Aktualności

Dowiedz się, jak Vetek wyeliminował pęknięcia promieniowe w wielkogabarytowych susceptorach grafitowych pokrytych MOCVD SiC. Przeprojektowanie bufora naprężeń strukturalnych i dopasowanie CTE zwiększyło żywotność o ponad 300%.

Dekada ewolucji SiC — od wczesnych wyzwań związanych z komercjalizacją 4-calowych płytek po dzisiejsze przejście na 8-calowe płytki. Odkryj, w jaki sposób powłoki CVD SiC, materiały Solid SiC i TaC umożliwiają niezawodną produkcję półprzewodników.

Dowiedz się, w jaki sposób susceptory grafitowe pokryte powłoką CVD SiC zwiększają wzrost epitaksjalny, poprawiając równomierność termiczną, zmniejszając zanieczyszczenia i wydłużając żywotność komponentów w produkcji półprzewodników SiC, GaN, LED i krzemowych.