Aktualności

Dowiedz się, jak pierścienie grafitowe pokryte węglem pirolitycznym (PyC) firmy VETEK poprawiają stabilność termiczną, zmniejszają zanieczyszczenia i wydłużają żywotność komponentów w procesach wzrostu kryształów SiC, epitaksji, CVD i wysokotemperaturowych procesach półprzewodników.

Odkryj, jak powłoka CVD TaC poprawia wzrost kryształów SiC i produkcję półprzewodników dzięki ultrawysokiej stabilności termicznej, odporności na korozję, eliminacji zanieczyszczeń i doskonałej wydajności w zastosowaniach MOCVD i epitaksji.

Przyjrzyj się kluczowym komponentom Aixtron G10 do wysokotemperaturowych systemów epitaksji SiC. Omawiamy części z grafitu pokrytego CVD SiC, elementy powłoki TaC i struktury pola termicznego – oraz ich wpływ na stabilność procesu, kontrolę czystości i wydajność płytek w zaawansowanej produkcji półprzewodników.