Jak wybrać tacę grafitową MOCVD?

Pytanie 1: Co to jest taca grafitowa MOCVD i dlaczego jest tak ważna dla procesu epitaksjalnego?

Metal-organiczne chemiczne osadzanie pary (MOCVD), znana również jako taca grafitowa MOCVD lub podatność grafitowa MOCVD, jest składnikiem o wysokiej czystości stosowanej do naprawy wafli półprzewodników podczas wzrostu epitaxialnego. W procesie epitaksjalnym działa jako element grzewczy i zapewnia równomierny rozkład temperatury, który odgrywa niezastąpioną rolę w osadzaniu cienkich warstw w zastosowaniach, takich jak zaawansowane urządzenia półprzewodników, produkcja LED i ogniwa słoneczne.

Taca grafitowa może wytrzymać ekstremalne temperatury (do 1800 ° C) i środowiska gazowe korozyjne, co czyni ją niezbędnym materiałem dla systemów MOCVD opornych na korozję. Jego wydajność bezpośrednio wpływa na spójność procesu i wydajność wafla.

Pytanie 2: Które właściwości materiałowe należy priorytetowo traktować przy wyborze tac grafitowych MOCVD?

Wybór prawej płyty grafitowej wymaga oceny jej właściwości fizycznych i chemicznych:

● Wysoka czystość (ponad 99,999%):

Zazwyczaj zanieczyszczenia, takie jak metale lub popiół, mogą zanieczyścić proces epitaksjalny. Wybór dostawcy podatnika grafitu o dużej czystości, takim jak Vetesemicon, zapewnia minimalne wady w epilażerze półprzewodników.

●  Doskonała stabilność termiczna:

Podczas faktycznego przetwarzania płytki grafitowe muszą być w stanie wytrzymać niektóre wstrząsy termiczne i utrzymywać integralność strukturalną w szybkich cyklach temperatury. Grafit o wysokiej gęstości Vetesemicon zapewnia jednolity rozkład ciepła, który ma kluczowe znaczenie dla jednolitego wzrostu folii.

●  Doskonała odporność na korozję:

W środowisku procesu MOCVD grafit jest ogólnie narażony na gazy korozyjne (np. Amoniak, wodór). Wysokie temperatura płytki grafitowe MOCVD o drobnoziarnistej strukturze minimalizują korozję i wydłuża żywotność usług.

●  Wysokopomorowa wytrzymałość mechaniczna:

W procesie epitaksjalnym tace grafitowe MOCVD muszą obsługiwać wiele płytek bez wypaczenia. Zgodnie ze statystykami VeteSemicon w faktycznym przetwarzaniu wytrzymałość na zginanie płyty grafitowej musi wynosić ≥50 MPa, aby zapobiec pękaniu tacki.

P3: W jaki sposób scenariusz aplikacji wpływa na wybór tac grafitowych MOCVD?

Różne procesy MOCVD wymagają dostosowanych projektów płyt grafitowych:

●  Wzrost epitaksjalny LED/fotoniki:

Ultra-gładkie płytki grafitowe MOCVD są używane w procesie epitaksji w celu zmniejszenia wytwarzania cząstek i zapewnienia warstw wolnych od defektów.

Na przykład płytki grafitowe VeteSemicon MOCVD (lub VeteSemicon Graphit Plates dla MOCVD) są zaprojektowane dla epitaxy GAN i GAAS i zapewniają zoptymalizowane zarządzanie termicznie.

●  Produkcja półprzewodników mocy:

W połączeniu z eksperymentalnymi statystykami półprzewodnika Semikera, płytki o zwiększonej odporności na utlenianie są ogólnie preferowane w przypadku procesów węglików krzemionowych (SIC) lub azotku galu (GAN).

●  Produkcja o wysokiej przepustowości:

Tace wielorakiejne wymagają precyzyjnego przetwarzania w celu dostosowania się do projektu reaktora. Konfigurowalne tace grafitowe MOCVD od niezawodnego dostawcy półprzewodnikowego półprzewodnika mogą pasować do określonych konfiguracji narzędzi.

P4: Jakie są kluczowe rozważania dotyczące znalezienia niezawodnego dostawcy tablic grafitowych MOCVD?

●  Certyfikacja i testowanie:

Sprawdź, czy dostawca zapewnia certyfikację materialną (np. Raport czystości, test gęstości) i zapewnia obróbkę powierzchniową po przetwarzaniu (np. Powlekanie w celu zmniejszenia porowatości). Jako wiodący chiński producent powłok półprzewodników i procesów procesowych, VeteSemicon Mocvd Placit zostały certyfikowane przez departamenty rządowe za rygorystyczne eksperymenty z ograniczeń, a wyniki testu czystości i gęstości swoich produktów są znacznie wyprzedzane.

●  Możliwości dostosowywania:

Najlepsi dostawcy podatności grafitu o wysokiej czystości powinni dostosować rozmiar, wzór otworu i powłoki, aby spełnić wymagania reaktora. Zarówno VeteSemicon, jak i Semikera Semiconductor mają możliwości usług dostosowywania powiązanych produktów i technologii, i są w pełni zdolne do zaspokojenia różnych dostosowanych potrzeb.

●  Żywotność i efektywność kosztowa:

Podczas gdy tańszy grafit może zaoszczędzić koszty z góry, gorsze płyty grafitowe doprowadzą do częstego wymiany i przestoju, poważnie wpływając na normalną wydajność produkcji. Wybór tablic grafitowych Vetesemicon i innych produktów wysokiej jakości pozwoli Twojej firmie osiągnąć długoterminową niezawodną produkcję.

P5: Jak przedłużyć żywotność tac grafitowych MOCVD?

●  Zapobiegać utlenianiu: Używaj obojętnego czyszczenia gazu podczas cykli ogrzewania/chłodzenia.

●  Czyszczyć regularnie: Użyj metod nie-abrazcyjnych (takich jak suche trawienie), aby usunąć osadzone reszty.

●  Unikaj stresu mechanicznego: Ostrożnie obsługuj tacę podczas ładowania/rozładunku wafla.

Najlepsza rada Vetesemicon dla Ciebie:

W przypadku płyt grafitowych MOCVD, które są odporne na korozję wysokiej temperatury, nadaj priorytet dostawcom posiadającym wiedzę specjalistyczną w materiałach półprzewodnikowych.

Próbki testowe w rzeczywistych warunkach procesowych w celu weryfikacji wydajności.

Przeglądaj powłoki zaawansowane (takie jak powłoka SIC, powłoka TAC), aby zwiększyć trwałość i niezawodność w ekstremalnych środowiskach.

Aby uzyskać więcej informacji na temat płyty grafitowej SIC Coating MOCVD, kliknij tutaj.

Aby uzyskać więcej informacji na temat płyty grafitowej TAC powlekania MOCVD, kliknij tutaj.