Płyta trawienia SIC ICP

Trawienie ICP (indukcyjnie sprzężone z trawieniem plazmowym) jest precyzyjnym procesem trawienia w produkcji półprzewodnikowej, powszechnie stosowanej do wysokiej i wysokiej jakości transferu wzorów, szczególnie odpowiedniego do trawienia głębokiego otworu, przetwarzania mikro-wzorców itp.

SemiconPłyta trawienia ICP SIC jest specjalnie zaprojektowana do procesu ICP, przy użyciu wysokiej jakości materiałów SIC i może zapewnić doskonałą wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze, silnym korozyjnym i wysokiej energii. Jako kluczowy element łożyska i wspierania,ICP EtchPłyta zapewnia stabilność i wydajność podczas procesu trawienia.

Płyta trawienia SIC ICPFunkcje produktu

● Tolerancja w wysokiej temperaturze

Płyta trawienia SIC ICP może wytrzymać zmiany temperatury do 1600 ° C, zapewniając stabilne zastosowanie w środowisku trawienia ICP w wysokiej temperaturze i unikając deformacji lub degradacji wydajności spowodowanej fluktuacji temperatury.

●  Doskonała odporność na korozję

Materiał z węglików silikonowychmoże skutecznie opierać się wysoce korozyjne chemikalia, takie jak fluor wodór, chlorek wodoru, kwas siarkowy itp., Które mogą być odsłonięte podczas trawienia, zapewniając, że produkt nie zostanie uszkodzony podczas długoterminowego stosowania.

●  Niski współczynnik rozszerzalności termicznej

Płyta trawienia SIC ICP ma niski współczynnik rozszerzania cieplnego, który może utrzymać dobrą stabilność wymiarów w środowisku wysokiej temperatury, zmniejszyć naprężenie i deformację spowodowane zmianami temperatury i zapewnia dokładny proces trawienia.

●  Wysoka twardość i odporność na zużycie

SIC ma twardość do 9 MOHS twardości, która może skutecznie zapobiegać zużyciu mechaniczne, które może wystąpić podczas procesu trawienia, wydłużyć żywotność usług i zmniejszyć częstotliwość wymiany.

● eXcellent przewodność cieplna

Doskonałe przewodność termiczna zapewnia, żeTaca sicMoże szybko rozproszyć ciepło podczas procesu trawienia, unikając lokalnych wzrostów temperatury spowodowanych akumulacją ciepła, zapewniając w ten sposób stabilność i jednolitość procesu trawienia.

Przy wsparciu silnego zespołu technicznego VeteSemicon SIC ICP Tray ukończył różne trudne projekty i zapewnia spersonalizowane produkty zgodnie z Twoimi potrzebami. Z niecierpliwością czekamy na Twoje zapytanie.

Podstawowe właściwości fizyczne CVD SIC: