Pierścień pokryty TAC

Pierścień powlekany Vetesemi TAC to komponent o wysokiej wydajności dostosowany do procesów produkcyjnych półprzewodników. Jego wyjątkowo zaprojektowana powłoka węgla tantalu (TAC) zapewnia produktowi doskonały oporność w wysokiej temperaturze, odporność na korozję i stabilność mechaniczną, znacznie poprawiając żywotność usług i niezawodność składników grafitowych w sprzęcie półprzewodników.

Najwyższa wydajność powłok węglików tantalu ：

● Ultra-wysoka odporność na temperaturę: Powłoki TAC mogą łatwo wytrzymać ekstremalne temperatury do 2200 ° C i pozostać stabilne w środowiskach wstrząsu termicznego powszechnego w produkcji półprzewodników.

● Doskonała stabilność chemiczna: powłoka wykazuje silną odporność na wspólne gazy korozyjne, takie jak wodór, amoniak, silan i krzem, skutecznie chroniąc podłoże przed atakiem chemicznym.

● Doskonałe właściwości mechaniczne: powłoka TAC ma wysoką twardość, odporność na wysoką zużycie i dobrą odporność na wstrząsy termiczne i może działać stabilnie przez długi czas w trudnych warunkach pracy.

● Doskonała przyczepność: powłoka jest ściśle związana z podłożem grafitowym, skutecznie zapobiegając odrywaniem powłoki i zapewniająca spójną wydajność przez cały okres użytkowania produktu.

● Wysoka czystość: powłoka TAC przygotowana przez CVD ma wyjątkowo wysoką czystość, która minimalizuje wprowadzenie zanieczyszczeń i zapewnia czyste środowisko procesowe do produkcji półprzewodnikowej.

Zalety pierścieni powlekanych węglika tantalu:

● Wydłużona żywotność sprzętu: Powłoka TAC skutecznie blokuje reakcje chemiczne i dyfuzję zanieczyszczeń, znacznie rozszerzając żywotność usług grafitowych i zmniejszając koszty utrzymania.

● Popraw wydajność produkcji: Wysoka temperatura i odporność na korozję produktu umożliwia działanie w bardziej wymagających warunkach, skracanie cyklu produkcyjnego i zwiększenie zdolności produkcyjnych.

● Ulepszona jakość produktu: Powłoka TAC o wysokiej czystości pomaga zmniejszyć zanieczyszczenie, zapewniając jakość i spójność produktów półprzewodnikowych.

Vetek Semiconductor jest specjalizowany w produktach powlekania TAC, takich jakPowłoka TAC Chuck, Płyta obrotowa powłoki TAC, Podser powłoki TAC, Zakryte wafel TACprzez wiele lat. Nasze produkty Ring powlekane TAC mają funkcje przedłużonego życia sprzętu, poprawę wydajności produkcji i lepszej jakości produktu. Jednocześnie Vetek Semiconductor od dawna jest zaangażowany w dostarczanie zaawansowanych rozwiązań technologicznych i produktów dla przemysłu półprzewodnikowego. 

Ze względu na różne właściwości chemiczne materiałów węgla grafitowego i tantalu, współczynnik rozszerzalności cieplnej nie będzie pasował i łatwo jest ogrzać się w wysokiej temperaturze przez półprzewodnik wetekowy przez określony proces w celu promowania tworzenia się tantalu powlekania z węglika. W ten sposób powłoka z węglikiem tantalu jest ściśle zagnieżdżona w macierzy grafitowej poprzez wzrost in situ, co znacznie zwiększa siłę wiązania między powłoką a matrycą i skutecznie zapobiega obieraniu korzenia węgla tantalu.

Pierścienie powlekane z węglikiem Tantalum Sklepy: