Co to jest łódź grafitowa PECVD?

Ⅰ. Jaki jest materiał łodzi grafitowej Pecvd?

Podstawowy materiałPECVD Graphit Boat(Ulepszone chemiczne łódź z osadzania pary) jest wykonana z wysokiej czystościIzotropowy materiał grafitowy(Czystość wynosi zwykle ≥99,999%) i jest modyfikowana przez specjalne procesy (takie jak chemiczne osadzanie pary CVD lub powłoka powierzchniowa). Grafit o wysokiej czystości jest szeroko stosowany w systemach PECVD ze względu na doskonałą przewodność elektryczną i wysoką przewodność cieplną (80 ~ 150 W/m · K). TenMateriał grafitowy o wysokiej czystościmoże utrzymać dobrą stabilność strukturalną i stabilność chemiczną w środowiskach o wysokiej temperaturze i może odpierać korozję z gazów reaktywnych i osocza.

Ⅱ. Jakie są fizyczne właściwości łodzi grafitowej?

Fizyczne właściwości łodzi grafitowych PECVD obejmują:

● Przewodność elektryczna: Graphit isostatyczny ma doskonałą przewodność elektryczną, co umożliwia skuteczne zarządzanie energią elektryczną i promowanie wytwarzania i utrzymania plazmy podczas procesu PECVD.

●  Przewodność cieplna: Wysoka przewodność cieplna grafitu (około 80 ~ 150 W/m · k) pomaga utrzymać stabilne środowisko temperaturowe podczas procesu PECVD i zapewnić jednolite osadzanie cienkich warstw.

●  Gęstość: Gęstość komercyjnego polikrystalicznego grafitu waha się od 1,30 g/cm³ do 1,88 g/cm³. Im wyższa gęstość, tym lepsze właściwości fizyczne i mechaniczne, które mogą poprawić żywotność usługi produktu.

Ⅲ. Jakie są zalety łodzi grafitowej PECVD w porównaniu do zwykłej łodzi grafitowej?

W porównaniu ze zwykłymi łodziami grafitowymi łodzie grafitowe Pecvd mają następujące zalety:

Ⅳ. Dlaczego warto wybrać łódź grafitową VeteSemicon's Pecvd?

Jak wszyscy wiemy, VeteSemicon jest wiodącym producentem i dostawcą produktów powlekania półprzewodników iprodukty grafitowew Chinach. NaszŁodzie grafitowe Pecvdsą stosowane głównie w branżach półprzewodników i fotowoltaicznych, szczególnie w procesach PECVD i CVD.

Łodzie grafitowe są zwykle stosowane jako nośniki do przenoszenia płytek krzemowych lub innych materiałów, aby zapewnić bezpieczne obchodzenie się i transport tych materiałów w środowiskach wysokiej temperatury i plazmowych. Na przykład w procesie produkcji półprzewodników łodzie grafitowe PECVD VeteSemicon są zaprojektowane do procesów osadzania pary chemicznej ulepszonych w osoczu. Łódź grafitowa odgrywa rolę osadzania warstw pasywacji azotku krzemu (sinₓ) i niskiej stałej dielektrycznej (niskiej k).

W polu fotowoltaicznym łodzie grafitowe PECVD są używane do przygotowania cienkowarstwowych ogniw słonecznych na bazie krzemu (takie jak amorficzny krzem A-SI: H) i warstwy pasywacyjne z ogniw perc. Łódź grafitowa PETVD Vetesemicon optymalizuje proces powlekania poprzez skutecznie rozmieszczanie kropek krzemu i indukując wyładowanie blasku w celu osiągnięcia jednolitego odkładania powłoki.

Co ważniejsze, VeteSemicon może świadczyć spersonalizowane produkty i usługi techniczne oraz może projektować i produkować grafitowe produkty łodzi o różnych specyfikacjach zgodnie z twoimi wymaganiami procesowymi. Wybór Vetesemicon oznacza wybór lidera branży o silnej sile w branży półprzewodników i fotowoltaicznej. Szczerze oczekujemy, że zostaniemy twoim długoterminowym partnerem.