TAC Coating Crucible

Oferuje półprzewodnikCVD TAC Coated CruciblesZwykle odgrywają następujące kluczowe role w procesie wzrostu pojedynczego kryształu PVT SIC:

Metoda PVT odnosi się do umieszczania kryształu nasion SIC na tyglu pokrytym TAC i umieszczaniu proszku SIC jako surowca na dnie tygla. W zamkniętym środowisku o wysokiej temperaturze i niskim ciśnieniu, proszek SIC i pod działaniem gradientu temperatury i różnicy stężenia,Sic proszekjest przenoszony do okolic kryształu nasion i osiąga stan przesyconego po rekrystalizacji. Dlatego metoda PVT może osiągnąć kontrolowany wzrost wielkości kryształu SIC i specyficznej postaci kryształu.

● Stabilność termiczna wzrostu kryształów

Właski półprzewodnikowe Vetek TAC mają doskonałą stabilność termiczną (może pozostać stabilna poniżej 2200 ℃), co pomaga utrzymać integralność strukturalną nawet przy wyjątkowo wysokich temperaturach wymaganych do wzrostu pojedynczego kryształu. Ta fizyczna właściwość umożliwia szalonym tygle grafitowym SIC precyzyjnie kontrolować proces wzrostu kryształów, co powoduje wysoce jednolite i wolne od defektów kryształy.

● Doskonała bariera chemiczna

Krzyże powlekane TAC łączą powłokę węgla tantalu z tyglem grafitowym o wysokiej czystości, aby zapewnić doskonałą odporność na szeroki zakres korozyjnych chemikaliów i materiałów stopionego powszechnie spotykanych podczas SIC pojedynczych kryształów. Ta właściwość ma kluczowe znaczenie dla osiągnięcia wysokiej jakości kryształów przy minimalnych wadach.

● Tłumienie wibracje dla stabilnego środowiska wzrostu

Doskonałe właściwości tłumienia tygla pokrytego TAC minimalizują wibracje i wstrząs cieplny w tyglu grafitowym, co dodatkowo przyczynia się do stabilnego i kontrolowanego środowiska wzrostu kryształów. Dzięki łagodzenia tych potencjalnych źródeł zakłóceń powłoka TAC umożliwia wzrost większych, bardziej jednolitych kryształów o zmniejszonej gęstości defektu, ostatecznie zwiększając plony urządzenia i poprawę wydajności urządzenia.

● Doskonała przewodność cieplna

Pokryte tyrcy Vetesemicon mają doskonałą przewodność cieplną, co pomaga grafitowi tygla w szybkim i równomiernym przenoszeniu ciepła. Określa to precyzyjną kontrolę temperatury w całym procesie wzrostu kryształów, minimalizując wady kryształów spowodowane gradientami cieplnymi.

Powłoka z węglika tantalu (TAC) na mikroskopijnym przekroju

Właściwości fizycznePowłoka z węglikiem tantalu

Vetek Semiconductor Production Shops