Produkty

Ceramika z węglika krzemu

VeTek Semiconductor to Twój innowacyjny partner w dziedzinie obróbki półprzewodników. Dzięki naszemu szerokiemu asortymentowi kombinacji materiałów z węglika krzemu klasy półprzewodnikowej, możliwościom produkcji komponentów i usługom inżynierii zastosowań, możemy pomóc Ci pokonać znaczące wyzwania. Inżynierska techniczna ceramika z węglika krzemu jest szeroko stosowana w przemyśle półprzewodników ze względu na ich wyjątkową wydajność materiałową. Ultraczysta ceramika z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest często stosowana w całym cyklu produkcji i przetwarzania półprzewodników.


DYFUZJA I PRZETWARZANIE LPCVD

VeTek Semiconductor dostarcza komponenty ceramiczne zaprojektowane specjalnie pod kątem wymagań związanych z dyfuzją wsadową i LPCVD, w tym:

• Przegrody i uchwyty
• Wtryskiwacze
• Wkładki i rury procesowe
• Łopatki wspornikowe z węglika krzemu
• Łódki i cokoły waflowe


KOMPONENTY PROCESU WYTRAWANIA

Zminimalizuj zanieczyszczenie i nieplanowaną konserwację dzięki komponentom o wysokiej czystości zaprojektowanym z myślą o rygorystycznych warunkach trawienia plazmowego, w tym:

Pierścienie ostrości

Dysze

Tarcze

Słuchawki prysznicowe

Okna / Pokrywy

Inne niestandardowe komponenty


SZYBKA OBRÓBKA TERMICZNA I KOMPONENTY PROCESU EPITAKSYJNEGO

VeTek Semiconductor dostarcza zaawansowane komponenty materiałowe dostosowane do zastosowań w zakresie wysokotemperaturowej obróbki cieplnej w przemyśle półprzewodników. Zastosowania te obejmują procesy RTP, Epi, dyfuzję, utlenianie i wyżarzanie. Nasza ceramika techniczna jest zaprojektowana tak, aby wytrzymać szoki termiczne, zapewniając niezawodną i stałą wydajność. Dzięki komponentom VeTek Semiconductor producenci półprzewodników mogą osiągnąć wydajną i wysokiej jakości obróbkę cieplną, przyczyniając się do ogólnego sukcesu produkcji półprzewodników.

• Dyfuzory

• Izolatory

• Susceptory

• Inne niestandardowe komponenty termiczne


Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu
Nieruchomość Typowa wartość
Temperatura pracy (°C) 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące)
Zawartość SiC/SiC > 99,96%
Zawartość Si / Wolnego Si < 0,1%
Gęstość nasypowa 2,60-2,70 g/cm3
Pozorna porowatość < 16%
Siła ściskania > 600 MPa
Wytrzymałość na zginanie na zimno 80-90 MPa (20°C)
Wytrzymałość na zginanie na gorąco 90-100 MPa (1400°C)
Rozszerzalność cieplna w @1500°C 4,70 10-6/°C
Przewodność cieplna @1200°C 23  W/m·K
Moduł sprężystości 240 GPa
Odporność na szok termiczny Niezwykle dobre


View as  
 
Podstawa silikonowa

Podstawa silikonowa

Cokoł krzemowy półprzewodnikowy Vetek jest kluczowym składnikiem w procesach dyfuzji i utleniania półprzewodników. Jako dedykowana platforma do przenoszenia krzemowych łodzi w piecach o wysokiej temperaturze, krzemowy cokoł ma wiele unikalnych zalet, w tym lepszą jednolitość temperatury, zoptymalizowaną jakość płytki i zwiększoną wydajność urządzeń półprzewodników. Aby uzyskać więcej informacji o produkcie, skontaktuj się z nami.
Pierścień foki ceramicznej sic

Pierścień foki ceramicznej sic

Jako na dużą skalę fabrycznie i dostawcę produktów ceramicznych ceramicznych w Chinach, półprzewodnikowy pierścień ceramiczny Vetek SIC ma szeroki zakres zastosowań w polu przemysłowym ze względu na doskonałą przewodność cieplną, wyjątkową odporność chemiczną i korozji oraz dużą wytrzymałość i sztywność. Witaj swoje dalsze zapytania.
Rurka pieca dyfuzyjna SIC

Rurka pieca dyfuzyjna SIC

Jako wiodący producent i dostawca urządzeń do pieca dyfuzyjnego w Chinach, rurka pieca dyfuzyjna SIC VETEK ma znacznie wysoką wytrzymałość na zginanie, doskonałą odporność na utlenianie, odporność na korozję, wysoką odporność na zużycie i doskonałe właściwości mechaniczne o wysokiej temperaturze. Czyniąc go niezbędnym materiałem sprzętowym w zastosowaniach pieca dyfuzyjnego. Vetek Semiconductor jest zaangażowany w produkcję i dostarczanie wysokiej jakości rurki pieca dyfuzyjnego SIC i z zadowoleniem przyjmuje dalsze zapytania.
Uchwyt do łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości

Uchwyt do łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości

Firma VeTek Semiconductor oferuje dostosowane do indywidualnych potrzeb nośniki łodzi z płytek SiC o wysokiej czystości. Wykonany z węglika krzemu o wysokiej czystości, posiada szczeliny utrzymujące płytkę na miejscu, zapobiegając jej przesuwaniu się podczas obróbki. W razie potrzeby dostępna jest również powłoka CVD SiC. Jako profesjonalny i silny producent i dostawca półprzewodników, nośnik łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości firmy VeTek Semiconductor jest konkurencyjny cenowo i wysokiej jakości. Firma VeTek Semiconductor z niecierpliwością czeka na współpracę z Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Wiosła o wysokiej czystości sic

Wiosła o wysokiej czystości sic

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą produktu do wiosłowania wspornikowego o wysokiej czystości w Chinach. Płynce wspornikowe o wysokiej czystości są powszechnie stosowane w półprzewodnikowych piecach dyfuzyjnych jako platformy transferowe lub ładowania.
Pionowa kolumna Łódź i cokoł

Pionowa kolumna Łódź i cokoł

Pionowa kolumna VETEK Semiconductor łódź i cokołka jest wykonana z materiałów kwarcowych o wysokiej czystości lub silikonowej ceramice węglowej (SIC), z doskonałą opornością o wysokiej temperaturze, stabilnością chemiczną i wytrzymałością mechaniczną i jest niezbędnym składnikiem rdzenia w procesie produkcji półprzewodników. Witamy w dalszych konsultacjach.
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Ceramika z węglika krzemu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept