Ceramika z węglika krzemu

VeTek Semiconductor to Twój innowacyjny partner w dziedzinie obróbki półprzewodników. Dzięki naszemu szerokiemu asortymentowi kombinacji materiałów z węglika krzemu klasy półprzewodnikowej, możliwościom produkcji komponentów i usługom inżynierii zastosowań, możemy pomóc Ci pokonać znaczące wyzwania. Inżynierska techniczna ceramika z węglika krzemu jest szeroko stosowana w przemyśle półprzewodników ze względu na ich wyjątkową wydajność materiałową. Ultraczysta ceramika z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest często stosowana w całym cyklu produkcji i przetwarzania półprzewodników.

DYFUZJA I PRZETWARZANIE LPCVD

VeTek Semiconductor dostarcza komponenty ceramiczne zaprojektowane specjalnie pod kątem wymagań związanych z dyfuzją wsadową i LPCVD, w tym:

• Przegrody i uchwyty
• Wtryskiwacze
• Wkładki i rury procesowe
• Łopatki wspornikowe z węglika krzemu
• Łódki i cokoły waflowe

Wiosło wspornikowe SiC Rury procesowe SiC Rura procesowa z węglika krzemu Pionowa łódź waflowa SiC Pozioma łódź waflowa SiC Pozioma łódka waflowa SiC Łódź waflowa SiC LPCVD Łódź z poziomą płytą SiC Ceramiczny pierścień uszczelniający SiC

KOMPONENTY PROCESU WYTRAWANIA

Zminimalizuj zanieczyszczenie i nieplanowaną konserwację dzięki komponentom o wysokiej czystości zaprojektowanym z myślą o rygorystycznych warunkach trawienia plazmowego, w tym:

SZYBKA OBRÓBKA TERMICZNA I KOMPONENTY PROCESU EPITAKSYJNEGO

VeTek Semiconductor dostarcza zaawansowane komponenty materiałowe dostosowane do zastosowań w zakresie wysokotemperaturowej obróbki cieplnej w przemyśle półprzewodników. Zastosowania te obejmują procesy RTP, Epi, dyfuzję, utlenianie i wyżarzanie. Nasza ceramika techniczna jest zaprojektowana tak, aby wytrzymać szoki termiczne, zapewniając niezawodną i stałą wydajność. Dzięki komponentom VeTek Semiconductor producenci półprzewodników mogą osiągnąć wydajną i wysokiej jakości obróbkę cieplną, przyczyniając się do ogólnego sukcesu produkcji półprzewodników.