysokiej przepuszczalności stawia czoła wyzwaniom, takim jak przetwarzanie, utrata proszku i trawienie.

Niedawno firma VeTek Semiconductor wprowadziła na rynek nową generację materiałów termicznych do wzrostu kryształów SiC,porowaty węglik tantalu, po raz pierwszy na świecie.

Węglik tantalu ma wysoką wytrzymałość i twardość, a nadanie mu porowatości jest jeszcze trudniejsze. Jeszcze większym wyzwaniem jest wytworzenie porowatego węglika tantalu o dużej porowatości i wysokiej czystości. Firma VeTek Semiconductor wprowadziła na rynek przełomowy porowaty węglik tantalu o dużej porowatości,z maksymalną porowatością 75%, osiągając międzynarodowy poziom wiodący.

Ponadto może być stosowany do filtracji komponentu fazowego gazu, regulacji lokalnych gradientów temperatury, kierunku przepływu materiału prowadzącego, kontrolowania wycieku itp.; Można go połączyć z innym stałym węglikiem tantalu (gęste) lub powłoką węglików do tantalu półprzewodnika Veteka, tworząc komponenty o różnych lokalnych przewodach przepływu; Niektóre komponenty można ponownie wykorzystać.

Parametry techniczne

Porowatość ≤75% Wiodący na arenie międzynarodowej

Kształt: Flake, cylindryczne wiodące międzynarodowe

Jednolita porowatość

Półprzewodnik VeTek z porowatego węglika tantalu (TaC) ma następujące cechy produktu

●   Porowatość do wszechstronnych zastosowań

Porowata struktura TAC zapewnia wielofunkcyjność, umożliwiając jej zastosowanie w wyspecjalizowanych scenariuszach, takich jak:

Dyfuzja gazu: Ułatwia precyzyjną kontrolę przepływu gazu w procesach półprzewodnikowych.

Filtrowanie: Idealny do środowisk wymagających wysokiej wydajności separacji cząstek.

Kontrolowane rozpraszanie ciepła: Skutecznie zarządza ciepłem w systemach o wysokiej temperaturze, zwiększając ogólną regulację termiczną.

● Ekstremalna oporność w wysokiej temperaturze

Z temperaturą topnienia około 3880 ° C, węglik tantalu wyróżnia się w zastosowaniach ultra-wysokiej temperatury. Ta wyjątkowa odporność na ciepło zapewnia spójną wydajność w warunkach, w których większość materiałów zawodzi.

●   Doskonała twardość i trwałość

Zajmując miejsca 9-10 w skali twardości Mohsa, podobnie jak diament, Porous TaC wykazuje niezrównaną odporność na zużycie mechaniczne, nawet przy ekstremalnych obciążeniach. Ta trwałość sprawia, że ​​idealnie nadaje się do zastosowań narażonych na działanie środowiska ściernego.

●   Wyjątkowa stabilność termiczna

Węglowodan Tantalum zachowuje integralność strukturalną i wydajność w ekstremalnym upale. Jego niezwykła stabilność termiczna zapewnia niezawodne działanie w branżach wymagających spójności w wysokiej temperaturze, takiej jak produkcja półprzewodnikowa i lotnicza.

● Doskonała przewodność cieplna

Pomimo porowatej natury porowate TAC utrzymuje wydajne przenoszenie ciepła, umożliwiając jego stosowanie w systemach, w których szybkie rozpraszanie ciepła ma kluczowe znaczenie. Ta funkcja zwiększa zastosowanie materiału w procesach intensywnie cieplnych.

● Niska rozszerzalność cieplna dla stabilności wymiarowej

Przy niskim współczynniku rozszerzalności cieplnej węglika tantalu są odporne na zmiany wymiarowe spowodowane wahaniami temperatury. Ta właściwość minimalizuje naprężenie termiczne, przedłużając żywotność komponentów i zachowując precyzję w krytycznych systemach.

W produkcji półprzewodników porowato

● W procesach o wysokiej temperaturze, takich jak trawienie w osoczu i CVD, porowaty węglik tantalowy VETEK półprzewodnikowy jest często stosowany jako powłoka ochronna do przetwarzania sprzętu. Wynika to z silnej odporności na korozję powłoki TAC i jej stabilności w wysokiej temperaturze. Właściwości te zapewniają, że skutecznie chroni powierzchnie narażone na gazy reaktywne lub ekstremalne temperatury, zapewniając w ten sposób normalną reakcję procesów o wysokiej temperaturze.

●  W procesach dyfuzyjnych porowaty węglik tantalu może służyć jako skuteczna bariera dyfuzyjna zapobiegająca mieszaniu się materiałów w procesach wysokotemperaturowych. Cecha ta jest często wykorzystywana do kontroli dyfuzji domieszek w procesach takich jak implantacja jonów i kontrola czystości płytek półprzewodnikowych.

● Porowata struktura porowatego węgliku tanlacyjnego Vetek półprzewodnikowy jest bardzo odpowiednia do środowisk przetwarzania półprzewodników, które wymagają precyzyjnej kontroli lub filtracji przepływu gazu. W tym procesie porowatym TAC odgrywa głównie rolę filtracji i dystrybucji gazu. Jego bezwładność chemiczna zapewnia, że ​​podczas procesu filtracji nie wprowadzono żadnych zanieczyszczeń. To skutecznie gwarantuje czystość przetworzonego produktu.

O półprzewodnika odszkodowania

Jako profesjonalny chiński producent, dostawca i fabryka porowatego węglika tantalu, posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowany i trwały porowaty węglik tantalu produkowany w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Jeśli masz jakieś pytania lub potrzebujesz dodatkowych informacji na tematPorowaty węglik tantalu、Porowaty grafit powlekany węglika tantalui inneKomponenty powlekane z węglikiem tantaluW nie wahaj się z nami skontaktować.

☏☏☏Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

☏☏☏E-mail: anny@veteksemi.com