Co to jest elektrostatyczny chuck (ESC)?

Elektrostatyczne Chuck (ESC), znane również jako elektrostatyczne Chuck (ESC, E-Chuck), jest elementem wykorzystującym zasadę adsorpcji elektrostatycznej do trzymania i ustalania zaadsorbowanego materiału. Jest odpowiedni do środowisk próżniowych i plazmowych. Jego główną funkcją jest adsorb ultra-Czyste cienkie arkusze (takie jak wafle krzemu) i utrzymuj zaadsorbowany materiał o dobrej płaskości, która może również hamować deformację zaadsorbowanego materiału podczas procesu i może dostosować temperaturę adsorbatu.

Elektrostatyczne Chuck (ESC) to specjalny rodzaj Chucka, który wykorzystuje siłę elektrostatyczną do trzymania, nacisku i zbierania obiektów (torów). Każdy materiał zawiera dodatnie i ujemne ładunki, które są niewidoczne w nagim oku. Po umieszczeniu materiału na ESC i napięcie dwubiegunowe jest przyłożone do wewnętrznych elektrod ESC, ładunki dodatnie i ujemne poruszają się w materiale, aby pasowały do ​​polaryzacji elektrod wewnętrznych ESC. Ta atrakcja między ESC a materiałem nazywa się siłą elektrostatyczną i jest również podstawową zasadą naszych Chucks.

Zalety produktu

Ma szeroki zakres temperatur roboczych (-50 do 700 ℃)

Te elektrostatyczne kubki ssące mają doskonałą wytrzymałość, przewodność cieplną i odporność na amortyzator termiczny oraz mogą dostosować się do szerokiego zakresu temperatury poprzez zastrzeżoną kontrolę oporności na objętość objętości NGK.

Wysoka odporność na korozję

Te elektrostatyczne kubki ssące mają doskonałą odporność na korozję gazów halogenowych.

Przetwarzanie niskiej cząstki

Obróbkę niskiej cząstki można osiągnąć poprzez obróbkę powierzchniową i specjalne czyszczenie

Wysoka czystość

Dostępne są również produkty o czystości 99,9% lub wyższych.

Funkcja ogrzewania

Technologia osadzania elementów ogrzewania bardzo precyzyjnie może być zintegrowana z funkcją grzejnika, a temperaturę płytki można kontrolować w granicach ± ​​1%.

Funkcja chłodzenia

Te elektrostatyczne kubki ssące mają wyjątkowo wysoką wydajność chłodzenia poprzez wiązanie płytek ceramicznych o wysokiej przewodności cieplnej i płytkach chłodzących.

Elektroda częstotliwości radiowej

Elektrody objętościowe mogą jednocześnie zapewniać stabilne zaciski płytki i wytwarzanie plazmy częstotliwości radiowej.

PArametr

1.W dziedzinie produkcji półprzewodnikowej i elektronicznej: podczas półprzewodników i elektronicznych procesów produkcyjnych elektrostatyczne kubki ssące są używane do ustalania i obsługi cienkich i kruche płytki krzemowe, wafle itp. Jego zalety leżą w silnej sile adsorpcji, brak naprężenia mechanicznego i prostego działania, które skutecznie poprawia wydajność produkcji i jakości produktu.

2. Przemysł szkła i ceramiki: Podczas procesów cięcia, szlifowania i obsługi szkła i ceramiki elektrostatyczne kubki ssące mogą wykonywać nieniszczące operacje kruche materiały, zmniejszając szybkość pęknięcia produktu.

3. Produkcja maszyn precyzyjnych i komponentów optycznych: W przypadku maszyn precyzyjnych i komponentów optycznych kubki ssące elektrostatyczne mogą zapewnić stabilną siłę adsorpcji, zapobiegając deformacji lub zarysowaniom podczas przetwarzania.

4. Zautomatyzowane linie produkcyjne: W zautomatyzowanych liniach produkcyjnych kubki ssące elektrostatyczne są szeroko stosowane w pozycjonowaniu, obsłudze i montażu części itp., Zwiększając stopień automatyzacji i wydajności linii produkcyjnej.