Jakie materiały są używane w półprzewodnikowych elementach ceramicznych?

Alumina Ceramics (Al₂o₃) ‌

Ceramika tlenku glinu to „konik robocze” do produkcji elementów ceramicznych. Wykazują doskonałe właściwości mechaniczne, bardzo wysokie temperatury topnienia i twardość, oporność na korozję, silną stabilność chemiczną, wysoką oporność i doskonałą izolację elektryczną. Są one powszechnie stosowane do wytwarzania płytek polerniczych, próżniowych chucków, ramion ceramicznych i podobnych części.

Ceramika azotku azotku (ALN)

Ceramika azotku aluminium ma wysoką przewodność cieplną, współczynnik rozszerzania cieplnego pasujący do krzemu oraz niską stałą dielektryczną i stratą. Z zaletami, takimi jak wysoka temperatura topnienia, twardość, przewodność cieplna i izolacja, są one przede wszystkim stosowane w podłożach rozdzielających ciepło, dyszach ceramicznych i chuckach elektrostatycznych.

‌Yttria Ceramics (y₂o₃)

Ceramika YTTRIA ma wysoką temperaturę topnienia, doskonałą stabilność chemiczną i fotochemiczną, niską energię fononową, wysoką przewodność cieplną i dobrą przezroczystość. W przemyśle półprzewodników często łączy się one z ceramiką tlenku glinu - na przykład powłoki YTTRII są stosowane do ceramiki tlenku glinu do produkcji ceramicznych okien.

Ceramika azotku ‌Silicon (si₃n₄) ‌

Ceramika azotku krzemu charakteryzuje się wysoką temperaturą topnienia, wyjątkową twardością, stabilnością chemiczną, niskim współczynnikiem rozszerzalności cieplnej, wysoką przewodnością cieplną i silną odpornością na wstrząs cieplną. Utrzymują wyjątkową odporność na uderzenie i wytrzymałość poniżej 1200 ° C, co czyni je idealnymi do podłoża ceramicznych, haczyków obciążenia, szpilków pozycjonujących i rur ceramicznych.

‌Silicon Carbide Ceramics (sic) ‌

Ceramika z węglików krzemowych, Przypominające Diament w właściwościach, są lekkie, ultra twarde i wysokiej siły materiały. Dzięki wyjątkowej kompleksowej wydajności, odporności na zużycie i odporności na korozję są one szeroko stosowane w siedzeniach zaworów, łożyskach przesuwnych, palnikach, dyszach i wymiennikach ciepła.

Ceramika z Kirconia (Zro₂) ‌

Ceramika cyrkonu oferuje wysoką wytrzymałość mechaniczną, odporność na ciepło, odporność na kwas/alkalia i doskonałą izolację. W oparciu o zawartość cyrkonu, są one podzielone na:

• Precision Ceramics‌ (zawartość przekraczająca 99,9%, stosowana do podłożów zintegrowanych obwodów i materiałów izolacyjnych o wysokiej częstotliwości).
• Zwykła ceramika ‌ (dla produktów ceramicznych ogólnego przeznaczenia).

Charakterystyka strukturalnaCeramika półprzewodników Komponenty

‌ Ceramika ze względu na ‌

Gęsta ceramika jest szeroko stosowana w przemyśle półprzewodników. Osiągają zagęszczenie poprzez minimalizację porów i są przygotowywane metodami takimi jak spiekanie reakcji, spiekanie bez ciśnienia, spiekanie w fazie ciekłej, naciśnięcie gorącego i gorące naciskanie izostatyczne.

‌ Pochodna ceramika

W przeciwieństwie do gęstej ceramiki, porowata ceramika zawiera kontrolowaną objętość pustki. Są one klasyfikowane według wielkości porów w ceramice mikroporowatej, mezoporowatej i makroporowatej. Przy niskiej gęstości objętościowej, lekkiej strukturze, dużej powierzchni właściwej, skutecznej filtracji/izolacji termicznej/właściwości tłumienia akustycznego oraz stabilnej wydajności chemicznej/fizycznej, są one wykorzystywane do wytwarzania różnych elementów w urządzeniach półprzewodnikowych.