Łódź waflowa krzemowa sic

Vetesemicon Sic Boat łódź jest podstawowym nośnikiem zaprojektowanym specjalnie do procesów półprzewodników o wysokiej temperaturze. Wykorzystując grafit naciskany izostatycznie o wysokiej czystości jako podłoża, ten produkt wykorzystuje opatentowaną technologię osadzania pary chemicznej, aby utworzyć gęstą, nieporowatą warstwę ochronną z węglika krzemu.

Ta warstwa płynnie łączy doskonałą przewodność cieplną grafitu z wyjątkową odpornością na korozję węgliku krzemu. Rygorystycznie kontrolowana powłoka osiąga grubość 80-120 μm, skutecznie opierając się korozji z różnych kwaśnych i alkalicznych atmosfery, znacznie zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia metalem. Utrzymuje stabilność strukturalną i integralność wymiarową nawet w środowiskach o wysokiej temperaturze, zapewniając niezawodną ochronę i wsparcie dla płytek podczas krytycznych procesów, takich jak utlenianie, dyfuzja i wzrost epitaksji, skutecznie przedłużając żywotność płytki o więcej niż trzykrotnie konwencjonalne łodzie grafitowe.

Ⅰ. Parametry techniczne

Ⅱ. VETEKESEMICON SIC WAFER BOOD COODTATES

• Doskonała odporność na korozję

Powłoka SIC na łodzi opłatek Vetesemicon jest osadzona przy użyciu naszego zastrzeżonego procesu CVD o wysokiej temperaturze, co powoduje gęstą, jednolitą strukturę, która jest całkowicie wolna od porów i pęknięć. Ta solidna bariera skutecznie izoluje płytki ze środowiska pieca. Silne atmosfery utleniające, związki fluorowane i inne gazy korozyjne są nieprzepuszczalne dla tej warstwy ochronnej. Oznacza to, że twoje wafle są chronione przed zanieczyszczeniem, podczas gdy sama łódź pozostaje nienaruszona poprzez powtarzające się ekstremalne procesy, znacznie rozszerzając żywotność usług.

• Ultra-wysokie materiały czystości

Rozumiemy, że nawet najmniejsze zanieczyszczenie może uczynić całą partię waflów bezużytecznych. Dlatego Vetesemicon rygorystycznie kontroluje surowce, stosując importowany grafit naciskany izostatycznie o czystości przekraczającej 99,9995% jako podłoża. Powłoka SIC osadzona na tym podłożu osiąga również 99,999% czystości, z krytycznymi zanieczyszczeniami, takimi jak sód, potas, żelazo i metale ciężkie do bardzo niskiego poziomu (PPB). Ta prawie intrinsyczna czystość nie zapewnia uwalniania zanieczyszczeń w wysokich temperaturach, zasadniczo eliminując ryzyko degradacji wydajności urządzenia z powodu problemów związanych z nośnikiem.

• Doskonała stabilność termiczna

Produkcja półprzewodników wymaga wyjątkowo spójnych procesów termicznych. Współczynnik rozszerzania cieplnej łodzi Vetesemicon wafla jest skrupulatnie zaprojektowany tak, aby ściśle pasował do krzemowych płytek. Podczas szybkiego ogrzewania i chłodzenia łódź i wafel poruszają się w synchronizacji, znacznie zmniejszając ryzyko wad kratowych i wypaczenia spowodowanego stresem termicznym. Może wytrzymać ciągłe temperatury robocze do 1600 ℃, utrzymując doskonałą wytrzymałość mechaniczną i stabilność wymiarową nawet w tych wysokich temperaturach. Zapewnia to powtarzalność i niezawodność w każdym procesie, zapewniając solidne podstawy kontroli tolerancji w produkcji układów.

• Trwała wytrzymałość mechaniczna

Wartość naszych produktów leży nie tylko w początkowej inwestycji, ale także długoterminowych kosztach własności. W porównaniu z tradycyjnymi składnikami kwarcowymi lub grafitowymi, łodzie waflowe Veteksemicon Sic oferują wyjątkowe zużycie i odporność na uderzenie. Ich twardość wysokiej powierzchni odpowiada zarysowaniom i zanieczyszczeniom podczas obsługi i czyszczenia. Ta wytrzymałość umożliwia im łatwe wytrzymanie ponad 200 cykli procesowych o wysokiej temperaturze i niezbędne procedury czyszczenia, znacznie zmniejszając koszty zamówień, koszty zapasów i przestoje sprzętu związane z częstą wymianą komponentów.

• Poparcie weryfikacji łańcucha ekologicznego

Vetesemicon Sic Wafer Boat Boat weryfikacja łańcucha ekologicznego obejmuje surowce do produkcji, przeszła międzynarodową standardową certyfikat i ma szereg opatentowanych technologii, aby zapewnić jej niezawodność i zrównoważony rozwój w półprzewodnikach i nowych dziedzinach energetycznych.

Ⅲ. Główne pola aplikacji

Aby uzyskać szczegółowe specyfikacje techniczne, białe dokumenty lub ustalenia dotyczące testowania próbek, skontaktuj się z naszym zespołem wsparcia technicznego, aby zbadać, w jaki sposób VeteSemicon może zwiększyć wydajność procesu.

VETEKSEMICON PRODUKTY WAREHOHOUSE