Susceptor grafitowy pokryty CVD SiC do nośnika płytek

1. Zalety produktu

• Materiał o wysokiej czystości:Materiał grafitowy klasy półprzewodnikowej i gęsta struktura powłoki SiC minimalizują ryzyko zanieczyszczeń i poprawiają niezawodność grafitowego susceptora pokrytego CVD SiC.
• Doskonała jednorodność termiczna:Zoptymalizowana struktura grafitu i powłoka SiC zapewniają stabilną wymianę ciepła i równomierną kontrolę temperatury płytki.
• Doskonała odporność chemiczna:Gęsta powłoka SiC zapewnia dużą odporność na gazy procesowe i środowiska korozyjne.
• Długa żywotność:Wysoka twardość i odporność na zużycie poprawiają trwałość w warunkach epitaksji w wysokiej temperaturze.
• Niska generacja cząstek:Gęsta powierzchnia CVD SiC zmniejsza uwalnianie cząstek i poprawia niezawodność procesu płytek.
• Możliwość dostosowania projektu:Dostępne w różnych rozmiarach, konstrukcjach i konfiguracjach w zależności od wymagań sprzętowych.

2. Dane techniczne

3. Aplikacje

• Proces epitaksji SiC:Susceptor grafitowy stosowany jest jako nośnik płytek w sprzęcie do epitaksji SiC, wspierając podłoża SiC podczas wzrostu epitaksjalnego w wysokiej temperaturze.
• Proces epitaksji krzemu:Stosowany w krzemowych reaktorach epitaksjalnych do podtrzymywania płytek i utrzymywania stabilnych warunków termicznych.
• Epitaksja MOCVD:Susceptory grafitowe VETEK nadają się do zastosowań w MOCVD, epitaksji LED, epitaksji GaN, epitaksji krzemowej i innych procesach produkcji półprzewodników wymagających doskonałej jednorodności termicznej i stabilności chemicznej.
• Sprzęt do produkcji półprzewodników:Kompatybilny z różnymi platformami epitaksji, w tym z piecami poziomymi LPE, Aixtron, NuFlare i powiązanym sprzętem półprzewodnikowym.

4. Dlaczego warto wybrać firmę VETEK?

Firma VETEK dostarcza dostosowane do indywidualnych potrzeb rozwiązania w zakresie susceptorów grafitowych powlekanych CVD SiC, łączące oczyszczanie grafitu, precyzyjną obróbkę, powlekanie CVD i możliwości inspekcji. Nasze produkty susceptorowe z grafitu półprzewodnikowego charakteryzują się wysoką czystością, jednolitą grubością powłoki, doskonałą wydajnością cieplną i długą żywotnością w przypadku wymagających zastosowań w nośnikach płytek.