Produkty
Ramię robota z węglika silikonowego
  • Ramię robota z węglika silikonowegoRamię robota z węglika silikonowego
  • Ramię robota z węglika silikonowegoRamię robota z węglika silikonowego

Ramię robota z węglika silikonowego

Nasze robotyczne ramię z węglika krzemu (SIC) zostało zaprojektowane do wysokowydajnych obsługi płytek w zaawansowanej produkcji półprzewodników. To robotyczne ramię, wykonane z węglików krzemowych o dużej czystości, oferuje wyjątkową odporność na wysokie temperatury, korozję w osoczu i atak chemiczny, zapewniając niezawodne działanie w wymagających środowiskach w pokoju czystym. Wyjątkowa wytrzymałość mechaniczna i stabilność wymiarowa umożliwiają precyzyjne obchodzenie się z waflami przy jednoczesnym minimalizowaniu ryzyka zanieczyszczenia, co czyni go idealnym wyborem dla MOCVD, epitaksji, implantacji jonów i innych krytycznych zastosowań obsługi opłat. Z zadowoleniem przyjmujemy Twoje zapytania.

Ramię z węglika z węglika Vetesemicon to wysokiej klasy roztwór półprzewodnikowy zaprojektowany specjalnie dla trudnych środowisk przemysłowych. Wykorzystując zaawansowaną technologię węgla węglika o wysokiej czystości, wykazuje wyjątkową stabilność i trwałość w wysokich temperaturach, środowiskach korozyjnych i bardzo wysokich warunkach próżniowych. Jako kluczowy element w procesach obsługi, trawienia i osadzania się wafel, nasze robotyczne ramię znacznie poprawia wydajność i zmniejsza koszty utrzymania.


Ⅰ. Parametry techniczne


Projekt
Parametr
Tworzywo
Sic o wysokiej czystości
Twardość powierzchniowa
2800-3200 HV
Pojemność ładowania
3 kg/5 kg/10 kg (dostępne różne specyfikacje)
Przewodność cieplna
Przewodność cieplna
Oporność
10^3-10^5 Ω; cm
Odpowiednie środowisko
Wysoka temperatura, osocze, gaz korozyjny, ultra wysoka próżnia
Powtarzaj dokładność pozycjonowania
± 0,02 mm

Ⅱ. VETEKESEMICON SILICON CAILBIDE ROB RAM RAM COODTATES


1. Ekstremalna tolerancja środowiska

Nasze ramię robota wykorzystuje wyjątkowo sformułowaną powłokę SIC, która ulega wielu procesom osadzania w wysokiej temperaturze, umożliwiając utrzymanie integralności strukturalnej w trwałych temperaturach 1500 ° C i skutecznie odporność na korozję z bombardowania w osoczu i silnego środowiska kwasu i alkalicznego. Zasadniczo dotyczy to punktów bólu tradycyjnych materiałów, które są podatne na starzenie się i mają krótką żywotność w skrajnych warunkach pracy.


2. Doskonałe właściwości mechaniczne

Przyjmując złożoną strukturę podłoża grafitowego i powłoki SIC, osiągnęliśmy sztywność znacznie przekraczającą materiały metalowe przy jednoczesnym zapewnieniu, że ramię jest wyjątkowo lekkie. Ta konstrukcja zapewnia, że ​​odkształcenie ramienia robota jest wyjątkowo małe podczas szybkiego ruchu wzajemnego, skutecznie tłumiąc jitter, tym samym mocno kontrolując powtarzającą dokładność pozycjonowania w granicach ± ​​0,02 mm, zapewniając bezpieczne przenoszenie precyzyjnych wafli.


3. Ultra-wysoka czystość

Rozumiemy, że zanieczyszczenie cząstek cząstek jest najważniejszym zabójcą wydajności. Dlatego każde ramię robota ulega precyzyjnym polerowaniu i wyspecjalizowanym obróbce powierzchni, co powoduje chropowatość powierzchni RA mniejszą niż 0,1 μm. Powłoka jest bezpiecznie przylegająca, zapobiegając ryzyku obierania. Nasze produkty są w 100% przetestowane czystością, w pełni spełniające bardzo wysokie wymagania dotyczące pomieszczeń czystych i są gotowe do wykorzystania w najnowocześniejszych liniach produkcyjnych.


4. Długie życie

Dzięki nieodłącznej twardości SIC 3000 HV i doskonałej odporności na zużycie, nasza ramiona robota doświadcza minimalnej degradacji wydajności nawet po dziesiątkach tysięcy cykli ruchu. Ich życie usługowe jest kilkakrotnie niż zwykłe komponenty ze stopu ceramicznego lub aluminium, znacznie zmniejszając czas przestojów na wymianę i konserwację, zapewniając naszym klientom znaczącą ogólną efektywność opłacalności.


Ⅲ. Główne pola aplikacji


Kierunek aplikacji
Typowy scenariusz
SProdukcja emiconductor
Obsługa, przenoszenie i pozycjonowanie opłatek
Produkcja LED
Składniki komory reakcji MOCVD
Przemysł fotowoltaiczny
PECVD, proces dyfuzji
Aerospace
Zautomatyzowane przetwarzanie w środowiskach testowych o wysokiej temperaturze

Vetesemicon krzemionowa weryfikacja łańcucha węgla z węglika krzemowego obejmuje surowce do produkcji, przekazała międzynarodową standardową certyfikację i ma szereg opatentowanych technologii, aby zapewnić jego niezawodność i zrównoważony rozwój na półprzewodnikach i nowych dziedzinach energetycznych. Witamy, aby skonsultować się z nami w dowolnym momencie.


Veteksemicon products shop

Gorące Tagi: Ramię robota z węglika silikonowego
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept