Łódź z kasetą silikonową

Łódź z kasetą krzemową oferowana przez firmę Veteksemicon została zaprojektowana z myślą o rygorystycznych wymaganiach termicznych, mechanicznych i kontroli zanieczyszczeń w nowoczesnej produkcji płytek półprzewodnikowych. Wyprodukowana z monokrystalicznego lub polikrzemu o ultrawysokiej czystości i przetworzona zgodnie z wiodącymi w branży standardami czystości, krzemowa łódka kasetowa funkcjonuje jako krytyczny system nośny dla płytek poddawanych utlenianiu, dyfuzji, wyżarzaniu i innym cyklom termicznym w piecu. Jego wewnętrzne właściwości materiału — obojętność chemiczna w podwyższonych temperaturach, dopasowana rozszerzalność cieplna w przypadku płytek krzemowych i wyjątkowo niskie stężenie zanieczyszczeń metalicznych — umożliwiają minimalizację wytwarzania cząstek i naprężeń termicznych, zapewniając jednorodność i powtarzalność niezbędną w produkcji węzłów submikronowych i zaawansowanych.

W pionowych i poziomych platformach pieca, łódka z kasetą krzemową zapewnia precyzyjne rozmieszczenie płytek i stabilne podparcie mechaniczne, umożliwiając spójne przenoszenie ciepła i równomierny przepływ gazu w całej partii. Eliminując interakcje między materiałami powszechnie kojarzone z nośnikami kwarcowymi lub ceramicznymi, pomaga chronić powierzchnie płytek przed zanieczyszczeniem podczas długiego wygrzewania w wysokiej temperaturze, nawet w temperaturach dochodzących do 1200°C. To wyrównanie materiału pomiędzy nośnikiem a podłożem zmniejsza również linie poślizgu, mikropęknięcia i wypaczenia, dzięki czemu łódź jest szczególnie korzystna w zastosowaniach takich jak wzrost gęstych tlenków, dyfuzja wbijana, wyżarzanie implantacyjne w wysokiej temperaturze i obróbka epitaksjalna za pomocą urządzeń zasilających.

Zaprojektowana z myślą o bezproblemowej integracji z automatycznymi systemami ładowania, modułami przenoszenia FOUP do pieca i zrobotyzowaną obsługą płytek, łódka krzemowa Veteksemicon obsługuje środowiska produkcyjne o średnicy 200 mm i 300 mm i jest zgodna z wiodącymi specyfikacjami OEM pieców. Wysoka precyzja wymiarowa, zoptymalizowana geometria szczeliny i zaawansowane wykończenie powierzchni przyczyniają się do doskonałej równomierności termicznej, zmniejszonej defektywności i wydłużonego okresu eksploatacji – czynniki, które bezpośrednio zwiększają wydajność procesu i czas sprawności sprzętu.

Wspierana przez wiedzę Veteksemicon z zakresu materiałoznawstwa i rygorystyczne zarządzanie jakością, łódź z kasetą krzemową zapewnia stabilną pracę w wielu cyklach termicznych, niskie wydzielanie cząstek i przewidywalne zachowanie w wymagających atmosferach o wysokiej temperaturze, takich jak O₂, H₂, N₂ lub mieszaniny gazów obojętnych. W przypadku fabryk wymagających lepszej kontroli zanieczyszczeń, przewidywalnych profili termicznych i zgodności z produkcją urządzeń nowej generacji, Silicon Cassette Boat zwiększa niezawodność procesu, poprawia jednorodność poziomu płytek i umożliwia stałą produkcję półprzewodników na dużą skalę.