Od procesu produkcji elektrostatycznych kubków ssących po producentów produkcji masowej

Zasada dekonkuElektrostatyczny Chuckjest kluczową częścią jego przepływu pracy, który obejmuje eliminację siły elektrostatycznej i mechanizmy uwalniania płytek. Poniżej znajduje się szczegółowa analiza:

Rdzeniem DeChucka jest wyeliminowanie lub zneutralizowanie siły elektrostatycznej zaadsorbowanej na waflu, a konkretne metody obejmują:

Yodaoplaceholder0 odcięcie mocy

Przestań stosować napięcie prądu stałego do elektrody, aby stopniowo wyeliminować pole elektryczne.

Napięcie odwrotne lub wstrzyknięcie gazu ‌ ‌ ‌

Niektóre systemy zastosują napięcie odwrotne lub wprowadzą gazy obojętne (takie jak HE, N₂) w celu przyspieszenia neutralizacji ładunku lub oddzielenia fizycznego.

Porównajmy profesjonalne techniki produkcji ESC i najpierw sprawdź, czy firma może osiągnąć taką skalę.

Technologia analizy CAE, materiały funkcjonalne płyt, projektowanie elektrod, technologia analizy, technologia kanału chłodzącego, technologia projektowania grzejników, starszy personel w sprzęcie półprzewodnikowym.

Japońskie i południowokoreańskie firmy muszą być w pełni obsadzone tak odpowiednim personelem. Jeśli nie, nie trzeba mówić o technologii firmy.

Technologia Chucka, elektrody, dyski, a nawet zasada przepływu, nie zostały jeszcze wyjaśnione. Zróbmy szorstki elektrostatyczny kubek ssący. Takie firmy są przekazywane bezpośrednio. Zasadniczo są używane do ograniczenia pieniędzy inwestorów. To jest podstawowy poziom wiedzy, jak. Inwestorzy powinni również zrezygnować z firmy, która gra w gry karciane i nie ma pracowników z ponad 10 -letnim doświadczeniem w sprzęcie do trawienia, ponieważ nie jest to firma, która robi praktyczne rzeczy.

Jeśli chodzi o strzelanie w proszku w branży, wszyscy są w tej samej dziedzinie. Każda z nich ma swoją unikalną formułę. Który z nich nie ma siły, aby być wyposażony w spiekane powierzchnie ceramiczne? Inwestorzy mogą również przekazywać te konfiguracje lub firmy, które ich w pełni nie zrozumieli, ponieważ ich podstawowa logika jest taka sama: mają na celu zarabianie pieniędzy, a nie opracowywanie produktów.

Jeśli chodzi o naprawę, wiele firm krajowych powinno mieć już odpowiednie możliwości L1 do L3. Nawet jeśli nieco brakuje możliwości, L1 nadal może sobie z tym poradzić. W przypadku L3 i nowszym albo nie można go naprawić, albo można go podwykonał. W każdym razie nadal istnieje sposób na jego naprawę.

Naprawa naprawy powierzchni L1, poprawa chropowatości powierzchni/poprawa płaskości/regeneracja nierówności.

Naprawa L2: Naprawa warstwy stawu, renowacja metalowej podstawy i tarcza ceramicznego/ponowne wypełnianie warstwy złącza.

L3 Wymiana dysku ceramicznego, ceramiczna produkcja/renowacja metalowej podstawy i dysku ceramicznego.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Firma zajmuje wiodącą pozycję w projektowaniu i produkcji krajowych chucków i urządzeń elektrostatycznych opartych na elektrostatycznych chuckach jako podstawowej technologii. Obecnie Haituo Innovation osiągnęła komercyjną produkcję elektrostatycznych kubków ssących i zakończyła dostawę od 4 cali do 12-calowych półprzewodników elektrostatycznych chucków.

Pekin Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Elektrostatyczne kubki ssące niezależnie opracowane przez firmę są zgodne z odpowiednimi standardami i przetwarzaniemWymagania przemysłu półprzewodnikowego. 12-calowe aluminiowe kubki ssące azotku azotku PVD opracowane we wczesnym etapie w pewnym stopniu złamały długoterminowy monopol zagranicznych producentów w tym polu produktu. Obecnie Huazhuo Jingke zastosował powiązaną technologię elektrostatycznych kubków ssących do produkcji produktów i osiągnął masową produkcję na małą skalę. Może również dostarczać dostosowane produkty dla klientów.

Założona w 2016 roku, jest wiodącym dostawcą zaawansowanych materiałów powłokowych dla przemysłu półprzewodnikowego. Nasz założyciel, były ekspert z Chińskiej Akademii Nauk Institute of Materials, założył firmę, koncentrując się na opracowywaniu najnowocześniejszych rozwiązań dla branży.

Nasze główne oferty produktów obejmują powłoki z węglików krzemowych CVD (SIC), powłoki z węglika tantalu (TAC), luzem SIC, proszki SIC i materiały SIC o dużej czystości. Głównymi produktami są SIC powlekane grafitowe podatnik, pierścienie podgrzewania, pierścień rozrywki powlekanej TAC, części Halfmoon itp. Czystość jest poniżej 5 ppm, może spełniać wymagania klientów.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Opracowane przez niego produkty ssące elektrostatyczne mają wskaźniki wydajności, które mogą sprostać wymaganiom przedsiębiorstw produkcyjnych chipowych. Zawierają wyjątkowe właściwości, takie jak kontrolowana temperatura, jednolita siła adsorpcyjna, brak zadrapań lub zmarszczek podczas adsorpcji oraz brak efektu wykluczenia krawędzi na płytki. Otrzymali certyfikat wiodących krajowych przedsiębiorstw przemysłu półprzewodników, takich jak technologie pamięci Jangcy, mikroelektronika Silan i innowacje w North China i osiągnęły sprzedaż. Złamał monopol zagranicznych producentów w tej dziedzinie produktu.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

W 2022 r. Firma wykonała strategiczne ruchy w dziedzinie precyzyjnych elementów ceramicznych, osiągając lokalizację wysoce technicznych części precyzyjnych, takich jak płytki grzewcze i chuny elektrostatyczne. Podstawowe wskaźniki techniczne ceramicznych płyt grzewczych opracowanych przez Zhongci Electronics osiągnęły poziom podobnych produktów międzynarodowych i zostały zweryfikowane przez użytkowników. Zostały one zastosowane w partiach w kluczowym krajowym sprzęcie półprzewodników. Ceramiczne płytki grzewcze zostały dostarczone luzem, a do testowania próbek wysłano chucki elektrostatyczne.