Produkty
W ten sposób pokryte czesne EPI
  • W ten sposób pokryte czesne EPIW ten sposób pokryte czesne EPI
  • W ten sposób pokryte czesne EPIW ten sposób pokryte czesne EPI

W ten sposób pokryte czesne EPI

Jako najlepszy domowy producent powłok węglików krzemu i tantalu węglika, Vetek Semiconductor jest w stanie zapewnić precyzyjne obróbkę i jednolitą powłokę podatnika EPI powlekanego SIC, skutecznie kontrolując czystość powlekania i produktu poniżej 5ppm. Życie produktu jest porównywalne z życiem SGL. Witamy, aby nas zapytać.

Możesz mieć pewność, że kupisz Epi Susceptor pokryty SiC z naszej fabryki.


VETEK Semiconductor SIC powlekany EPI wrażliwość jest lufą epitaksjalną jest specjalnym narzędziem do półprzewodnikowego procesu wzrostu epitaksjalnego z wieloma zaletami:


LPE SI EPI Susceptor Set

● wydajne zdolności produkcyjne: Susceptor Epi pokryty SiC firmy VeTek Semiconductor może pomieścić wiele płytek, umożliwiając równoczesny wzrost epitaksjalny wielu płytek. Ta wydajna zdolność produkcyjna może znacznie poprawić wydajność produkcji oraz zmniejszyć cykle produkcyjne i koszty.

● Zoptymalizowana kontrola temperatury: Susceptor Epi pokryty SiC jest wyposażony w zaawansowany system kontroli temperatury, który pozwala precyzyjnie kontrolować i utrzymywać pożądaną temperaturę wzrostu. Stabilna kontrola temperatury pomaga osiągnąć równomierny wzrost warstwy epitaksjalnej oraz poprawić jakość i konsystencję warstwy epitaksjalnej.

● Równomierny rozkład atmosfery: Susceptor Epi pokryty SiC zapewnia równomierny rozkład atmosfery podczas wzrostu, zapewniając, że każdy wafelek jest wystawiony na działanie tych samych warunków atmosferycznych. Pomaga to uniknąć różnic we wzroście pomiędzy płytkami i poprawia jednorodność warstwy epitaksjalnej.

● Skuteczna kontrola zanieczyszczeń: Projekt podatności EPI powlekany SIC pomaga zmniejszyć wprowadzenie i rozpowszechnianie zanieczyszczeń. Może zapewnić dobre uszczelnienie i kontrolę atmosfery, zmniejszyć wpływ zanieczyszczeń na jakość warstwy epitaksjalnej, a tym samym poprawić wydajność i niezawodność urządzenia.

● Elastyczny rozwój procesów: Podatnik EPI ma elastyczne możliwości rozwoju procesu, które umożliwiają szybką regulację i optymalizację parametrów wzrostu. Umożliwia to naukowcom i inżynierom przeprowadzenie szybkiego rozwoju i optymalizacji procesów w celu zaspokojenia potrzeb epitaksjalnych różnych zastosowań i wymagań.


Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SIC:

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC
Nieruchomość Typowa wartość
Struktura kryształu FCC β faza polikrystaliczna, głównie (111) zorientowana
Gęstość powłoki SIC 3,21 g/cm³
Twardość powłoki CVD SiC Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g)
Wielkość ziarna 2 ~ 10 μm
Czystość chemiczna 99,99995%
Pojemność cieplna 640 J·kg-1· K-1
Temperatura sublimacji 2700 ℃
Siła zginania 415 MPA RT 4-punktowy
Moduł Younga Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃
Przewodność cieplna 300 W · m-1· K-1
Rozbudowa termiczna (CTE) 4,5×10-6K-1


To półprzewodnikW ten sposób pokryte czesne EPISklep produkcyjny

VeTek Semiconductor SiC Coated Epi Susceptor Production Shop

Przegląd łańcucha branży epitaksji chipów półprzewodnikowych:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy


Gorące Tagi: Receptor Epi pokryty SiC
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Używamy plików cookie, aby zapewnić lepszą jakość przeglądania, analizować ruch w witrynie i personalizować zawartość. Korzystając z tej witryny, wyrażasz zgodę na używanie przez nas plików cookie. Polityka prywatności
OdrzucićPrzyjąć