W jaki sposób powlekanie TAC poprawia żywotność usług grafitowych? - Vetek Semiconductor

CVD Tantalum Carbide Coatingjest wytwarzany poprzez naparowywanie węglika tantalu (TaC) na powierzchnię podłoża grafitowego o wysokiej czystości przy użyciu opatentowanego przez firmę VeTek Semiconductor procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).

Powłoki z węglika tantalu (TaC) znacznie poprawiają żywotnośćczęści grafitowepoprzez wiele mechanizmów, zwłaszcza w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysoce korozyjnych, takich jak produkcja półprzewodników i wzrost kryształów. 

Oto konkretne powodyPowłoki TaCzwiększyć trwałość części grafitowych:

● Ulepszona oporność na wysoką temperaturę

Niezwykle wysoka stabilność termiczna: Powłoki TAC są w stanie pozostać stabilne w wyjątkowo wysokich temperaturach przekraczających 2000 ° C, a nawet mogą działać skutecznie przy 2200 ° C. Ta tolerancja w wysokiej temperaturze pozwala powłokowi wytrzymać erozję stopionego metali i gazów chemicznych podczas produkcji półprzewodników, przedłużając w ten sposób żywotność usług grafitowych.

●  Doskonała odporność na korozję

Odporność na erozję chemiczną: Powłoki TAC mają silną odporność na gazy korozyjne, takie jak wodór, amoniak i par krzemowy, które mogą skutecznie zapobiec korozji substratu grafitowego i zmniejszyć ryzyko uszkodzenia części grafitowych w trudnych środowiskach. Oznacza to, że podczas procesu wzrostu kryształów powłoka może hamować migrację zanieczyszczeń i poprawić jakość kryształów i wydajność.

● Ulepszone właściwości mechaniczne

Dobra adhezja i odporność na wstrząsy termiczne: Powłoki TAC mają silną przyczepność do podłoża grafitowego, zapewniając, że powłoka nie obiera ani rozwarstwia podczas operacji o wysokiej temperaturze. Ponadto jego doskonała odporność na wstrząsy termiczne może wytrzymać szybkie zmiany temperatury bez pękania lub obierania, dodatkowo przedłużając żywotność usług grafitowych.

●  Zmniejsz zanieczyszczenie zanieczyszczeniami

Bardzo wysoka czystość: powłoki TaC mają wyjątkowo niską zawartość zanieczyszczeń, co pomaga zmniejszyć problemy z zanieczyszczeniem, które mogą wystąpić w warunkach wysokiej temperatury. Zapobiegając migracji niepożądanych zanieczyszczeń do warstwy epitaksjalnej, powłoki TaC znacząco poprawiają czystość i jakość procesu wzrostu kryształów.

●  Optymalizuj zarządzanie ciepłem

Popraw przewodność cieplną i rezystywność: Powłoki TaC mają stosunkowo niską przewodność cieplną i rezystywność, co umożliwia ich zastosowanie w grzejnikach i innych elementach zarządzających ciepłem w celu poprawy efektywności energetycznej i zmniejszenia strat energii. Ta funkcja nie tylko poprawia wydajność pracy, ale także zmniejsza zmęczenie materiału i uszkodzenia spowodowane przegrzaniem.