Uchwyt do łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości

VETESESEMI WYSOKIE PIERANA SIC WAFER TOSPER jest ważnym elementem łożyska stosowanym w piecach wyżarzających, piecach dyfuzyjnych i innych urządzeniach w procesie produkcji półprzewodnikowej. Nośnik łodzi o wysokiej czystości jest zwykle wykonany z materiału węglikowego o wysokiej czystości i zawiera głównie następujące części:

• Korpus podporowy łodzi: Struktura podobna do wspornika, specjalnie używana do noszeniawafle krzemowelub inne materiały półprzewodników.

• Struktura wsparcia: Konstrukcja konstrukcji nośnej umożliwia wytrzymywanie dużych obciążeń w wysokich temperaturach i nie powoduje odkształceń ani uszkodzeń podczas obróbki w wysokiej temperaturze.

Materiał z węglików silikonowych

Właściwości fizyczneRekrystalizowany węglik krzemu：

Jeśli wymagania procesu produkcyjnego są wyższe,Powłoka CVD SICmożna wykonać na nośniku łodzi z waflami SiC o wysokiej czystości, aby czystość osiągnęła ponad 99,99995%, co dodatkowo poprawia jego odporność na wysoką temperaturę.

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC:

Podczas obróbki w wysokiej temperaturze nośnik łodzi o wysokiej czystości SIC umożliwia równomierne podgrzanie płytki krzemu w celu uniknięcia miejscowego przegrzania. Ponadto oporność na wysoką temperaturę materiału węgla krzemu umożliwia utrzymanie stabilności strukturalnej w temperaturach 1200 ° C, a nawet wyższa.

Podczas procesu dyfuzji lub wyżarzania wiosło wspornikowe i nosidełko łodzi w płytce o wysokiej czystości współpracują. .Paddle wspornikowepowoli popycha nośnik łodzi z waflami SiC o wysokiej czystości, przenoszący płytkę krzemową do komory pieca i zatrzymuje go w wyznaczonym miejscu do obróbki. 

Nośnik łodzi z płytek krzemowych o wysokiej czystości utrzymuje kontakt z płytką krzemową i jest ustalany w określonej pozycji podczas procesu obróbki cieplnej, podczas gdy łopatka wspornikowa pomaga utrzymać całą konstrukcję we właściwej pozycji, zapewniając jednocześnie jednorodność temperatury.

Nośnik łodzi z płytek SiC o wysokiej czystości i wiosło wspornikowe współpracują ze sobą, aby zapewnić dokładność i stabilność procesu w wysokiej temperaturze.

Półprzewodnik VeTekzapewnia dostosowany do Twoich potrzeb nośnik łodzi z waflami SiC o wysokiej czystości. Czekamy na Twoje zapytanie.

Półprzewodnik VeTekSklepy z płytkami do przewozu łodzi SiC o wysokiej czystości: